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[实用新型]一种可提供多色宏观检查光源的晶圆检查光学显微镜-CN200720067981.7无效
发明人：陈亮;许俊;庄祈龙 -专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请日： 2007-03-20 - 公布日： 2008-03-12 - 主分类号： G02B21/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种可提供多色宏观检查光源的晶圆检查光学显微镜。现有的晶圆检查光学显微镜只能提供白光进行宏观检查致使有些晶圆表面的缺陷很难被检查出来。本实用新型的晶圆检查光学显微镜包括用于对晶圆进行宏观检查的宏观检查单元、用于对晶圆进行微观检查的微观检查单元、用于载送晶圆至检查区域的晶圆载送机构以及用于控制上述构件进行晶圆检查的控制模块，其中，该宏观检查单元具有用于提供宏观检查光源的宏观光源模块，该宏观光源模块包括互连的光源灯和光源输出单元以及用于供使用者选用光源灯颜色的光源颜色选择单元，其中，该宏观光源模块的光源灯为多色灯。采用本实用新型能提高晶圆检查光学显微镜进行宏观检查的精确性和可靠性。
一种提供多色宏观检查光源光学显微镜

[发明专利]晶片外观检查装置和方法-CN202080057347.3在审
发明人：仲田朋宏 -专利权人：东丽工程株式会社
申请日： 2020-06-09 - 公布日： 2022-03-22 - 主分类号： G01N21/01 文献下载
摘要：提供检查装置和方法，能够基于为了微观检查而取得的小区划的放大图像，来自动检查作为宏观检查的范畴的比较大的尺寸的损伤或污垢、异物的附着等。具体而言，在拍摄形成有重复图案的晶片的外观图像并将该拍摄到的图像与预先登记的基准图像进行比较而进行检查的晶片外观检查装置和方法中，逐次变更拍摄场所并对形成于检查对象晶片的重复图案进行分割拍摄，将分割拍摄到的图像结合而生成大尺寸的宏观检查用检查图像，然后，对该大尺寸的宏观检查用检查图像进行压缩而生成小尺寸的宏观检查用检查图像，将该小尺寸的宏观检查用检查图像与预先生成/登记的小尺寸的宏观检查用基准图像进行比较，对检查对象晶片进行宏观检查。
晶片外观检查装置方法

[实用新型]一种晶圆检查台宏观照明装置-CN201621390641.3有效
发明人：姚军;顾宁 -专利权人：上海精典电子有限公司
申请日： 2016-12-16 - 公布日： 2017-07-28 - 主分类号： F21K9/20 文献下载
摘要：本实用新型提出一种晶圆检查台宏观照明装置，包括：第一宏观照明光纤和第二宏观照明光纤，分别设置于所述晶圆检查台的两侧；LED灯光源，连接于所述第一宏观照明光纤和第二宏观照明光纤；聚光镜，分别设置于所述第一宏观照明光纤和第二宏观照明光纤的头部顶端本实用新型提出的晶圆检查台宏观照明装置，能够为晶圆检查提供照明，改善了宏观检查的质量和效率。
一种检查宏观照明装置

[发明专利]宏观检查装置和宏观检查方法-CN200580001591.3无效
发明人：冈平裕幸;藤崎畅夫;加藤洋 -专利权人：奥林巴斯株式会社
申请日： 2005-09-26 - 公布日： 2007-01-31 - 主分类号： G01N21/84 文献下载
摘要：一种宏观检查装置，其具有：基板保持器，其保持接受检查的基板；宏观照明光学系统，其将照明光照射到所述基板上；基板保持器驱动机构，其支承所述基板保持器，同时，在所述基板被所述照明光照射的状态下，控制所述基板保持器的姿态
宏观检查装置方法

[发明专利]一种微观和宏观复合检查机-CN201810772506.2在审
发明人：刘磊;朴成秀;权永春;王刘洋 -专利权人：江苏东旭亿泰智能装备有限公司;东旭光电科技股份有限公司
申请日： 2018-07-13 - 公布日： 2018-10-02 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本发明涉及一种微观和宏观复合检查机，包括设备基台，微观检查装置和宏观检查装置，其中，所述设备基台上设置有使被检测物悬浮在所述设备基台上方的气浮孔；所述微观检查装置包括检查设备和带动所述检查设备移动的移动机构，所述检查设备可在所述设备基台上方移动，对被检测物进行微观检查；所述宏观检查装置包括旋转机构和固定所述被检测物的检查支架，所述检查支架通过旋转机构可旋转地固定在所述设备基台的一侧或端部。本发明通过将微观检查设备和宏观检查设备集成为一体式复合结构，微观检查和宏观检查可以在同一设备上进行，检查过程中不需要移动显示屏等被检测物，检查操作方便简单、设备体积小，可大大提高检查效率。
被检测物检查设备微观检查宏观检查装置微观检查装置旋转机构检查机基台支架检查微观一体式复合结构复合宏观检查设备移动显示屏宏观检查检查过程同一设备移动机构可旋转气浮孔体积小移动宏观悬浮

