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[发明专利]一种微观和宏观复合检查机-CN201810772506.2在审
发明人：刘磊;朴成秀;权永春;王刘洋 -专利权人：江苏东旭亿泰智能装备有限公司;东旭光电科技股份有限公司
申请日： 2018-07-13 - 公布日： 2018-10-02 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本发明涉及一种微观和宏观复合检查机，包括设备基台，微观检查装置和宏观检查装置，其中，所述设备基台上设置有使被检测物悬浮在所述设备基台上方的气浮孔；所述微观检查装置包括检查设备和带动所述检查设备移动的移动机构，所述检查设备可在所述设备基台上方移动，对被检测物进行微观检查；所述宏观检查装置包括旋转机构和固定所述被检测物的检查支架，所述检查支架通过旋转机构可旋转地固定在所述设备基台的一侧或端部。本发明通过将微观检查设备和宏观检查设备集成为一体式复合结构，微观检查和宏观检查可以在同一设备上进行，检查过程中不需要移动显示屏等被检测物，检查操作方便简单、设备体积小，可大大提高检查效率。
被检测物检查设备微观检查宏观检查装置微观检查装置旋转机构检查机基台支架检查微观一体式复合结构复合宏观检查设备移动显示屏宏观检查检查过程同一设备移动机构可旋转气浮孔体积小移动宏观悬浮

[实用新型]一种微观和宏观复合检查机-CN201821112337.1有效
发明人：刘磊;朴成秀;权永春;王刘洋 -专利权人：江苏东旭亿泰智能装备有限公司;东旭光电科技股份有限公司
申请日： 2018-07-13 - 公布日： 2019-02-22 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种微观和宏观复合检查机，包括设备基台，微观检查装置和宏观检查装置，其中，所述设备基台上设置有使被检测物悬浮在所述设备基台上方的气浮孔；所述微观检查装置包括检查设备和带动所述检查设备移动的移动机构，所述检查设备可在所述设备基台上方移动，对被检测物进行微观检查；所述宏观检查装置包括旋转机构和固定所述被检测物的检查支架，所述检查支架通过旋转机构可旋转地固定在所述设备基台的一侧或端部。本实用新型通过将微观检查设备和宏观检查设备集成为一体式复合结构，微观检查和宏观检查可以在同一设备上进行，检查过程中不需要移动显示屏等被检测物，检查操作方便简单、设备体积小，可大大提高检查效率。
被检测物检查设备微观检查宏观检查装置微观检查装置本实用新型旋转机构检查机基台支架检查微观一体式复合结构复合宏观检查设备移动显示屏宏观检查检查过程同一设备移动机构可旋转气浮孔体积小移动宏观悬浮

[发明专利]一种铁基高温合金盘件表面缺陷宏观检查方法-CN201711135455.4有效
发明人：郭春光;王辉;杨树林;赵贵全;孙畅 -专利权人：中国航发沈阳黎明航空发动机有限责任公司
申请日： 2017-11-16 - 公布日： 2020-12-04 - 主分类号： G01N1/32 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供一种铁基高温合金盘件表面缺陷宏观检查方法，具体步骤为：1)、配制宏观腐蚀槽液；2)、清理零件；3)、宏观腐蚀；4)、清洗；5)、宏观腐蚀后处理；6)、清洗；7)、干燥。该方法工艺过程操作方便，设备要求简单。利用此种方法对工件进行宏观腐蚀工序加工，可以得到清晰、有效的宏观腐蚀层，以达到进行缺陷检查的加工目的。
一种高温合金表面缺陷宏观检查方法

[实用新型]一种可提供多色宏观检查光源的晶圆检查光学显微镜-CN200720067981.7无效
发明人：陈亮;许俊;庄祈龙 -专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请日： 2007-03-20 - 公布日： 2008-03-12 - 主分类号： G02B21/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种可提供多色宏观检查光源的晶圆检查光学显微镜。现有的晶圆检查光学显微镜只能提供白光进行宏观检查致使有些晶圆表面的缺陷很难被检查出来。本实用新型的晶圆检查光学显微镜包括用于对晶圆进行宏观检查的宏观检查单元、用于对晶圆进行微观检查的微观检查单元、用于载送晶圆至检查区域的晶圆载送机构以及用于控制上述构件进行晶圆检查的控制模块，其中，该宏观检查单元具有用于提供宏观检查光源的宏观光源模块，该宏观光源模块包括互连的光源灯和光源输出单元以及用于供使用者选用光源灯颜色的光源颜色选择单元，其中，该宏观光源模块的光源灯为多色灯。采用本实用新型能提高晶圆检查光学显微镜进行宏观检查的精确性和可靠性。
一种提供多色宏观检查光源光学显微镜

