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[发明专利]一种微观和宏观复合检查机-CN201810772506.2在审
发明人：刘磊;朴成秀;权永春;王刘洋 -专利权人：江苏东旭亿泰智能装备有限公司;东旭光电科技股份有限公司
申请日： 2018-07-13 - 公布日： 2018-10-02 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本发明涉及一种微观和宏观复合检查机，包括设备基台，微观检查装置和宏观检查装置，其中，所述设备基台上设置有使被检测物悬浮在所述设备基台上方的气浮孔；所述微观检查装置包括检查设备和带动所述检查设备移动的移动机构，所述检查设备可在所述设备基台上方移动，对被检测物进行微观检查；所述宏观检查装置包括旋转机构和固定所述被检测物的检查支架，所述检查支架通过旋转机构可旋转地固定在所述设备基台的一侧或端部。本发明通过将微观检查设备和宏观检查设备集成为一体式复合结构，微观检查和宏观检查可以在同一设备上进行，检查过程中不需要移动显示屏等被检测物，检查操作方便简单、设备体积小，可大大提高检查效率。
被检测物检查设备微观检查宏观检查装置微观检查装置旋转机构检查机基台支架检查微观一体式复合结构复合宏观检查设备移动显示屏宏观检查检查过程同一设备移动机构可旋转气浮孔体积小移动宏观悬浮

[实用新型]一种微观和宏观复合检查机-CN201821112337.1有效
发明人：刘磊;朴成秀;权永春;王刘洋 -专利权人：江苏东旭亿泰智能装备有限公司;东旭光电科技股份有限公司
申请日： 2018-07-13 - 公布日： 2019-02-22 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种微观和宏观复合检查机，包括设备基台，微观检查装置和宏观检查装置，其中，所述设备基台上设置有使被检测物悬浮在所述设备基台上方的气浮孔；所述微观检查装置包括检查设备和带动所述检查设备移动的移动机构，所述检查设备可在所述设备基台上方移动，对被检测物进行微观检查；所述宏观检查装置包括旋转机构和固定所述被检测物的检查支架，所述检查支架通过旋转机构可旋转地固定在所述设备基台的一侧或端部。本实用新型通过将微观检查设备和宏观检查设备集成为一体式复合结构，微观检查和宏观检查可以在同一设备上进行，检查过程中不需要移动显示屏等被检测物，检查操作方便简单、设备体积小，可大大提高检查效率。
被检测物检查设备微观检查宏观检查装置微观检查装置本实用新型旋转机构检查机基台支架检查微观一体式复合结构复合宏观检查设备移动显示屏宏观检查检查过程同一设备移动机构可旋转气浮孔体积小移动宏观悬浮

[发明专利]外观检查装置、外观检查方法以及可安装在外观检查装置上的边缘部检查单元-CN200680014011.9有效
发明人：横田敦俊;蛇石广康;土坂新一 -专利权人：奥林巴斯株式会社
申请日： 2006-04-26 - 公布日： 2008-04-23 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明提供一种外观检查装置、外观检查方法以及可安装在外观检查装置上的边缘部检查单元。该外观检查装置具有宏观检查部(10)和微观检查部(11)，在微观检查部(11)中，将检查台(31)与显微镜(32)安装在安装板(30)上。检查台(31)可分别在X方向、Y方向、Z方向上移动，还可在θ方向上旋转。而且，在安装板(30)上固定有边缘部检查部(12)，该边缘部检查部(12)取得晶片(W)的边缘部的放大像。边缘部检查部(12)被配置为拍摄保持在检查台(31)上的晶片(W)的边缘部。
外观检查装置方法以及安装边缘单元

[发明专利]用于流体动力流动聚焦的方法、装置和系统-CN201580044060.6在审
发明人： L·H·瑞多夫;J·格鲁克斯塔德;T·艾艾波 -专利权人：福斯分析仪器公司
申请日： 2015-09-30 - 公布日： 2017-08-01 - 主分类号： B01L3/00 文献下载
摘要：在用于层流和平面样本流体流的流体动力聚焦的方法中，提供了用于分析和/或分选样本流体中的微观对象的系统，其包括用于微观对象的光学检查的光学物镜。微观对象在样本流体的层流中传送，并且提供两个层流和平面的鞘流体流。样本流体的流动通过鞘流体被流体动力学地聚焦在系统的光学检查区。控制样本流体的流动的聚焦，使得样本流体中的所有微观对象在系统的检查区域处在单个平面中沿着共同的流动方向被传送，并且流体中的微观对象通过光学物镜进行光学检查。
用于流体动力流动聚焦方法装置系统

[发明专利]晶片检查装置-CN202010629779.9在审
发明人：吉田真司;桥本浩二;野村安国 -专利权人：株式会社迪思科
申请日： 2020-07-03 - 公布日： 2021-01-12 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：提供晶片检查装置，其以最低限度的移动单元使宏观照相机和微观照相机移动到各自的拍摄部位。根据与保持工作台的旋转角度对应的中心间距离，将微观照相机配置在微观照相机的适当的拍摄位置。即使在保持面的中心(C0)与晶片的中心(C1)错开而晶片的外周的X轴方向的位置随着保持工作台的旋转而变动的情况下，也能够使微观照相机的拍摄范围追随晶片的外周位置。因此，能够容易地确定微观照相机的拍摄范围。另外，仅通过利用一个X轴移动机构使两个照相机沿着X轴方向移动，就能够实施晶片的正面检查和晶片的外周检查这双方。
晶片检查装置