[实用新型]一种微观和宏观复合检查机-CN201821112337.1有效
发明人：刘磊;朴成秀;权永春;王刘洋 -专利权人：江苏东旭亿泰智能装备有限公司;东旭光电科技股份有限公司
申请日： 2018-07-13 - 公布日： 2019-02-22 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种微观和宏观复合检查机，包括设备基台，微观检查装置和宏观检查装置，其中，所述设备基台上设置有使被检测物悬浮在所述设备基台上方的气浮孔；所述微观检查装置包括检查设备和带动所述检查设备移动的移动机构，所述检查设备可在所述设备基台上方移动，对被检测物进行微观检查；所述宏观检查装置包括旋转机构和固定所述被检测物的检查支架，所述检查支架通过旋转机构可旋转地固定在所述设备基台的一侧或端部。本实用新型通过将微观检查设备和宏观检查设备集成为一体式复合结构，微观检查和宏观检查可以在同一设备上进行，检查过程中不需要移动显示屏等被检测物，检查操作方便简单、设备体积小，可大大提高检查效率。
被检测物检查设备微观检查宏观检查装置微观检查装置本实用新型旋转机构检查机基台支架检查微观一体式复合结构复合宏观检查设备移动显示屏宏观检查检查过程同一设备移动机构可旋转气浮孔体积小移动宏观悬浮

[发明专利]一种铁基高温合金盘件表面缺陷宏观检查方法-CN201711135455.4有效
发明人：郭春光;王辉;杨树林;赵贵全;孙畅 -专利权人：中国航发沈阳黎明航空发动机有限责任公司
申请日： 2017-11-16 - 公布日： 2020-12-04 - 主分类号： G01N1/32 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供一种铁基高温合金盘件表面缺陷宏观检查方法，具体步骤为：1)、配制宏观腐蚀槽液；2)、清理零件；3)、宏观腐蚀；4)、清洗；5)、宏观腐蚀后处理；6)、清洗；7)、干燥。利用此种方法对工件进行宏观腐蚀工序加工，可以得到清晰、有效的宏观腐蚀层，以达到进行缺陷检查的加工目的。
一种高温合金表面缺陷宏观检查方法

[实用新型]一种宏观检查装置-CN201320140952.4有效
发明人：王磊;邱勇;费国东 -专利权人：昆山维信诺显示技术有限公司
申请日： 2013-03-26 - 公布日： 2013-09-25 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种宏观检查装置，其包括暗室（1）和观察室（8），所述观察室（8）内设置用于放置基板的载台（4），以及安装于所述观察室（8）顶部的光源（5），所述观察室（8）与所述暗室（1）之间设置观察窗该宏观检查装置解决了现有用于检查色斑不均的宏观检查设备不能防止检查人员污染基板的问题。
一种宏观检查装置

[发明专利]基板检查系统-CN201210003880.9无效
发明人：冈平裕幸 -专利权人：奥林巴斯株式会社
申请日： 2012-01-04 - 公布日： 2012-07-25 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本发明提供一种基板检查系统。在大型基板用的基板检查系统中，不降低生产效率及检查性能就能谋求节省空间。在用多种检查方法对被检查对象基板(G)进行检查的基板检查系统(31)中，包括：自动检查装置(50)，其用于利用摄像部拍摄被检查对象基板(G)而进行检查；架台，其具有横跨该自动检查装置(50)的门型形状的腿部；人工宏观检查装置(40)，其配置在该架台上，用于直视被检查对象基板(G)而进行目视检查；基板输送机器人，其用于对于自动检查装置(50)和人工宏观检查装置(40)输入、输出被检查对象基板(G)，人工宏观检查装置(40)借助上述架台独立于自动检查装置(50)地配置在自动检查装置(50)的上方。
检查系统

[实用新型]基板检查系统-CN201220005773.5有效
发明人：冈平裕幸 -专利权人：奥林巴斯株式会社
申请日： 2012-01-04 - 公布日： 2012-09-05 - 主分类号： G01N21/89 文献下载
摘要：本实用新型提供基板检查系统。在大型基板用的基板检查系统中，不降低生产效率及检查性能就能谋求节省空间。在用多种检查方法对被检查对象基板(G)进行检查的基板检查系统(31)中，包括：自动检查装置(50)，其用于利用摄像部拍摄被检查对象基板(G)而进行检查；架台，其具有横跨该自动检查装置(50)的门型形状的腿部；人工宏观检查装置(40)，其配置在该架台上，用于直视被检查对象基板(G)而进行目视检查；基板输送机器人，其用于对于自动检查装置(50)和人工宏观检查装置(40)输入、输出被检查对象基板(G)，人工宏观检查装置(40)借助上述架台独立于自动检查装置(50)地配置在自动检查装置(50)的上方。
检查系统

