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- [发明专利]一种晶圆研磨抛光设备-CN202310897223.1有效
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任明元;梁春;刘文平
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苏州博宏源机械制造有限公司
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2023-07-21
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2023-10-27
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B24B7/22
- 本发明公开了一种晶圆研磨抛光设备，涉及晶圆研磨抛光技术领域，包括底座，所述底座的顶部固定连接有连接臂，且连接臂的另一端固定连接有顶架，顶架的底部固定连接有液压缸二，液压缸二的输出端固定连接有升降板。本发明公开的一种晶圆研磨抛光设备具有在通过研磨垫对旋转中的晶圆进行研磨抛光操作时，启动吸附泵和电机一，吸附泵通过环形吸附管上的吸附孔对研磨抛光产生的碎屑进行收集，同时，电机一带动各个粘辊在一定范围内旋转，从而实现碎屑的二次收集，确保研磨垫研磨抛光过程中，不会因碎屑的存在对晶圆造成损伤，继而在确保研磨抛光效果的情况下，保护晶圆的研磨抛光效果。
- 一种研磨抛光设备
- [发明专利]一种多功能双面抛光机-CN202311106203.4在审
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任明元;梁春;刘文平
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苏州博宏源机械制造有限公司
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2023-08-30
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2023-10-17
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B24B29/02
- 本发明公开了一种多功能双面抛光机，包括支撑架；打磨机构，打磨机构包括上抛光盘、下抛光盘、上连接部件、下连接部件、传动部件、转动部件、动力部件和调节部件，上连接部件和下连接部件均设置于支撑架上，传动部件设置于上连接部件和下连接部件上，通过连接电机转动，再通过传动，可以使机械爪固定的物件转动，同时与上抛光盘和下抛光盘转动方向相反，提高抛光物件的效率，通过调节使机械爪的位置使抛光好的物件移动到清洁布上，通过传输泵将水箱中的水传输到传输管中，通过喷头传输到传输框中，通过传输槽和传输孔使水均匀分布到清洁布上，通过上抛光盘、下抛光盘和机械爪的转动，可以对物件进行清洁，增加其功能性，且方便使用者收纳物件。
- 一种多功能双面抛光机
- [发明专利]一种基于物联网的智能抛光机-CN202311026381.6在审
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任明元;梁春;刘文平
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苏州博宏源机械制造有限公司
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2023-08-15
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2023-10-13
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B24B29/02
- 本发明公开了一种基于物联网的智能抛光机，涉及抛光机技术领域，包括工作台，工作台上方设置有置物台，置物台的上方设置有抛光电机，抛光电机的输出端朝下设置，抛光电机的输出端固定连接有抛光盘，工作台的左右两侧均固定设置有支撑板，两块支撑板顶部两端均固定设置有两支撑杆，四根支撑杆的顶端共同设置有用于调节抛光电机位置的调节组件，支撑板底端开设有安装槽，安装槽内安装有用于对抛光件进行夹持的夹持组件，夹持组件包括：多个夹持气缸与顶块。通过上述设置，夹持过程中夹持气缸抵接在抛光物不规整侧壁上的凹陷处与凸起处，最后在多个夹持气缸共同施加的平衡力作用下，对抛光物实现夹持效果，从而保证抛光机对抛光件的抛光效果。
- 一种基于联网智能抛光机
- [发明专利]钻石液的加注机构及研磨装置-CN202310940695.0在审
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任明元;梁春;刘文平;张景斌
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苏州博宏源机械制造有限公司
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2023-07-28
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2023-09-29
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B24B57/02
- 本发明属于蓝宝石加工技术领域，公开了一种钻石液的加注机构及研磨装置，该机构包括设置液体输入口以及气体输入口的喷嘴，还具有钻石液吸取组件，钻石液吸取组件包括钻石液容器以及吸取管，钻石液容器被配置为储存钻石液；吸取管的第一端连接液体输入口，吸取管的第二端伸入钻石液容器中；吸取管中至少部分管段为水平设置的螺旋管段；还设置有气体输入组件，气体输入组件包括气管，气管的第一端连接气体输入口，气管的第二端连接有压缩气源。研磨装置包括研磨盘以及上述钻石液的加注机构。通过上述的钻石液吸取组件、气体输入组件以及喷嘴，布液均匀性好，避免钻石液浪费；钻石液在螺旋管段内呈现自搅拌的状态，避免沉淀。
- 钻石加注机构研磨装置
- [发明专利]大盘检测方法-CN202310779284.8有效
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任明元;梁春;刘文平;高万仓
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苏州博宏源机械制造有限公司
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2023-06-29
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2023-09-19
