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[发明专利]微加热器和微传感器及其制造方法-CN201510616213.1有效
发明人：安范模;朴胜浩;边圣铉 -专利权人：普因特工程有限公司
申请日： 2015-09-24 - 公布日： 2019-12-06 - 主分类号： G01N33/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种微加热器以及一种微传感器，更具体地，涉及一种能够提供具有小热容量的加热器的微加热器和微传感器，该小热容量通过形成围绕加热器导线的空气间隙以及在多孔衬底上形成加热器导线而获得。
加热器导线微传感器微加热器热容量加热器空气间隙衬底

[发明专利]一种基于空气模法的近圆柱面微凹槽阵列表面制备方法-CN202011046923.2在审
发明人：李健;高晨欣;王腊梅;傅饶;王炳文;王内徭 -专利权人：江苏大学
申请日： 2020-09-29 - 公布日： 2021-01-15 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明一种基于空气模法的近圆柱面微凹槽阵列表面制备方法，涉及功能表面制备技术领域，按照下述步骤进行：(1)制备出具有微凹槽阵列的表面；再在一辅助平板上均匀地铺展一层待成形的液态聚合物薄膜；在微凹槽阵列表面的空白处放置间隙块；(2)将铺展有液态聚合物薄膜的辅助平板放置于微凹槽阵列表面上的间隙块上，保持该状态送入真空干燥箱；(3)根据设计的压强值设置真空干燥箱压强，进而加热固化聚合物材料，分离表面从而实现近圆柱面微凹槽阵列表面的制备本发明通过辅助平板实现液态聚合物的预铺展，解决了液态聚合物在微凹槽阵列表面铺展时对微凹槽的填充排气导致空气模法难以适用的问题。
一种基于空气圆柱面凹槽阵列表面制备方法

[发明专利]基于PCB的高通量数字微流控芯片、驱动系统及制备方法-CN202311105768.0在审
发明人：张帅龙;李凤刚;柴凤丽;郭宗良;符荣鑫;李航;龙雨菲;杜诗祺;张琳笛;史清宇 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2023-08-30 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： B01L3/00 文献下载
摘要：本发明属于数字微流控技术领域，公开一种基于PCB的高通量数字微流控芯片、驱动系统及制备方法；所述芯片包括：驱动电极基板和下基板；驱动电极基板为微液滴移动提供平整的接触表面，减少微液滴运动阻力和在芯片表面的残留、粘附；相邻驱动电极间隙≤100μm，减小微液滴操控的驱动电压；下基板对键合的驱动电极基板上的电极进行竖直寻址控制，在保证电极接触间隙和平整度的基础上，可以低成本地制造具有任意大通量的便携式数字微流控芯片；本发明基于有源电路和PCB芯片的高度可扩展性，在同一张芯片上能够并行驱动数万个离散液滴；通过改变微液滴内的化学和生物成分，本发明可在化学、生物和医学工程应用中执行高通量的分析和合成任务。
基于 pcb 通量数字微流控芯片驱动系统制备方法

[发明专利]换热器组件及其应用-CN201410137951.3有效
发明人：不公告发明人 -专利权人：杭州三花研究院有限公司
申请日： 2014-04-08 - 公布日： 2018-11-09 - 主分类号： F25B39/00 文献下载
摘要：一种换热器组件及其应用，所述换热器组件包括微通道蒸发器、微通道冷凝器以及位于外部的壳体。所述微通道蒸发器与所述微通道冷凝器沿空气流动方向依次排列。所述微通道蒸发器包括第一集流管、第二集流管、连接所述第一、第二集流管的若干第一流通管以及与所述第一流通管接触的第一翅片。所述微通道冷凝器包括第三集流管、第四集流管、连接所述第三、第四集流管的若干第二流通管以及与所述第二流通管接触的第二翅片。所述微通道蒸发器与所述壳体之间具有第一间隙，所述壳体设有位于所述第一间隙内的挡风片，以减少漏风。
换热器组件及其应用

[发明专利]一种用于双传感的高Q穿孔柔性微环谐振腔的结构-CN202010082011.4有效
发明人：张平;何东跃 -专利权人：天津大学
申请日： 2020-02-06 - 公布日： 2022-06-10 - 主分类号： G01L1/24 文献下载
摘要：本发明公开一种用于双传感的高Q穿孔柔性微环谐振腔的结构，由柔性衬底层、总线波导、微环谐振腔以及穿孔缺陷组成，总线波导与微环型谐振腔集成在柔性衬底上，总线波导与微环型谐振腔之间存在间隙，光从总线波导一端输入并在间隙处通过耦合进入到微环谐振腔；穿孔缺陷位于微环谐振腔正上方；本发明的穿孔微环谐振腔，由于其完美的角对称性被打破，腔体内出现对称驻波模式与非对称驻波模式，这两种驻波模式在腔体内的电磁场能分布有差异，因此可实现对周围环境折射率与压力的双传感应用
一种用于传感穿孔柔性谐振腔结构

