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[发明专利]圆运动研究装置-CN201510051058.3有效
发明人：周晶 -专利权人：周晶
申请日： 2015-01-30 - 公布日： 2018-03-13 - 主分类号： G09B23/10 文献下载
摘要：本发明属于动力学研究装置领域，尤其是研究圆周运动所涉及到的动力学装置。一个细线拴着一个重物在竖直平面做圆周运动，出现了实验现象和理论不符的情况，为了解释该现象并且证明理论的正确，本发明提出一种装置圆运动研究装置，包括竖直面板，底座，竖直面板由铁制成，还包括磁柱，细线的上端栓接于磁柱，细线的下端悬挂球形重物，其特征是竖直面板固定连接一个用于使重物经过平衡位置后不受细线拉力并且约束重物运动的轨道，所述轨道设有圆弧形导轨，圆弧形导轨上端固定连接挡片，挡片固定连接弹性卡片。
运动研究装置

[发明专利]圆运动研究装置-CN201810071838.8有效
发明人：不公告发明人 -专利权人：蔡银花
申请日： 2015-01-30 - 公布日： 2019-09-06 - 主分类号： G09B23/10 文献下载
摘要：本发明属于动力学研究装置领域，尤其是研究圆周运动所涉及到的动力学装置。一个细线拴着一个重物在竖直平面做圆周运动，出现了实验现象和理论不符的情况，为了解释该现象并且证明理论的正确，本发明提出一种装置：圆运动研究装置，包括竖直面板，底座，竖直面板由铁制成，还包括磁柱，细线的上端栓接于磁柱，细线的下端悬挂球形重物，其特征是：竖直面板固定连接一个用于使重物经过平衡位置后不受细线拉力并且约束重物运动的轨道，所述轨道设有圆弧形导轨，圆弧形导轨上端固定连接挡片，挡片固定连接弹性卡片。
细线竖直面板重物圆弧形导轨研究装置圆周运动圆运动磁柱动力学研究装置动力学装置弹性卡片连接挡片平衡位置球形重物上端固定实验现象竖直平面上端挡片轨道栓接下端底座悬挂研究

[发明专利]圆编的运动制品-CN201910728729.3有效
发明人：汤姆·奥海尔;安德鲁·伊普 -专利权人：阿迪达斯股份公司
申请日： 2019-08-08 - 公布日： 2021-11-26 - 主分类号： A43B23/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于鞋类或者服装制品的圆编管，其包括：(a)多个经纱，其具有第一弹性模量；(b)多个纬纱，其具有第二弹性模量，以及(c)其中第二弹性模量小于第一弹性模量。
运动制品

[实用新型]圆运动振动筛-CN03282599.4无效
发明人：高正忠 -专利权人：高正忠
申请日： 2003-09-26 - 公布日： 2005-02-16 - 主分类号： B07B1/28 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于石料加工行业使用的圆运动振动筛，解决了已有振动筛焊接带来的残余应力大，物料无序流动，振幅不均、生产效率低等问题，包括骨架(4)、筛片(7)、轴(5)、块偏心轮(6)，筛体(1)悬浮于弹簧
运动振动筛

[发明专利]一种晶圆对准装置及其对准方法-CN202010955620.6在审
发明人：杨光;司伟 -专利权人：北京华卓精科科技股份有限公司
申请日： 2020-09-11 - 公布日： 2020-12-08 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明涉及半导体芯片制造技术领域，目的是提供一种晶圆对准装置及其对准方法，对准精确度高，操作方法简便。上述晶圆对准装置包括基座(1)以及设置于所述基座(1)上的上晶圆运动系统、下晶圆运动系统、位置记录系统、视觉检测系统以及控制系统，所述视觉检测系统设置于所述上晶圆运动系统和所述下晶圆运动系统的两侧，所述上晶圆运动系统设置有精动对准调节装置，所述上晶圆运动系统或所述下晶圆运动系统设置有平行度检测元件；在所述控制系统的控制下，通过所述视觉检测系统、所述上晶圆运动系统和所述下晶圆运动系统的配合使所述上晶圆(2)和所述下晶圆(3)对准。本发明解决了现有晶圆对准装置对准误差大、精度低的问题。
一种对准装置及其方法

[发明专利]晶圆的运动控制方法及晶圆的运动控制系统-CN202210975028.1在审
发明人：田东卫;温任华 -专利权人：魅杰光电科技（上海）有限公司
申请日： 2022-08-15 - 公布日： 2022-10-25 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明主要涉及到晶圆的运动控制方法及晶圆的运动控制系统。其中定义用于承载晶圆的一个运动平台具有机器坐标系，由运动平台在其机械横坐标和机械纵坐标上各自行走的步进值而得到多组校验值，根据所述校验值将所述机器坐标系转换到用于校验所述运动平台的误差的一校验坐标系，在利用所述运动平台移动晶圆时将所述校验坐标系转换到用于标定晶圆位置的一个用户坐标系
运动控制方法控制系统

