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[发明专利]研磨方法及装置-CN201010546465.9无效
发明人：梁金娥;李文明;张冠夫 -专利权人：无锡华润上华半导体有限公司;无锡华润上华科技有限公司
申请日： 2010-11-16 - 公布日： 2012-05-23 - 主分类号： B24B37/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种研磨方法及装置，该方法包括如下步骤：对晶圆介质进行介质化学机械研磨；检测介质化学机械研磨的研磨效果；根据所述研磨效果确定对所述晶圆介质进行钨化学机械研磨的研磨菜单。本发明根据介质化学机械研磨的研磨效果确定相适应的钨化学机械研磨的研磨菜单，对介质化学机械研磨进行辅助，很大的程度上保持并提高介质化学机械研磨的研磨效果，既解决化学汽相淀积淀积薄层区域分布不均匀，前值幅度大，边缘厚的问题，又保持和提高了晶圆介质的平坦度，从而大大提高了半导体产品的的性能和制造良率。
研磨方法装置

[发明专利]一种碳化学储能系统-CN202210305039.9有效
发明人：王夺;孙勇;李铮;郑剑香;洪钢;孟超;张鹏;孙毅飞;张正泓;陈勇;林鹿 -专利权人：厦门大学
申请日： 2022-03-25 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： F02B43/10 文献下载
摘要：本发明涉及一种碳化学储能系统，属于储能领域，电能转换设备将电网的弃电转换为一氧化碳、氢气或甲烷等化学介质，并将化学介质输送至化学介质存储设备进行储存，可与电网完美匹配，也可与现有风电、核电、太阳能发电匹配并且发电设备以化学介质存储设备储存的化学介质为发电燃料进行发电，并将产生的电能返回至电网，实现电网的“削峰填谷”。
一种碳化学储能系统

[发明专利]化学物质环境系统行为模拟中迁移过程计算顺序优化方法-CN202110533940.7有效
发明人：孟耀斌;宋昊政;李想 -专利权人：北京师范大学
申请日： 2021-05-15 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： G01N33/00 文献下载
摘要：本发明公开一种化学物质环境系统行为的模拟中迁移过程计算顺序优化方法，该方法包括判断是否存在化学物质排放，如果存在，将该排放所在环境介质识别为净汇介质；判断是否存在有效降水，如果存在，根据化学物质在所在环境介质中的迁移特点，将该环境介质识别为净源介质或净汇介质。对耦合水文过程的化学物质环境系统暴露模拟模型中各环境介质中化学物质浓度的计算顺序进行优化，优化的策略包括，对于净源介质，按照化学物质从该净源介质迁出的通量由小到大的顺序依次进行计算；对于净汇介质，按照化学物质迁入该净汇介质的通量由大到小的顺序进行计算
化学物质环境系统行为模拟迁移过程计算顺序优化方法

[实用新型]一种测试管材耐化学介质腐蚀性能的装置-CN201320046061.2有效
发明人：李厚补;王守泽;戚东涛;仲光哲;李奇;韩飞 -专利权人：中国石油天然气集团公司;中国石油天然气集团公司管材研究所
申请日： 2013-01-28 - 公布日： 2013-10-16 - 主分类号： G01N17/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种测试管材耐化学介质腐蚀性能的装置，属于管材耐化学介质腐蚀性能测试技术领域。本实用新型包括动力设备、输送设备、化学存储设备、试验管段和废气回收设备，动力设备通过输送设备与化学存储设备相连，化学存储设备通过输送设备与试验管段相连，废气回收设备通过渗漏介质导出管与存储设备相连。本实用新型通过耐蚀循环泵驱动液态化学介质流经试验管段，实现对管材现场输送介质情况的模拟，以所测管段的质量和壁厚变化以及内表面的形貌变化，对所测管段的耐化学介质腐蚀性能进行综合评定。
一种测试管材化学介质腐蚀性能装置

[发明专利]电化学设备-CN201980043734.9在审
发明人：彼得·施塔尔;于尔根·克拉夫特 -专利权人：爱尔铃克铃尔股份公司
申请日： 2019-06-28 - 公布日： 2021-02-09 - 主分类号： C25B9/77 文献下载
摘要：为了提供如下的电化学设备，该电化学设备包括：由沿堆叠方向相继的多个电化学单元构成的堆垛，电化学单元分别包括电化学活性的膜电极装置、双极板和密封系统；沿堆叠方向延伸通过多个电化学单元的至少一个介质通道；和至少一个流场，来自介质通道的介质可以通过该流场横向于堆叠方向地从介质通道流向其他介质通道，其中，密封系统包括在至少一个流场周围延伸的流场密封装置和在介质通道周围延伸的至少一个介质通道密封装置，从而使在该电化学设备中，密封系统具有高的机械稳定性并且在电化学设备装配时能够精确地定位，所提出的是，将流场密封装置固定在膜电极装置上，并且将至少一个介质通道密封装置固定在双极板上。
电化学设备