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B24B37/08
- 本发明属于研磨抛光技术领域，公开一种大盘检测方法，包括步骤S1：检测上盘和下盘之间的吻合度，步骤S1包括：在下盘上铺设压敏纸，下盘的内侧环形区、中间环带区以及外缘环形区均至少部分覆盖有压敏纸；控制上盘下落至压紧下盘；在上盘压紧下盘预设时间T后，控制上盘上升；观测下盘上铺设的压敏纸的颜色变化，若压敏纸的颜色变化均匀，颜色比较一致，则证明上下盘之间的吻合度良好。该吻合度检测方法操作方便，能够快速准确检测上下盘的吻合度，后期仅需要取走下盘上的压敏纸即可，清理工作量小，无需清洗设备，相比于使用着色剂的检测方式，不会对加工环境造成污染，成本较低且能提高生产效率。
- 大盘检测方法
- [发明专利]一种多轴联动式手机玻璃研磨装置-CN202311061644.7在审
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任明元;梁春;刘文平
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苏州博宏源机械制造有限公司
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2023-08-23
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2023-09-15
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B24B7/24
- 本发明涉及手机加工领域，具体是涉及一种多轴联动式手机玻璃研磨装置，设置在转台上，转台上设有支撑组件，研磨装置设有第一研磨盘和第二研磨盘，第一研磨盘和第二研磨盘设置在一个升降框架中，转台的边侧设有升降组件，研磨装置还设有用以驱使第一研磨盘和第二研磨盘同步运动的多轴联动研磨机构，多轴联动研磨机构设有第一旋转轴和第二旋转轴，升降框架中对称设有两个导轨，第一旋转轴和第二旋转轴分别转动设置在一个导轨中，本发明的第一研磨盘和第二研磨盘在双向联动组件的同步联动的驱使下，使得第一研磨盘和第二研磨盘之间相互交错移动，全面覆盖手机玻璃的表面，提高了研磨效率，保证了手机玻璃表面的研磨平滑。
- 一种联动手机玻璃研磨装置
- [发明专利]一种晶圆多工位边缘抛光装置-CN202310902914.6在审
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任明元;梁春;刘文平
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苏州博宏源机械制造有限公司
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2023-07-21
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2023-09-15
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B24B9/06
- 本发明提供一种晶圆多工位边缘抛光装置，属于晶圆抛光装置技术领域，其包括机架；机罩，机罩固定连接于机架的顶部，机罩的侧端固定连接有出料管，出料管的侧端通过铰轴转动连接有密封门，出料管和机罩内安装有吸附机构；卡盘，卡盘设置有多个，多个卡盘设置于机架的内壁之间，且每个卡盘内均容纳有晶圆块，多个卡盘之间设置有分隔机构；当需要解除对单个晶圆块的夹持固定时，启动多个电动推杆，多个电动推杆的伸缩端推动多个夹块相远离，使得多个夹块解除对单个晶圆块夹持，通过多组固定组件对多个晶圆块的夹持固定，保证多个晶圆块于机架内能进行稳定夹持，避免使得晶圆产生微倾，保证晶圆边缘抛光均匀。
- 一种晶圆多工位边缘抛光装置
- [发明专利]一种高精度双面平面研磨机-CN202310916434.5有效
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任明元;梁春;刘文平
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苏州博宏源机械制造有限公司
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2023-07-25
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2023-09-15
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B24B37/08
- 本发明公开了一种高精度双面平面研磨机，属于双面平面研磨技术领域，包括研磨机主体，研磨机主体由设置有驱动元件的支撑台、安装有上研磨盘的上支撑座、下研磨盘、太阳轮、外沿轮和游星轮组成，外沿轮设置在支撑台上，游星轮上开设有多个与工件相适配的定位口，定位口内壁设置有对工件进行定位的限位件。本发明针对双面平面研磨机上残留研磨碎屑进行设计，对下研磨盘和游星轮的结构进行设计，并在下研磨盘外围设置有对工件进行支撑的外研磨环，实现在研磨过程中工件每一次周期转动到外部时，通过换气筒内的高压清洗液实现将工件周围的研磨碎屑的冲刷去除，避免碎屑进入研磨面造成研磨精度的降低，显著提高研磨机的研磨精度。
- 一种高精度双面平面研磨机
- [发明专利]一种晶圆减薄用抛光装置-CN202310784884.3在审
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任明元;梁春;刘文平
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苏州博宏源机械制造有限公司
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2023-06-29
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2023-08-29
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B24B29/02
- 本发明属于减薄抛光技术领域，具体为一种晶圆减薄用抛光装置，现有技术中的装置在使用时，只能晶圆的一个位置处进行喷洒抛光液，使其在晶圆表面不均匀，降低了抛光的效果；包括底板，所述底板上固定安装有U框联板，U框联板上设有安装板，安装板与U框联板之间通过螺栓连接设置；所述安装板上固定安装有联动电机，联动电机的输出端上安装有联动方块，联动方块与海绵轮上设有的联动方槽连接设置；所述底板上对称安装有联动夹板，通过角位控节机构，使得喷头转动而改变喷洒的角度，进一步提升了喷洒的范围，避免喷洒时存在死角，在配合上圆晶自身的旋转，可以全方位的对圆晶的表面进行喷洒抛光液，提升了抛光的效果。
- 一种晶圆减薄用抛光装置
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