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- [发明专利]含氟干式涂布剂的涂布方法-CN201310199896.6在审
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山口浩一
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信越化学工业株式会社
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2013-05-27
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2013-12-18
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C23C14/12
- 本发明提供不受含氟有机硅烷化合物的批次影响、能够均匀地且范围广地在基材上成膜的含氟干式涂布剂的涂布方法。涂布方法,是含氟干式涂布剂的涂布方法,其特征在于,将含氟有机硅烷化合物100质量份用含氟干式涂布剂用稀释剂100-99,900质量份稀释,调制含氟干式涂布剂,使用该涂布剂在基材上干式涂布,该含氟干式涂布剂用稀释剂含有(A)从常压下的沸点为100℃以上且小于135℃的氟系溶剂中选择的至少1种和(B)从常压下的沸点为80℃以上200℃以下的氟系溶剂中选择的与(A)成分不同的至少1种,(A)/(B)的质量比为95/5-5
- 含氟干式涂布剂方法
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