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[实用新型]水平激励超低频模态试验吊挂装置-CN201220749431.4有效
发明人：叶必卿;柴容旺;单晓杭;孙建辉;周海清 -专利权人：浙江工业大学
申请日： 2012-12-31 - 公布日： 2013-09-04 - 主分类号： G01D11/02 文献下载
摘要：水平激励超低频模态试验吊挂装置，包括气浮环安装板、接近开关、气浮环、气浮平板和卡绳组件，气浮环固定在气浮环安装板上，接近开关安装在气浮环安装板上，气浮平板放置在气浮环的正上方，卡绳组件安装在气浮平板的中心；气浮环上沿圆周方向均布节流孔，节流孔的进气口与气浮环安装板上的凹槽相通，气浮环节流孔出气口处设有三圈环形槽，环形槽有两组相切且切点过节流孔出气口，另一个环形槽以节流孔为圆心并与另两组环形槽相通，气浮环节流孔进气口两侧有环形凹槽，环形凹槽与气浮环安装平板上的进气凹槽隔离，气浮环安装板中心有圆形通孔，圆形通孔的内径小于气浮环内径。
水平激励低频试验吊挂装置

[发明专利]可实现串联供气的旋转供气装置-CN201210594720.6有效
发明人：孙建辉;周海清;单晓杭 -专利权人：浙江工业大学
申请日： 2012-12-31 - 公布日： 2013-04-17 - 主分类号： F16C32/06 文献下载
摘要：可实现串联供气的旋转供气装置，气浮轴套装在气浮套内，气浮套外围与储气套固定，储气套两端与端盖及固定，储气套中间开有环形槽与大气相通，上下两个进气口通过气管和接通，气浮轴中心有轴向通孔，气浮轴中部径向出气口，出气管道与气浮轴刚性连接，气浮轴径向出气口与出气管道内孔相通，出气管道穿过储气套上的环形槽，气浮轴与气浮套之间存在微小间隙，气浮轴与气浮套配合的部分均布有节流孔，节流孔沿气浮轴圆周方向均布且在轴向上至少有两组，气浮套上靠近高压腔一端沿圆周方向均布卸压孔，卸压孔所在圆周上开有卸压槽，卸压孔与气浮轴和气浮套之间的间隙相通，储气套上打通孔与卸压孔相通。
实现串联供气旋转装置

[实用新型]可实现串联供气的旋转供气装置-CN201220749669.7有效
发明人：袁巧玲;周丹锋;孙建辉;单晓杭;周海清 -专利权人：浙江工业大学
申请日： 2012-12-31 - 公布日： 2013-07-10 - 主分类号： F16C32/06 文献下载
摘要：可实现串联供气的旋转供气装置，气浮轴套装在气浮套内，气浮套外围与储气套固定，储气套两端与端盖及固定，中间开有环形槽与大气相通，上下两个进气口通过气管和接通，气浮轴中心有轴向通孔，气浮轴中部径向出气口，出气管道与气浮轴刚性连接，气浮轴径向出气口与出气管道内孔相通，出气管道穿过储气套上的环形槽，气浮轴与气浮套之间存在微小间隙，气浮轴与气浮套配合的部分均布有节流孔，节流孔沿气浮轴圆周方向均布且在轴向上至少有两组，气浮套上靠近高压腔一端沿圆周方向均布卸压孔，卸压孔所在圆周上开有卸压槽，卸压孔与气浮轴和气浮套之间的间隙相通，储气套上打通孔与卸压孔相通。
实现串联供气旋转装置

[发明专利]无气管弯曲扰动影响的旋转供气装置-CN201210595052.9有效
发明人：单晓杭;孙建辉;周海清 -专利权人：浙江工业大学
申请日： 2012-12-31 - 公布日： 2013-04-03 - 主分类号： F16C32/06 文献下载
摘要：无气管弯曲扰动影响的旋转供气装置，包括气浮轴、气浮套、储气套、端盖和底座，气浮轴套装在气浮套内，气浮轴与气浮套之间存在微小间隙，气浮套套装在储气套内，气浮套底部与底座固定，气浮套、底座、储气套在气浮轴底部形成高压腔，储气套上有进气口，进气口与高压腔相通，气浮轴中心有轴向通孔，气浮轴顶端与带出气孔的端盖固定，气浮套从高压腔一测沿轴向打盲孔形成进气孔，气浮套上沿圆周方向均布径向节流孔，节流孔至少有两组，节流孔两侧有密封凹槽，气浮套近高压腔一侧有卸气孔，卸气孔所在圆周内外圈上有卸气槽，卸气孔与进气孔呈夹角且相互隔离，储气套上沿径向打通孔与卸气槽相通形成排气孔。
气管弯曲扰动影响旋转供气装置