[发明专利]外观检查用基板保持装置-CN200710149202.2无效
发明人：冈平裕幸 -专利权人：奥林巴斯株式会社
申请日： 2007-09-06 - 公布日： 2008-03-12 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本发明涉及外观检查装置的基板保持装置，该外观检查装置将基板(2)载置在框状的载物台(3)上，进行基板的检查。在该基板保持装置中，独立于设置在载物台(3)的开口部上的棂条(17)和固定销(17a)，设置支撑基板的支撑销(25)和固定支撑销(25)的支撑杆(24)，将支撑杆(24)连接在一对输送器的传送带上，使其相对于基板进退在宏观检查时，支撑杆和支撑销保持在隐藏于载物台的框状部(3b)的退避位置，在微观检查时，支撑杆和支撑销从背面支撑基板的缺陷(K)或者其附近。根据本发明，既可以抑制微观检查中基板的振动，又不会妨碍宏观检查。
外观检查用基板保持装置

[实用新型]透析器纤维束切割端面微观检查装置-CN201320114851.X有效
发明人：王璐;张立德;李鹏;李双鹏 -专利权人：天津阿法莱诺生命科技有限公司
申请日： 2013-03-14 - 公布日： 2013-08-07 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种透析器纤维束切割端面微观检查装置，包括冷光源发射仪和体视显微镜，特征是：该装置还包括支架、透析器移动架、照相机和显示器，所述支架上依次设有冷光源发射仪、透析器移动架、体视显微镜和照相机优点是：本微观检查装置不仅操作简便，判断准确，检测精度高；而且还可缩短操作时间，大幅度提高生产效率。
透析纤维切割端面微观检查装置

[发明专利]CF基板微观检查机-CN201710235144.9在审
发明人：夏郭伟 -专利权人：武汉华星光电技术有限公司
申请日： 2017-04-12 - 公布日： 2017-08-04 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本发明提供了一种CF基板微观检查机，所述检查机包括AOI自动光学检测仪、CF基板微观复核装置，所述CF基板微观复核装置包括摄像组件支架、至少四组摄像组件，每组摄像组件包括图像获取装置以及驱动图像获取装置水平移动的驱动机构，所述驱动机构固定在摄像组件支架上，每组摄像组件形成一个摄像区域；所述摄像组件支架固定在机架上，每个摄像区域分别对应CF基板上的至少一个基板单元，所述图像获取装置的镜头朝下，所述图像获取装置以及驱动机构与图像处理装置连接
cf 微观检查

[发明专利]一种输电导线运行过程高温熔断的分析方法-CN201910916813.8在审
发明人：彭家宁;刘桂婵;边美华;张兴森;卢展强;梁世容 -专利权人：广西电网有限责任公司电力科学研究院
申请日： 2019-09-26 - 公布日： 2020-02-14 - 主分类号： G01R31/08 文献下载
摘要：本发明属于电力设备检测技术领域，具体涉及一种输电导线运行过程高温熔断的分析方法，包括以下步骤：S1：开展输电导线高温熔断断口宏观检查，分析输电导线高温熔断断口的宏观形貌特征；S2：开展输电导线高温熔断断口微观金相组织检查，分析输电导线高温熔断断口微观金相组织；S3：根据断口宏观和微观检查分析结果确定输电导线高温熔断原因。本发明通过断口宏观形貌特征以及微观金相组织确定输电导线高温熔断原因，解决了输电导线高温熔断原因分析困难问题。采用本发明方法可以快速评判输电导线高温熔断原因，并指导技术人员开展输电导线高温熔断分析。
高温熔断输电导线断口微观金相组织宏观形貌分析电力设备检测宏观检查困难问题微观检查原因分析运行过程评判宏观检查

[发明专利]一种光配向后盒内液晶检查机及其检测方法-CN201910067765.X在审
发明人：赵磊 -专利权人：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
申请日： 2019-01-24 - 公布日： 2019-05-10 - 主分类号： G02F1/13 文献下载
摘要：本发明公开了一种光配向后盒内液晶检查机，所述检查机包括：检测机台、线扫描相机、显微镜相机、光源、传动装置以及检测计算机。本发明通过采用线扫描相机与显微镜相机协作的方式，线扫描相机对待检测基板进行全面扫描取相，检测计算机通过灰阶演算处理图像，从而对基板上的异常进行检出，显微镜相机对异常区域进行微观检测，因此基板的微观异常以及暗点等宏观异常都能被检出，提升了配向后盒内液晶检查机对不固定点位的异常以及基板宏观异常的检出能力，同时也缩短了光配向后盒内液晶检查机检查基板异常的时间，保证产品良品率的同时也大大提高了生产效率。
检查机后盒配向线扫描相机液晶检测基板检出显微镜相机机台传动装置检查基板全面扫描生产效率微观检测演算处理异常区域对基板计算机良品率暗点点位宏观灰阶光源微观图像协作保证