[实用新型]一种宏观检查装置-CN201320140952.4有效
发明人：王磊;邱勇;费国东 -专利权人：昆山维信诺显示技术有限公司
申请日： 2013-03-26 - 公布日： 2013-09-25 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种宏观检查装置，其包括暗室（1）和观察室（8），所述观察室（8）内设置用于放置基板的载台（4），以及安装于所述观察室（8）顶部的光源（5），所述观察室（8）与所述暗室（1）之间设置观察窗该宏观检查装置解决了现有用于检查色斑不均的宏观检查设备不能防止检查人员污染基板的问题。
一种宏观检查装置

[发明专利]晶片外观检查装置和方法-CN202080057347.3在审
发明人：仲田朋宏 -专利权人：东丽工程株式会社
申请日： 2020-06-09 - 公布日： 2022-03-22 - 主分类号： G01N21/01 文献下载
摘要：提供检查装置和方法，能够基于为了微观检查而取得的小区划的放大图像，来自动检查作为宏观检查的范畴的比较大的尺寸的损伤或污垢、异物的附着等。具体而言，在拍摄形成有重复图案的晶片的外观图像并将该拍摄到的图像与预先登记的基准图像进行比较而进行检查的晶片外观检查装置和方法中，逐次变更拍摄场所并对形成于检查对象晶片的重复图案进行分割拍摄，将分割拍摄到的图像结合而生成大尺寸的宏观检查用检查图像，然后，对该大尺寸的宏观检查用检查图像进行压缩而生成小尺寸的宏观检查用检查图像，将该小尺寸的宏观检查用检查图像与预先生成/登记的小尺寸的宏观检查用基准图像进行比较，对检查对象晶片进行宏观检查。
晶片外观检查装置方法

[实用新型]一种晶圆检查台宏观照明装置-CN201621390641.3有效
发明人：姚军;顾宁 -专利权人：上海精典电子有限公司
申请日： 2016-12-16 - 公布日： 2017-07-28 - 主分类号： F21K9/20 文献下载
摘要：本实用新型提出一种晶圆检查台宏观照明装置，包括：第一宏观照明光纤和第二宏观照明光纤，分别设置于所述晶圆检查台的两侧；LED灯光源，连接于所述第一宏观照明光纤和第二宏观照明光纤；聚光镜，分别设置于所述第一宏观照明光纤和第二宏观照明光纤的头部顶端本实用新型提出的晶圆检查台宏观照明装置，能够为晶圆检查提供照明，改善了宏观检查的质量和效率。
一种检查宏观照明装置

[发明专利]宏观检查装置和宏观检查方法-CN200580001591.3无效
发明人：冈平裕幸;藤崎畅夫;加藤洋 -专利权人：奥林巴斯株式会社
申请日： 2005-09-26 - 公布日： 2007-01-31 - 主分类号： G01N21/84 文献下载
摘要：一种宏观检查装置，其具有：基板保持器，其保持接受检查的基板；宏观照明光学系统，其将照明光照射到所述基板上；基板保持器驱动机构，其支承所述基板保持器，同时，在所述基板被所述照明光照射的状态下，控制所述基板保持器的姿态
宏观检查装置方法

[发明专利]基片传送装置-CN01802665.6有效
发明人：丸山规夫;横井大辅;森康雄;谷口芳久 -专利权人：奥林巴斯光学工业株式会社
申请日： 2001-09-06 - 公布日： 2003-01-01 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明是这样一种基片传送装置(20),装片部(21)和宏观检查传送部(22)分别采用分离独立的结构。装片部(21)相对于宏观检查传送部(22)从正面侧来看能布置在左侧或背面侧,为适应设备布置的各种规格很容易进行更改。
传送装置

[发明专利]一种显示面板宏观检查设备及其照明控制装置、方法-CN201911280016.1在审
发明人：苗三伟 -专利权人：苏州精濑光电有限公司
申请日： 2019-12-13 - 公布日： 2020-04-10 - 主分类号： G01N21/01 文献下载
摘要：本申请涉及一种显示面板宏观检查设备及其照明控制装置、方法，包括到位检测模块和照明控制模块，所述到位检测模块在检测到显示面板进入宏观检查设备时，输出到位信号至照明控制模块，所述照明控制模块根据收到的到位信号，输出开灯控制命令，控制灯箱的光源点亮；所述到位检测模块在检测到显示面板离开宏观检查设备时，输出离开信号至照明控制模块，所述照明控制模块根据收到的离开信号产生延长所述灯箱的光源点亮的延时指令；本申请可以在不需要对显示面板进行检测时关闭照明装置
一种显示面板宏观检查设备及其照明控制装置方法