[实用新型]无气管弯曲扰动影响的旋转供气装置-CN201220749229.1有效
发明人：叶必卿;刘坤;单晓杭;孙建辉;周海清 -专利权人：浙江工业大学
申请日： 2012-12-31 - 公布日： 2013-07-10 - 主分类号： F16C32/06 文献下载
摘要：无气管弯曲扰动影响的旋转供气装置，包括气浮轴、气浮套、储气套、端盖和底座，气浮轴套装在气浮套内，气浮轴与气浮套之间存在微小间隙，气浮套套装在储气套内，气浮套底部与底座固定，气浮套、底座、储气套在气浮轴底部形成高压腔，储气套上有进气口，进气口与高压腔相通，气浮轴中心有轴向通孔，气浮轴顶端与带出气孔的端盖固定，气浮套从高压腔一测沿轴向打盲孔形成进气孔，气浮套上沿圆周方向均布径向节流孔，节流孔至少有两组，节流孔两侧有密封凹槽，气浮套近高压腔一侧有卸气孔，卸气孔所在圆周内外圈上有卸气槽，卸气孔与进气孔呈夹角且相互隔离，储气套上沿径向打通孔与卸气槽相通形成排气孔。
气管弯曲扰动影响旋转供气装置

[发明专利]水平激励超低频模态试验吊挂装置-CN201210594965.9有效
发明人：单晓杭;孙建辉;周海清 -专利权人：浙江工业大学
申请日： 2012-12-31 - 公布日： 2013-04-17 - 主分类号： G01D11/02 文献下载
摘要：一种水平激励超低频模态试验吊挂装置，包括气浮环安装板、接近开关、气浮环、气浮平板和卡绳组件，气浮环固定在气浮环安装板上，接近开关安装在气浮环安装板上，气浮平板放置在气浮环的正上方，卡绳组件安装在气浮平板的中心；气浮环上沿圆周方向均布节流孔，节流孔的进气口与气浮环安装板上的凹槽相通，气浮环节流孔出气口处设有三圈环形槽，环形槽有两组相切且切点过节流孔出气口，另一个环形槽以节流孔为圆心并与另两组环形槽相通，气浮环节流孔进气口两侧有环形凹槽，环形凹槽与气浮环安装平板上的进气凹槽隔离，气浮环安装板中心有圆形通孔，圆形通孔的内径小于气浮环内径。
水平激励低频试验吊挂装置

[发明专利]一种气悬浮无摩擦旋转供气装置-CN201210595105.7有效
发明人：单晓杭;孙建辉;周海清 -专利权人：浙江工业大学
申请日： 2012-12-31 - 公布日： 2013-04-17 - 主分类号： F16C32/06 文献下载
摘要：一种气悬浮无摩擦旋转供气装置，包括气浮轴、气浮套和底座，所述气浮轴套装在气浮套内，所述气浮轴与气浮套之间存在微小间隙，所述气浮轴与气浮套配合面呈锥形，所述底座与气浮套底面固定，所述气浮套底部有进气口，所述气浮轴底部与气浮套、底座形成高压腔，所述进气口与高压腔相通，所述气浮轴由圆锥形和圆柱形两部分组成，所述气浮轴中心有圆锥形和圆柱形孔且与高压腔相通，所述气浮轴顶部有出气孔，所述气浮轴圆锥面上均布节流孔，所述节流孔垂直与圆锥面且沿着圆周方向均布，所述节流孔与高压腔相通，所述节流孔至少有两组。本发明提供一种可连续供气的不受气管扰动影响的气悬浮无摩擦旋转供气装置。
一种悬浮摩擦旋转供气装置

[发明专利]具有载物补偿功能的气浮导轨平台-CN201610362437.9有效
发明人：王文;赵鼎成;时光;卢科青;范宗尉;裘荣波 -专利权人：杭州电子科技大学
申请日： 2016-05-26 - 公布日： 2017-12-22 - 主分类号： B23Q1/38 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有载物补偿功能的气浮导轨平台。高精度导轨研究成为热门。本发明中气浮块的气浮轴套安装孔孔壁开设气嘴安装孔；气浮轴套安装孔内设置气浮轴套；气浮块的传感器安装孔内设置线性位移传感器；气嘴安装孔内放置气嘴，供气模块给气嘴供气；载物台与所有气浮模块的气浮块固定，驱动模块驱动载物台；气浮轴套的导轨安装孔与导轨间隙配合；气浮轴套的外圆面开设多个环形槽；每个环形槽底部开设通气孔组；通气孔组为沿圆周等角度但不均布的多个通气孔；每个通气孔内设置一个小孔节流器；所有环形槽的侧部相通，并与气浮块的气嘴安装孔连通本发明能实时获取气浮模块高度信号，并对载物台高度进行实时补偿，提高加工精度。
具有补偿功能导轨平台