[实用新型]微缝板消声器-CN201020501571.0无效
发明人：孙凯;林来豫 -专利权人：中国人民解放军96550部队
申请日： 2010-08-18 - 公布日： 2011-05-18 - 主分类号： G10K11/16 文献下载
摘要：本实用新型属于通风消声技术，涉及一种微缝板消声器，在金属外壳(1)内设置有筒型微缝板壳体(3)；筒型微缝板壳体(3)的两端通过端板(13)与金属外壳(1)连为一体，与金属外壳(1)之间的间隙构成单层共振腔(2)；筒型微缝板壳体内设置由两层平板式微缝板(11)和中间的隔板(6)构成的单层微缝板共振腔消声片(4)；两层平板式微缝板(11)与隔板(6)之间的间隙构成两个单层共振腔。本实用新型的消声量平均达到12dB(A)/m，比双层微穿孔板消声器消声量提高42％；阻力系数平均为1.4；任一规格消声器外形尺寸均比同规格双层微穿孔板消声器减小200mm，重量减轻1/3；便于运输和安装
微缝板消声器

[发明专利]终端设备及其显示屏和显示屏制备方法-CN201910243137.2在审
发明人：刘思远;景燎;吴旭东 -专利权人：宁波舜宇光电信息有限公司
申请日： 2019-03-28 - 公布日： 2020-10-09 - 主分类号： H04M1/02 文献下载
摘要：特别地，所述显示屏还包括形成于还包括设于所述像素层上方的微透镜层，其中，所述微透镜层对应于所述像素层中所述像素之间的各所述间隙，用于在该光线藉由所述间隙穿过所述像素层之前，将光线汇聚至各所述间隙，以增加所述显示屏的透光率
终端设备及其显示屏制备方法

[发明专利]一种大气压下微间隙空气放电光谱诊断系统-CN202210853738.7在审
发明人：孙志;王宸;刘坤;邵茁凯 -专利权人：哈尔滨理工大学
申请日： 2022-07-11 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： G01R31/12 文献下载
摘要：本发明涉及一种大气压下微间隙空气放电光谱诊断系统，自主设计的微米间隙放电光谱采集系统，通过发射光谱法对亚毫米间距下空气电晕放电的活性粒子种类，并通过光强比值法对电子激发温度进行光谱诊断。伴随着集成电路和微机电系统(Micro‑Electro‑Mechanical System，MEMS)技术的高速发展，元器件之间的空间达到亚毫米量级，为保障这些设备能够在良好的绝缘环境下长久运行，对微间隙空气放电的电子激发温度提供一种发射光谱诊断方法
一种大气压下间隙空气放电光谱诊断系统

[发明专利]一种基于双稳态柔顺机构的梳齿电容精密装配方法-CN201310128735.8有效
发明人：何广平;赵全亮;狄杰建;袁俊杰;孙恺;赵雅彬 -专利权人：北方工业大学;何广平
申请日： 2013-04-15 - 公布日： 2016-11-23 - 主分类号： H01G4/00 文献下载
摘要：梳齿状电容器是MEMS器件中常用的微致动器和微传感器的结构形式。梳齿状电容器插齿间隙通常只有几微米，其正负极板之间的间隙需要精密控制。本设计提出一种基于双稳态柔顺机构的梳齿电容精密装配方法，能够提高梳齿状电容器正负极板之间间隙的精密控制，从而使批量具有相同结构的MEMS器件具有一致的、可估计的电容值，提高静电MEMS器件批量制造时性能的一致性
一种基于双稳态柔顺机构梳齿电容精密装配方法

[发明专利]一种基于压力反馈的精密间隙控制系统与方法-CN202110339672.5有效
发明人：侯溪;李佳慧;张云 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2021-03-30 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： G05B19/19 文献下载
摘要：本发明提供一种基于压力反馈的精密间隙控制系统与方法，用于弥补超精密加工中由于运动平台定位精度而引起的加工间隙误差，包括：隔振基座、加工容器、压力传感器、电机、旋转轴、加工工具、载物台、压电陶瓷微位移机构计算机控制系统与压力传感器、电机、压电陶瓷微位移机构、机械臂相连，通过收集压力传感器所测压力信号与系统存入的理论压力信号进行对比，将压力差值转化为压电陶瓷的微位移，实现对机械臂定位精度误差的补偿。本发明为超精密加工中由加工间隙变化而导致的加工效果不佳提供了一种有效的低成本补偿手段。
一种基于压力反馈精密间隙控制系统方法

