专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]双面研磨抛光-CN202223554667.5有效
  • 姜湛江 - 东莞市炜安达智能科技有限公司
  • 2022-12-30 - 2023-04-11 - B24B37/08
  • 本实用新型公开一种双面研磨抛光,包括有机架、控制器、内齿圈装置、外齿圈装置、下研磨装置、上研磨装置以及治具盘;该机架上具有一研磨抛光腔;该控制器设置于机架上;该内齿圈装置包括有内齿圈和第一驱动机构,该内齿圈可转动地设置于研磨抛光腔中,该第一驱动机构带动内齿圈转动,第一驱动机构与控制器电性连接;通过配合利用内齿圈装置和外齿圈装置带动治具盘转动,并配合利用下研磨装置和上研磨装置分别对工件的上下表面进行研磨抛光,一次装夹即可对工件同时进行双面研磨抛光
  • 双面研磨抛光机
  • [实用新型]双面研磨抛光-CN200920218807.7在审
  • 李树明 - 李树明
  • 2009-09-18 - 2011-04-06 - B24B37/04
  • 本实用新型所述的双面平面研磨抛光是由:它是由床身(1),马达(2),带轮(3),床身蓄水槽(4),下研磨盘(5),工装传动大齿轮(6),工装(7),齿轮(8),上研磨盘(9),进水管(10),龙门架(11),传动轴(12),圆维齿轮(13),圆维齿轮(14),马达(15),气缸(16),支板(17),修刀架(18),挡水罩(19),研磨盘法兰(20),齿轮轴(21),带轮(22),工装减速(23),研磨盘减速(24),构成,该机具有结构新颖、紧凑、效率高、精度高,稳定性好,修刀架轻巧,易制造,工艺性好,维修调试方便,外观和内部结构都有了较大的改善。
  • 双面研磨抛光机
  • [实用新型]龙门式蓝宝石晶片双面研磨/抛光-CN201520726669.9有效
  • 徐雳;董瑞;吴石;刘冰 - 哈尔滨理工大学
  • 2015-09-18 - 2016-02-17 - B24B37/04
  • 本实用新型涉及一种龙门式蓝宝石晶片双面研磨/抛光。目前在蓝宝石晶片生产加工中采用悬臂式双面研磨抛光,该设备结构复杂,维修困难,在研磨抛光过程中,由于上下研磨盘的之间相对运动,容易导致悬臂结构左右晃动。本实用新型组成包括:箱体和底板系统(5),箱体和底板系统内部安装有动力传动系统(4),箱体和底板系统上平面安装有升降支撑系统(1),升降支撑系统顶部安装有液压系统(6),液压系统前端通过连接轴与研磨轴承(7)连接,研磨轴承下方安装有上研磨系统(2),动力传动系统分别通过传动带与电机A(38)、电机B(30)、电机C(29)、电机D(37)连接。本实用新型用于龙门式蓝宝石晶片双面研磨/抛光
  • 龙门蓝宝石晶片双面研磨抛光机
  • [发明专利]一种用于双面研磨抛光的工装夹具-CN201610999604.0在审
  • 欧仕明;蒋红霞;欧旭良;潘晓波;欧国春 - 宜兴市晶科光学仪器有限公司
  • 2016-11-14 - 2017-02-01 - B24B37/28
  • 本发明公开了一种用于双面研磨抛光的工装夹具,包括夹具本体(1),所述的夹具本体(1)为圆盘状且的夹具本体(1)圆周外缘设有均匀分布的齿轮卡槽(2),齿轮卡槽(2)能够同时与双面研磨抛光的太阳轮和内齿圈相互啮合,在夹具本体(1)上设有镂空的工件槽(3),使得装入工件槽(3)的待加工工件的上下面都能得到研磨抛光且待加工工件能够自转。本发明根据研磨抛光的形状来设计其工装夹具的形状,保证工装夹具能够很好的与研磨抛光的齿轮啮合运转;该工装夹具能够使得待加工工件迅速准确地安装,工件槽和待加工工件相对应以确保待加工工件在加工过程中不会移动
  • 一种用于双面研磨抛光机工装夹具
  • [实用新型]一种用于双面研磨抛光的工装夹具-CN201621222537.3有效
  • 欧仕明;蒋红霞;欧旭良;潘晓波;欧国春 - 宜兴市晶科光学仪器有限公司
  • 2016-11-14 - 2017-05-17 - B24B37/28
  • 本实用新型公开了一种用于双面研磨抛光的工装夹具,包括夹具本体(1),所述的夹具本体(1)为圆盘状且的夹具本体(1)圆周外缘设有均匀分布的齿轮卡槽(2),齿轮卡槽(2)能够同时与双面研磨抛光的太阳轮和内齿圈相互啮合,在夹具本体(1)上设有镂空的工件槽(3),使得装入工件槽(3)的待加工工件的上下面都能得到研磨抛光且待加工工件能够自转。本实用新型根据研磨抛光的形状来设计其工装夹具的形状,保证工装夹具能够很好的与研磨抛光的齿轮啮合运转;该工装夹具能够使得待加工工件迅速准确地安装,工件槽和待加工工件相对应以确保待加工工件在加工过程中不会移动
  • 一种用于双面研磨抛光机工装夹具
  • [发明专利]一种高效改变SiC衬底形状的方法-CN202210418807.1在审
  • 陈秀芳;郭枫林;徐现刚 - 山东大学
  • 2022-04-20 - 2022-08-05 - H01L21/02
  • 本发明涉及一种高效改变SiC衬底形状的方法,该方法包括采用双面研磨对切割后的晶片进行双面研磨;清洗后采用双面抛光将清洗完毕的晶片置于抛光中进行双面机械抛光,如果双面机械抛光之后的晶片形状相对于目标形状为劣,且Bow>15um,对晶片进行补充性单面机械抛光,最后将机械抛光后的晶片,对硅面或者碳面进行化学机械抛光,得到均匀凹陷或凸起的SiC衬底。本发明通过特定的研磨抛光时晶片朝向以及上下盘转速,突破了非极性半导体加工的局限性,在保证SiC衬底表面高平整度和低表面粗糙度的前提下,可以将衬底形状快速加工至均匀凹陷或凸起,有效缩减了传统加工的繁琐步骤,并能提高抛光液寿命从而节约加工成本。
  • 一种高效改变sic衬底形状方法
  • [发明专利]一种双面研磨抛光-CN201911413959.7在审
  • 胡田田;王宏臣 - 淮安信息职业技术学院
  • 2019-12-31 - 2020-05-12 - B24B37/08
  • 本发明公开了一种双面研磨抛光,一种双面研磨抛光,包括机身、下盘装置和上盘装置,所述机身包括驱动装置、支撑臂及机箱,所述支撑臂底端固定连接于机箱,所述上盘装置包括设置在支撑臂顶端的气缸,所述气缸的活塞杆下端转动连接固定盘,所述固定盘通过固定柱固定连接上研磨盘;所述下盘装置包括穿出机箱上部的空心轴,所述空心轴固定连接有下研磨盘,还包括向上穿出空心轴的驱动轴,所述驱动轴上转动连接有齿轮、固定连接有与上研磨盘所设的中心连接腔匹配的花键轴;研磨抛光时,位于上下研磨盘之间的模具外周,与齿轮、下研磨盘啮合转动。
  • 一种双面研磨抛光机

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