[发明专利]一种输电导线运行过程高温熔断的分析方法-CN201910916813.8在审
发明人：彭家宁;刘桂婵;边美华;张兴森;卢展强;梁世容 -专利权人：广西电网有限责任公司电力科学研究院
申请日： 2019-09-26 - 公布日： 2020-02-14 - 主分类号： G01R31/08 文献下载
摘要：本发明属于电力设备检测技术领域，具体涉及一种输电导线运行过程高温熔断的分析方法，包括以下步骤：S1：开展输电导线高温熔断断口宏观检查，分析输电导线高温熔断断口的宏观形貌特征；S2：开展输电导线高温熔断断口微观金相组织检查，分析输电导线高温熔断断口微观金相组织；S3：根据断口宏观和微观检查分析结果确定输电导线高温熔断原因。本发明通过断口宏观形貌特征以及微观金相组织确定输电导线高温熔断原因，解决了输电导线高温熔断原因分析困难问题。采用本发明方法可以快速评判输电导线高温熔断原因，并指导技术人员开展输电导线高温熔断分析。
高温熔断输电导线断口微观金相组织宏观形貌分析电力设备检测宏观检查困难问题微观检查原因分析运行过程评判宏观检查

[实用新型]一种宏观检查机玻璃收纳装置-CN201120573938.4有效
发明人：何文香;周志峰 -专利权人：安徽鑫昊等离子显示器件有限公司
申请日： 2011-12-31 - 公布日： 2012-09-26 - 主分类号： B08B5/04 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种宏观检查机玻璃收纳装置，包括：在所述宏观检查机的工作台下方，设置一个与所述工作台的支撑架卡接的玻璃收纳容器；与所述玻璃收纳容器下开口连接的真空装置；玻璃收纳容器下开口设置一个过滤网。相对于现有的玻璃基板检查过程中导致的玻璃破碎不便于清扫，耽误生产的问题，本实用新型提供的玻璃收纳装置，通过在原有宏观检查机设备上增加真空装置和收纳玻璃的容器，当玻璃破碎时，将玻璃收纳容器里的大块玻璃取走
一种宏观检查玻璃收纳装置

[发明专利]一种锅炉四管管控平台检测系统和方法-CN201310271911.3在审
发明人：王秀江;马文原;高艳军;季春燕;李鸿鹏;姜家骅;王雅东;那远航 -专利权人：大唐黑龙江发电有限公司哈尔滨第一热电厂
申请日： 2013-07-02 - 公布日： 2013-12-18 - 主分类号： G06Q50/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种锅炉四管管控平台检测系统和方法，包括信息预警子系统、设备基本信息子系统、设备运行记录子系统、设备维护记录子系统、劣化分析子系统、统计报表子系统和系统维护子系统；所述设备基本信息子系统包括设备信息模块和锅炉四管布置图模块；所述设备运行记录子系统包括记录每次锅炉启动与停止时间的记录模块；所述设备维护记录子系统包括锅炉四管检查数据模块和宏观检查情况模块；所述劣化分析子系统包括体现锅炉四管实际情况的实况模块；所述统计报表子系统包括四管实测记录模块和宏观检查记录模块；所述统计报表子系统包括检查数据模块；此款锅炉四管管控平台检测系统和方法具有锅炉四管可视化，且检查和预测相结合的优点。
一种锅炉管管平台检测系统方法

[发明专利]基板检查系统-CN201210003880.9无效
发明人：冈平裕幸 -专利权人：奥林巴斯株式会社
申请日： 2012-01-04 - 公布日： 2012-07-25 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本发明提供一种基板检查系统。在大型基板用的基板检查系统中，不降低生产效率及检查性能就能谋求节省空间。在用多种检查方法对被检查对象基板(G)进行检查的基板检查系统(31)中，包括：自动检查装置(50)，其用于利用摄像部拍摄被检查对象基板(G)而进行检查；架台，其具有横跨该自动检查装置(50)的门型形状的腿部；人工宏观检查装置(40)，其配置在该架台上，用于直视被检查对象基板(G)而进行目视检查；基板输送机器人，其用于对于自动检查装置(50)和人工宏观检查装置(40)输入、输出被检查对象基板(G)，人工宏观检查装置(40)借助上述架台独立于自动检查装置(50)地配置在自动检查装置(50)的上方。
检查系统

[实用新型]基板检查系统-CN201220005773.5有效
发明人：冈平裕幸 -专利权人：奥林巴斯株式会社
申请日： 2012-01-04 - 公布日： 2012-09-05 - 主分类号： G01N21/89 文献下载
摘要：本实用新型提供基板检查系统。在大型基板用的基板检查系统中，不降低生产效率及检查性能就能谋求节省空间。在用多种检查方法对被检查对象基板(G)进行检查的基板检查系统(31)中，包括：自动检查装置(50)，其用于利用摄像部拍摄被检查对象基板(G)而进行检查；架台，其具有横跨该自动检查装置(50)的门型形状的腿部；人工宏观检查装置(40)，其配置在该架台上，用于直视被检查对象基板(G)而进行目视检查；基板输送机器人，其用于对于自动检查装置(50)和人工宏观检查装置(40)输入、输出被检查对象基板(G)，人工宏观检查装置(40)借助上述架台独立于自动检查装置(50)地配置在自动检查装置(50)的上方。
检查系统

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