[发明专利]基板定位机构、宏观检查装置及宏观检查方法-CN201710061596.X在审
发明人：邓永松;李青;丁力;蔡杰;李兆廷;刘磊 -专利权人：江苏东旭亿泰智能装备有限公司;东旭光电科技股份有限公司
申请日： 2017-01-26 - 公布日： 2017-05-31 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本发明提供基板定位机构及使用其的宏观检查装置及宏观检查方法。所述基板定位机构具备固定部、驱动部、施力部及定位部，固定部与宏观检查装置的基板保持系统的主体框架相抵接，经由该固定部将定位机构固定于主体框架；驱动部以可自由移动的方式与固定部连接，并且在其被驱动时带动其上方的施力部及定位部一起移动
定位机构宏观检查装置方法

[发明专利]一种宏观检查装置及宏观检查方法-CN201710332912.2在审
发明人：刘小成;尹凤鸣;肖松 -专利权人：深圳市华星光电技术有限公司
申请日： 2017-05-12 - 公布日： 2017-07-28 - 主分类号： G02F1/13 文献下载
摘要：本发明公开了一种宏观检查装置和宏观检查方法，宏观检查装置包括点灯模块，用于模拟点亮不含TFT侧偏光片的面板；升降模块，间隔地设于点灯模块一侧，在竖直方向上可移动，内部设有用于控制升降模块高度的操作面板；通过将不具有TFT侧偏光片的面板放置到点灯模块旁，并在面板对面设有升降模块，TFT侧偏光片和按压机构可随升降模块上下运动，点灯模块启动后，透过TFT侧偏光片可对基板进行宏观检查，并且通过按压机构按压基板的不同部位可有效对
一种宏观检查装置方法

[发明专利]一种宏观缺陷检查机-CN202011041859.9在审
发明人：田磊 -专利权人：维信诺科技股份有限公司
申请日： 2020-09-28 - 公布日： 2021-01-29 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本申请公开了一种宏观缺陷检查机，属于缺陷检查技术领域。本申请公开的宏观缺陷检查机包括光源、第一运动机构和第二运动机构，其中，第一运动机构连接光源的一侧，第二运动机构连接光源的另一侧，可以带动光源进行运动，实现不同光源之间的切换。第一运动机构和第二运动机构相互独立并分别用于控制光源的运动，因此，可以分别调整第一运动机构和第二运动机构控制光源的运动速度，使得分别位于光源两侧的第一运动机构和第二运动机构的运动速度接近或者一致，从而使本申请提供的宏观缺陷检查机中光源的运动速度稳定，进而能够降低宏观缺陷检查机报警或者宕机的几率，提高缺陷检查的效率。
一种宏观缺陷检查

[实用新型]一种卷帘式晶片检测机宏观目检观测窗口结构-CN201220297030.X有效
发明人：瞿丹红;姜舜;陈丽娟 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2012-06-21 - 公布日： 2012-12-26 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本实用新型提出一种卷帘式晶片检测机宏观目检观测窗口结构，包括：透明隔离层，设置于所述观测窗口面板上；不透明遮挡层卷轴，设置于所述透明隔离层顶端；卷帘式遮挡层，卷设于所述不透明遮挡层卷轴上。本实用新型提出的改进卷帘式晶片检测机宏观观测窗口，将其设计成为透明不透明可切换的模式，如进行晶片宏观检查就使其观测窗口保持透明状态，如需进行晶片宏观拍照时就将其观测窗口调整为不透明状态。这样既保证了晶片宏观检查所需的正常操作模式，也减少了晶片宏观拍照时外部灯光环境对晶片表面造成的反射，保证了晶片宏观照片质量，避免了由于晶片与机台外环境直接接触而产生微粒。
一种卷帘晶片检测宏观观测窗口结构

[发明专利]一种晶圆检查机-CN202010729028.4在审
发明人：吴昌浩;李涛;王广禄;陈曦;柯华榕 -专利权人：憬承光电科技（厦门）有限公司
申请日： 2020-07-27 - 公布日： 2020-11-03 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆检查机，包括LP组件、机械手组件、预对准组件、宏观检测组件、晶背检查组件和自动跑位组件，该发明各部件同时适用8寸和12寸的晶圆，检查不同尺寸晶圆时不需要更换硬件，极大地节约了成本，通过LP组件进行识别统计之后利用机械手组件搬运到预对准组件进行预对准，然后将晶圆搬运到宏观检测组件进行宏观检测，之后晶背检查组件翻转晶圆进行检查，最后自动跑位组件将晶圆运送到显微镜下进行微观检查，检查包括形貌(包含图形和外观等)、缺陷(包含异物、缺失和划痕)和量测数据(包含CD关键尺寸、Overlay套刻尺寸和线路尺寸等)，有利于实现晶圆的自动检查，极大地提高了工作效率。
一种检查

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