[发明专利]分体式气足的气浮结构-CN201110060976.4有效
发明人：李进春;齐芊枫;方洁;郑椰琴;夏海;吴立伟 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2011-03-15 - 公布日： 2012-09-19 - 主分类号： F16C32/06 文献下载
摘要：本发明的分体式气足的气浮结构位于气足板底部，其内设有气浮孔和气道，所述气浮孔与所述气道相连通，所述气浮孔与所述气浮结构的底面相连通，通过所述气道输送到所述气浮孔内的正压气体从所述气浮结构的底面输出，所述气浮结构的底面上设有泄压槽，所述泻压槽半包围在所述气浮孔外，阻挡从所述气浮结构底面输出的正压气体向所述气足板底部下方扩散。本发明的分体式气足的气浮结构可在较大的气膜厚度下，获得较高的气浮刚度，提高气足的承载能力，同时避免气足工作中产生气振，提高气足运行的稳定性。
体式结构

[发明专利]一种可实现串联供气的旋转供气装置-CN201210593682.2有效
发明人：单晓杭;周海清;孙建辉 -专利权人：浙江工业大学
申请日： 2012-12-31 - 公布日： 2013-04-17 - 主分类号： F16C32/06 文献下载
摘要：一种可实现串联供气的旋转供气装置，包括气浮轴、一对气浮套和储气套，气浮轴套装在气浮套内，气浮套有两个，气浮套外围与储气套固定，储气套与两气浮套、气浮轴之间形成高压腔，储气套上有进气口且与高压腔连通，气浮轴中心有轴向通孔，气浮轴两端通过端盖密封，气浮轴上下两端有出气口，气浮轴位于高压腔部分均布多个径向通孔；气浮套沿圆周方向均布节流孔，气体套从高压腔一侧端面沿轴向打盲孔形成进气孔，其与节流孔相通，气浮套两端与储气套密封连接，气浮套靠近高压腔一测沿圆周上均布卸气孔，卸气孔与进气孔之间有夹角且相互隔离，泄气孔所在圆周面上开一圈泄气槽，储气套上打通孔与泄气槽相通。
一种实现串联供气旋转装置

[实用新型]一种可实现串联供气的旋转供气装置-CN201220751382.8有效
发明人：叶必卿;周丹锋;单晓杭;周海清;孙建辉 -专利权人：浙江工业大学
申请日： 2012-12-31 - 公布日： 2013-07-10 - 主分类号： F16C32/06 文献下载
摘要：一种可实现串联供气的旋转供气装置，包括气浮轴、一对气浮套和储气套，气浮轴套装在气浮套内，气浮套有两个，气浮套外围与储气套固定，储气套与两气浮套、气浮轴之间形成高压腔，储气套上有进气口且与高压腔连通，气浮轴中心有轴向通孔，气浮轴两端通过端盖密封，气浮轴上下两端有出气口，气浮轴位于高压腔部分均布多个径向通孔；气浮套沿圆周方向均布节流孔，气体套从高压腔一侧端面沿轴向打盲孔形成进气孔，其与节流孔相通，气浮套两端与储气套密封连接，气浮套靠近高压腔一测沿圆周上均布卸气孔，卸气孔与进气孔之间有夹角且相互隔离，泄气孔所在圆周面上开一圈泄气槽，储气套上打通孔与泄气槽相通。
一种实现串联供气旋转装置