[发明专利]一种基于随机抽样一致算法的工业机器人圆运动评价方法-CN202210902269.3在审
发明人：戴家隆;李鹏程;刘思明 -专利权人：江苏航鼎智能装备有限公司;南京航空航天大学
申请日： 2022-07-29 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： B25J9/16 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于随机抽样一致算法的工业机器人圆运动评价方法，包括：在工业机器人上连接激光跟踪仪，通过激光跟踪仪记录工业机器人末端的圆运动轨迹，得到工业机器人的离散测量点集；随机选取3个圆运动轨迹点，确定标准圆方程；根据确定的标准圆方程，遍历离散测量点集中的每一个圆运动轨迹点，判断每个圆运动轨迹点到圆周的最小距离是否小于阈值，将对应的圆运动轨迹点组成局内点集合；重复上述过程，直至达到设定的实验次数，选择包含圆运动轨迹点最多的内点集合，拟合成圆，根据拟合圆的半径求取拟合圆的圆度，圆度值越小，工业机器人的控制精度越高。本发明通过随机抽样一致算法思想对工业机器人的运动轨迹进行轨迹精度的评定。
一种基于随机抽样一致算法工业机器人运动评价方法

[发明专利]一种反应槽内晶圆组分离装置-CN202011298981.4在审
发明人：黄自柯;林生海;赵晗 -专利权人：冠礼控制科技（上海）有限公司
申请日： 2020-11-19 - 公布日： 2021-02-09 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明涉及一种反应槽内晶圆组分离装置，包括由下至上依次布置在立柱直线运动单元上的晶圆组运动平台、载具运动平台、晶圆组夹持单元、晶圆组导向单元，凸轮连杆组、平台联动锁定单元安装于立柱直线运动单元两侧，晶圆组运动平台、载具运动平台分别与凸轮连杆组、平台联动锁定单元连接，并通过平台联动锁定单元实现开锁分离，载具运动平台设于晶圆组运动平台之上，且在凸轮连杆组的带动下作上下运动，并将晶圆载具内的晶圆组顶出晶圆载具上方，以进入晶圆组导向单元内，晶圆组夹持单元对分离出的晶圆组进行轴向定位；本发明能够确保载具与晶圆组的分离过程中不会打断制程或离开制程区，使其始终位于同一区域，获得较高的洁净度或干燥度。
一种反应槽内晶圆组分装置

[实用新型]一种反应槽内晶圆组分离装置-CN202022694383.0有效
发明人：黄自柯;江献茂;赵晗 -专利权人：冠礼控制科技（上海）有限公司
申请日： 2020-11-19 - 公布日： 2021-05-18 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种反应槽内晶圆组分离装置，包括由下至上依次布置在立柱直线运动单元上的晶圆组运动平台、载具运动平台、晶圆组夹持单元、晶圆组导向单元，凸轮连杆组、平台联动锁定单元安装于立柱直线运动单元两侧，晶圆组运动平台、载具运动平台分别与凸轮连杆组、平台联动锁定单元连接，并通过平台联动锁定单元实现开锁分离，载具运动平台设于晶圆组运动平台之上，且在凸轮连杆组的带动下作上下运动，并将晶圆载具内的晶圆组顶出晶圆载具上方，以进入晶圆组导向单元内，晶圆组夹持单元对分离出的晶圆组进行轴向定位；本实用新型能够确保载具与晶圆组的分离过程中不会打断制程或离开制程区，使其始终位于同一区域，获得较高的洁净度或干燥度。
一种反应槽内晶圆组分装置

[发明专利]一种晶圆键合的对准方法及装置-CN202310954259.9在审
发明人：王晨;马双义;李璇 -专利权人：拓荆键科（海宁）半导体设备有限公司
申请日： 2023-07-31 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明提供了一种晶圆键合的对准方法及装置，多个图像采集装置位于待键合晶圆的同侧且采集方向相同，对准方法包括：将第一晶圆传递到第一运动平台的预定位置后，固定第一运动平台；使多个图像采集装置对第一晶圆进行聚焦成像，采用预设算法确定第一晶圆的位置坐标；将第二晶圆传递到第二运动平台的预定位置以使第一晶圆与第二晶圆朝向相对，其中第二运动平台与第一运动平台的位置平行；使多个图像采集装置对第二晶圆进行聚焦成像以确定第二晶圆的位置坐标；基于第一晶圆和第二晶圆的位置坐标调节第二运动平台，以使第二晶圆与第一晶圆的位置在晶圆轴向方向上对准重合；沿晶圆轴向方向调节第二运动平台以使两片晶圆贴近以进行键合。
一种晶圆键合对准方法装置