[发明专利]巨观及微观检测设备及检测方法-CN202111029175.1在审
发明人：蔡振扬;陈维懋;谢洹圳 -专利权人：旺矽科技股份有限公司
申请日： 2021-09-03 - 公布日： 2022-03-25 - 主分类号： G01N21/01 文献下载
摘要：本发明涉及一种巨观及微观检测设备，包含有一巨观检查站，以及分别设于巨观检查站二侧的一待测物存放站及一微观检测站，巨观检查站包含有一机壳、一机械手臂及一视觉辨识系统，机械手臂包含有一用于承载一待测物且能翻转的末端执行器并以末端执行器能进入待测物存放站及微观检测站的方式设于机壳内本发明的检测设备及检测方法可避免人力检查所造成的问题，且结构简洁、节省空间，并可产生高检测效率。
微观检测设备方法

[发明专利]内窥镜-CN01811903.4无效
发明人：理查德·法卡斯;理查德·费希尔;史蒂文·亨克 -专利权人：内窥成像有限责任公司
申请日： 2001-06-28 - 公布日： 2003-09-10 - 主分类号： A61B1/04 文献下载
摘要：公开了一种具有一外壳的内窥镜装置，适合于由医务人员如外科医生进行操作。一细长的透镜管使其一端固定到该外壳上，而一细长的构架可拆卸地固定在该外壳上，以使该构架环绕镜管并与该管同轴。而且，外壳内的透镜组在宏观与微观放大之间改变图像的放大率，其中可在细胞级别上检查组织。对于宏观放大，白光通过透镜管，并且通过透镜管从目标组织反射回来，到达外壳。对于微观检查，利用激光辐射代替白光照明。外壳中所包含的线扫描共焦装置，使得能够从该构架的端部到组织中的不同水平面上对目标组织进行微观检查。
内窥镜

[实用新型]一种可提供多色宏观检查光源的晶圆检查光学显微镜-CN200720067981.7无效
发明人：陈亮;许俊;庄祈龙 -专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请日： 2007-03-20 - 公布日： 2008-03-12 - 主分类号： G02B21/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种可提供多色宏观检查光源的晶圆检查光学显微镜。现有的晶圆检查光学显微镜只能提供白光进行宏观检查致使有些晶圆表面的缺陷很难被检查出来。本实用新型的晶圆检查光学显微镜包括用于对晶圆进行宏观检查的宏观检查单元、用于对晶圆进行微观检查的微观检查单元、用于载送晶圆至检查区域的晶圆载送机构以及用于控制上述构件进行晶圆检查的控制模块，其中，该宏观检查单元具有用于提供宏观检查光源的宏观光源模块采用本实用新型能提高晶圆检查光学显微镜进行宏观检查的精确性和可靠性。
一种提供多色宏观检查光源光学显微镜

[发明专利]一种便携手持式显微观察镜-CN201710464104.1有效
发明人：李兴邦;角佩桃;艾德喜;杨俊海;贺伟;周杰;万澎;鲍佳男;万春山;左治伪;张昌;周玲玲;张聪;朱惠;吕文星;方何仅 -专利权人：云南北方光电仪器有限公司
申请日： 2017-06-19 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： G02B21/02 文献下载
摘要：本发明属于显微观察镜，具体是一种手持式显微观察镜，适用于不易近距离检查的设施内部、野外洞穴物貌的观察，是实现狭窄的暗环境下远距离显微观察的仪器。本观察镜的折射式光学系统的物镜组与目镜组之间设置有别汉棱镜组，物镜组的成像为倒像，通过别汉棱镜组到目镜组焦面上的成像为正像，整个观察镜的调焦范围是1m～2m，在镜身的下方设置有光射线与镜身轴线方向一致的照明装置本发明体积小、重量轻，可作为快速检查、观测远距离物体的表面状况。
一种便携手持显微观察

[实用新型]玻璃基板微观检查机-CN201720103400.4有效
发明人：邓永松;丁力;刘磊;蔡杰;权永春 -专利权人：江苏东旭亿泰智能装备有限公司;东旭光电科技股份有限公司
申请日： 2017-01-23 - 公布日： 2017-08-08 - 主分类号： G01N21/958 文献下载
摘要：本公开涉及一种玻璃基板微观检查机，包括光学显微镜(1)和驱动该光学显微镜沿垂直于玻璃基板(7)传送方向的宽度方向移动的第一驱动装置(2)，所述玻璃基板微观检测机还包括照明装置(3)以及驱动所述照明装置(3)随所述光学显微镜(1)同步运动的第二驱动装置(4)，其中所述光学显微镜与所述照明装置(3)分别位于所述玻璃基板(7)的上下两侧，并且使得所述光学显微镜(1)的镜头(11)与所述照明装置在所述玻璃基板由于配置了位于玻璃基板下方的与光学显微镜同步运动的照明装置，并且使投光点和镜头竖直对齐，能够大幅提升光学显微镜成像照片的清晰度，便于分析缺陷的种类。
玻璃微观检查

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