[实用新型]一种气悬浮无摩擦旋转供气装置-CN201220750547.X有效
发明人：叶必卿;周丹锋;单晓杭;孙建辉;周海清 -专利权人：浙江工业大学
申请日： 2012-12-31 - 公布日： 2013-07-10 - 主分类号： F16C32/06 文献下载
摘要：一种气悬浮无摩擦旋转供气装置，包括气浮轴、气浮套和底座，所述气浮轴套装在气浮套内，所述气浮轴与气浮套之间存在微小间隙，所述气浮轴与气浮套配合面呈锥形，所述底座与气浮套底面固定，所述气浮套底部有进气口，所述气浮轴底部与气浮套、底座形成高压腔，所述进气口与高压腔相通，所述气浮轴由圆锥形和圆柱形两部分组成，所述气浮轴中心有圆锥形和圆柱形孔且与高压腔相通，所述气浮轴顶部有出气孔，所述气浮轴圆锥面上均布节流孔，所述节流孔垂直与圆锥面且沿着圆周方向均布，所述节流孔与高压腔相通，所述节流孔至少有两组。本实用新型提供一种可连续供气的不受气管扰动影响的气悬浮无摩擦旋转供气装置。
一种悬浮摩擦旋转供气装置

[发明专利]不受气管扰动和高压气体影响的气浮组合装置-CN201210595019.6有效
发明人：单晓杭;孙建辉;周海清 -专利权人：浙江工业大学
申请日： 2012-12-31 - 公布日： 2013-04-03 - 主分类号： F16C32/06 文献下载
摘要：一种不受高压气体和气管扰动影响的气浮组合装置，气浮轴通过支架固定在安装板上，气浮套至少有两个，气浮套套装在气浮轴上，贮气套均与气浮套密封连接，贮气套与气浮轴之间形成贮气腔，气浮轴的轴心开有进气通道，进气通道与压缩气体的进气管连接，进气通道与贮气腔连通，气浮套径向方向均布径向节流孔，从贮气腔一侧沿轴向方向在气浮套圆柱壁上打盲孔，盲孔为进气孔，进气孔在气浮套圆柱壁上均布，进气孔与径向节流孔相通；在靠近贮气腔的一端的气浮套内壁上设计有一圈凹槽，从凹槽上沿径向打通孔形成卸压槽，卸压槽与节流孔相互隔离，卸压槽与贮气套上的通孔连通。本发明有效避免高压气体对气膜产生影响、稳定性良好、提高承载能力。
不受气管扰动高压气体影响组合装置

[实用新型]不受气管扰动和高压气体影响的气浮组合装置-CN201220749299.7有效
发明人：叶必卿;周丹锋;单晓杭;孙建辉;周海清 -专利权人：浙江工业大学
申请日： 2012-12-31 - 公布日： 2013-07-10 - 主分类号： F16C32/06 文献下载
摘要：一种不受气管扰动和高压气体影响的气浮组合装置，气浮轴通过支架固定在安装板上，气浮套至少有两个，气浮套套装在气浮轴上，贮气套均与气浮套密封连接，贮气套与气浮轴之间形成贮气腔，气浮轴的轴心开有进气通道，进气通道与压缩气体的进气管连接，进气通道与贮气腔连通，气浮套径向方向均布径向节流孔，从贮气腔一侧沿轴向方向在气浮套圆柱壁上打盲孔，盲孔为进气孔，进气孔在气浮套圆柱壁上均布，进气孔与径向节流孔相通；在靠近贮气腔的一端的气浮套内壁上设计有一圈凹槽，从凹槽上沿径向打通孔形成卸压槽，卸压槽与节流孔相互隔离，卸压槽与贮气套上的通孔连通。本实用新型有效避免高压气体对气膜产生影响、稳定性良好、提高承载能力。
不受气管扰动高压气体影响组合装置

[实用新型]一种具有载物补偿功能的气浮导轨平台-CN201620499787.5有效
发明人：赵鼎成;王文;裘荣波;时光;卢科青;范宗尉 -专利权人：杭州电子科技大学
申请日： 2016-05-26 - 公布日： 2016-12-07 - 主分类号： B23Q1/38 文献下载
摘要：本实用新型公开了具有载物补偿功能的气浮导轨平台。高精度导轨研究成为热门。本实用新型中气浮块的气浮轴套安装孔孔壁开设气嘴安装孔；气浮轴套安装孔内设置气浮轴套；气浮块的传感器安装孔内设置线性位移传感器；气嘴安装孔内放置气嘴，供气模块给气嘴供气；载物台与所有气浮模块的气浮块固定，驱动模块驱动载物台；气浮轴套的导轨安装孔与导轨间隙配合；气浮轴套的外圆面开设多个环形槽；每个环形槽底部开设通气孔组；通气孔组为沿圆周等角度但不均布的多个通气孔；每个通气孔内设置一个小孔节流器；所有环形槽的侧部相通，并与气浮块的气嘴安装孔连通。本实用新型能实时获取气浮模块高度信号，并对载物台高度进行实时补偿，提高加工精度。
一种具有补偿功能导轨平台

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