[实用新型]一种可控制晶圆片间距的清洗槽-CN201420635189.7有效
发明人：厉心宇 -专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
申请日： 2014-10-29 - 公布日： 2015-03-11 - 主分类号： B08B3/08 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种可控制晶圆片间距的清洗槽，属于半导体集成电路工艺技术领域，包括驱动装置、运动丝杆以及若干个相对独立的晶圆基座，各晶圆基座夹紧所述运动丝杆，并在所述运动丝杆的带动下做水平正向或反向运动，各晶圆基座到达清洗槽的预设位置后，松开运动丝杆。本实用新型通过运动丝杆带动各晶圆基座做正向或反向运动，同时控制各晶圆基座的开合，使各晶圆基座放置在清洗槽的预设位置，从而合理调整晶圆的片间距，防止因晶圆的片间距过小导致反应速率过慢；本实用新型机械结构简单，成本低，便于维护，提高反应速率的同时增加晶圆产量。
一种控制晶圆片间距清洗

[发明专利]非圆齿轮型匀速往复直线运动机构-CN03145563.8无效
发明人：孙锦行 -专利权人：孙锦行
申请日： 2003-07-03 - 公布日： 2004-04-21 - 主分类号： F16H49/00 文献下载
摘要：现有的用于输出匀速往复直线运动的非圆齿轮型匀速往复直线运动机构中，非圆齿轮有三种形式：椭圆齿轮+减速圆柱齿轮、卵形齿轮和偏心圆共轭非圆齿轮。这三者在适当选取偏心率后输出的运动规律十分相似，都只是近似的匀速的往复直线运动。本发明提供的非圆齿轮型匀速往复直线运动机构，其中非圆齿轮传动副中主从动齿轮1、2的节曲线完全按预先设定的理想输出运动曲线设计，与原有的非圆齿轮型匀速往复直线运动机构相比，滑杆6所输出的运动在动程中部速度不匀完全消失所提供的非圆齿轮型匀速往复直线运动机构是具有真正匀速往复运动特性的往复匀速直线运动机构。
齿轮匀速往复直线运动机构

[发明专利]非圆齿轮传动压力机及非圆齿轮节线形状的获得方法-CN201110056161.9无效
发明人：邵新宇;黄禹;段正澄;邓建春;朱国力;龚时华 -专利权人：东莞华中科技大学制造工程研究院;华中科技大学
申请日： 2011-03-09 - 公布日： 2011-09-14 - 主分类号： B30B1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种非圆齿轮传动压力机及非圆齿轮节线形状的获得方法，所述非圆齿轮传动压力机包括动力装置、曲柄、连杆、滑块及相互啮合的主动非圆齿轮和从动非圆齿轮。所述连杆与所述曲柄及滑块相连，所述动力装置与所述主动非圆齿轮传动连接，所述从动非圆齿轮与所述曲柄传动连接。由压力机的运动特性减去压力机中的曲柄滑块机构的运动特性，即可得到非圆齿轮的运动特性，再由非圆齿轮的运动特性即可求出非圆齿轮的节线曲线方程。本发明运动特性曲线富于变化，制造精度高，工作效率高及获得压力机运动特性曲线简单。
齿轮传动压力机线形获得方法

[发明专利]一种基于机器视觉的探针台运动位置补偿方法-CN202310047507.1在审
发明人：张雷;梁汉濠;王玉;李振华;贾子彦;章天骄;张琳;刘舒祺;丁兆明 -专利权人：江苏理工学院
申请日： 2023-01-31 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于机器视觉的探针台运动位置补偿方法，建立由若干个单位网格构成的晶圆运动点阵图，在晶圆上设置特征点，伺服电机控制晶圆以晶圆上特征点按照一个单位网格为移动距离的方式进行运动，晶圆每移动一个单位网格，相机拍摄采集运动后的晶圆图片，测算采集到的晶圆图片上特征点的实际位置，将特征点在点阵图中移动后的理论位置与实际位置进行对比并得出运动误差，然后根据运动误差进行位置补偿，使晶圆每移动一个单位网格进行一次运动误差的位置补偿，直至晶圆运动至所需位置。本方法对用晶圆上的特殊点对晶圆片移动的整个过程进行补偿，对全过程中每个可能出现的位置建立网格，与实际的位置进行比较，来实现对于全过程的补偿。
一种基于机器视觉探针运动位置补偿方法

[发明专利]圆运动振动磨机-CN89100422.X无效
发明人：王树林 -专利权人：西安冶金建筑学院
申请日： 1989-01-28 - 公布日： 1992-07-15 - 主分类号： B02C17/14 文献下载
摘要：本发明为一种圆运动振动磨机，属于粉体工程技术领域和磨矿工程机械范畴。本发明避免了扭振现象，保证了设备运动轨迹为圆，另外，本发明的空气弹簧为无恒压气源操纵的气压密闭的空气弹簧。
运动振动

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