[发明专利]基于三维量子隧穿的非接触亚纳米传感方法与装置-CN201810889933.9有效
发明人：边星元;崔俊宁;陆叶盛;谭久彬 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2018-08-07 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： G01B7/004 文献下载
摘要：基于三维量子隧穿的非接触亚纳米传感方法与装置属于精密传感与测量技术；本发明针对导体被测物采用三维量子隧穿原理传感，首先将被测物和微测球的瞄准间隙调整至隧穿工作区间，再采用偏置电场发生系统产生偏置电压加载在微测球和被测件之间形成偏置电场，然后通过量子隧穿效应的产生将瞄准间隙转化为传感信号，尔后通过隧穿信号检测系统以亚纳米分辨力提取瞄准间隙信息；本发明还提供了一种传感装置；本发明有效兼顾了亚纳米分辨力、三维各向同性和非接触式传感特性，可实现大深宽比微纳
基于三维量子接触纳米传感方法装置

[实用新型]基于氮化物LED阵列的无间隙微显示器和倒装芯片-CN201620669380.2有效
发明人： -专利权人：
申请日： 2016-06-30 - 公布日： 2017-01-04 - 主分类号： H01L27/15 文献下载
摘要：本实用新型公开了基于氮化物LED阵列的无间隙微显示器和倒装芯片，无间隙微显示器包括基底和设置在基底上呈阵列排布的多个μLED单元，每个μLED单元包括由近及远依次设置在基底上的N型层、发射层和P型层，呈阵列排布的相邻本实用新型提供的基于氮化物LED阵列的无间隙微显示器通过离子隔离栅将各个μLED单元隔离，不会导致μLED阵列中相邻像素之间的相互干扰而产生串扰现象，进而可提高氮化物μLED阵列微型显示器的对比度和分辨率
基于氮化物 led 阵列间隙显示器倒装芯片

[实用新型]一种电容式微间隙快速测量系统-CN202021290493.4有效
发明人：谢家祖;杨立铖;王童彤 -专利权人：天津师范大学
申请日： 2020-07-06 - 公布日： 2020-12-18 - 主分类号： G01B7/14 文献下载
摘要：本实用新型专利公开了一种电容式微间隙快速测量系统，它包括测量电路模块、微控制器模块和人机交互界面模块，其特征在于三个模块结合于一体，其中微控制模块一端与测量电路模块连接，另一端与人机交互界面模块相连接；测量模块前端设有两个测量探头用于和被测微间隙相连，四个测量通道经滤波电路后与电容式传感器相连，电容感测电路与微控制器模块通过数据总线接口连接核心控制电路，所述的人机交互界面用于显示测量数据和测量模式选择本实用新型的目的是解决微间隙快速精准测量的难题。
一种电容式微间隙快速测量系统

[实用新型]涂布机流水线装置-CN202023326032.0有效
发明人：任锦;杨计莲;资春成;林国标 -专利权人：佛山市三水新丽纸品粘胶有限公司
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2021-12-31 - 主分类号： B05C1/08 文献下载
摘要：涂布机流水线装置，包括相互传动配合的微凹涂布装置和牵引装置，牵引装置通过牵引进入辊与微凹涂布装置的摇臂调节机构传动配合。通过设置刮刀开合气缸、刮刀进退气缸和刮刀微调丝杆组，有效的高精度调节刮刀位置，实现刮刀与微凹辊的相对位置调节；通过设置逆转上胶压轮调节装置，有效的高精度调节逆转上胶压轮与压辊之间的间隙及逆转上胶压轮运输的物料张力；通过设置浮辊牵引张力组合实现牵引张力的精细调节；通过设置牵引间隙调节组，实现牵引辊和牵引压辊的间隙精密调节，替代人工调节，高精度、高效率且出错率低。
涂布机流水线装置

[发明专利]防止垂直方向间隙粘连的MEMS器件及制造方法-CN202210371604.1在审
发明人：凤瑞;黄斌;包星辰;何凯旋;商兴莲;周铭;周六辉 -专利权人：中国兵器工业集团第二一四研究所苏州研发中心
申请日： 2022-04-11 - 公布日： 2022-07-08 - 主分类号： B81B3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种防止垂直方向间隙粘连的MEMS器件及制造方法，包括顺次相连的下层晶圆结构、可动晶圆结构和上层晶圆结构；所述下层晶圆结构包括相连的硅衬底和绝缘层，所述绝缘层上靠近可动晶圆结构的一侧设有第一锚点和检测电极；所述第一锚点通过弹性梁与所述可动晶圆结构相连；所述检测电极与所述可动晶圆结构之间设有间隙，且刻蚀有第一加工槽，第一加工槽内设有第一微支撑结构，所述第一微支撑的高度等于第一锚点的高度；所述可动晶圆结构上与第一微支撑结构相对应的位置处均刻蚀有贯通式的第二加工槽，用于实现第一微支撑结构与可动晶圆结构的分离。本发明能够有效防止晶圆键合过程中垂直方向微小间隙粘连。
防止垂直方向间隙粘连 mems 器件制造方法