[发明专利]互连结构及其制造方法-CN200710104832.8无效
发明人：林庆煌;T·A·斯普纳;杨智超;G·博尼拉 -专利权人：国际商业机器公司
申请日： 2007-05-22 - 公布日： 2007-11-28 - 主分类号： H01L23/522 文献下载
摘要：本发明公开了增强在化学蚀刻的介质材料和贵金属衬里之间的粘附的互连结构及其制造方法。根据本发明，化学蚀刻介质材料经历修改介质材料的化学特性的处理步骤以使处理的表面具有疏水性。处理步骤在沉积贵金属衬里之前执行并辅助增强化学蚀刻的介质材料和贵金属衬里之间的粘附。
互连结构及其制造方法

[发明专利]化学递送介质及其制备方法和用途-CN201080062184.4无效
发明人：程龙春 -专利权人：程龙春
申请日： 2010-06-14 - 公布日： 2012-10-03 - 主分类号： C09D7/14 文献下载
摘要：本发明公开了包括基材和并入的化学添加剂的集成的化学递送介质。本发明还教导了制备这类化学递送介质的方法以及这类介质用于水处理应用的用途。
化学递送介质及其制备方法用途

[发明专利]用于模拟吸烟的化学感受的装置和方法-CN201280069757.5有效
发明人： R·冯博斯特尔;D·坦;J·西韦琳;I·S·蒂莫基纳 -专利权人：纯天治有限责任公司
申请日： 2012-12-12 - 公布日： 2014-10-29 - 主分类号： A24F47/00 文献下载
摘要：在一个实施方案中，一种用于模拟吸烟的化学感受的装置包括外层、多孔介质和化学感应剂。所述多孔介质被设置在所述外层之内。所述化学感应剂被设置在所述多孔介质之内并且包括姜科提取物，所述姜科提取物激活TRP(瞬时受体电位)通道。在另一个实施方案中，一种用于模拟吸烟的化学感受的装置包括外层、多孔介质和化学感应剂。所述多孔介质被设置在所述外层之内。所述化学感应剂被设置在所述多孔介质之内并且包括十字花科提取物，所述十字花科提取物激活TRP通道。
用于模拟吸烟化学感受装置方法

[发明专利]车载移动供热系统、车辆以及供热方法-CN202211215915.5在审
发明人：肖刚;祝培旺;柴丰圆 -专利权人：浙江大学
申请日： 2022-09-30 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： F28D20/00 文献下载
摘要：本发明涉及储能领域，具体提供一种车载移动供热系统、车辆以及供热方法，该车载移动供热系统包括储存有热化学储热介质的储热罐、加热装置以及换热装置，加热装置用于将储热罐的温度维持在热化学储热介质的反应温度以上，换热装置将热化学储热介质与储热流体换热。车载移动供热系统还包括热化学储热介质出口和储热流体出口，热化学储热介质出口用于输出与储热流体换热后的热化学储热介质，储热流体出口用于输出与热化学储热介质换热后的储热流体。该车载移动供热系统通过简单的系统结构，解决了现有的移动供热系统热源温度较低，高温热源无法移动，无法将其供给用户，且能够供给的储热介质类型较单一的问题。
车载移动供热系统车辆以及方法

[发明专利]一种等离子体降解化学战剂的方法及其应用-CN202310037511.X在审
发明人：周云正;汤敏;周瑾;薛智诚;何志鹏 -专利权人：上海人召健康科技有限公司
申请日： 2023-01-10 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： C02F1/72 文献下载
摘要：本发明涉及饮水消毒技术领域，尤其涉及一种等离子体降解化学战剂的方法及其应用。所述方法包括：将负载有锰氧化物的二氧化钛载体置于化学战剂介质中作为反应介质，设置DBD等离子体产生装置指向反应介质，DBD等离子体产生装置通过电场将等离子体驱向反应介质，以反应介质激发产生的单线态氧、超氧阴离子，或反应介质和化学战剂介质共同激发产生的单线态氧、超氧阴离子和羟基自由基对化学战剂介质中的化学战剂进行降解。本发明通过DBD等离子体技术结合金属氧化物催化剂实现了对化学战剂的有效降解洗消，能够更加有效彻底地去除化学战队对气体环境和液体环境造成的污染，具有高效、彻底的优点。
一种等离子体降解化学战剂方法及其应用

[发明专利]外部提供反应物的电化学装置的内部状态监测方法及装置-CN202210237037.0有效
发明人：李飞强;张国强;方川;赵兴旺;盛有冬;闫延风;王鹏;王海平;李傲 -专利权人：北京亿华通科技股份有限公司
申请日： 2022-03-11 - 公布日： 2022-05-31 - 主分类号： H01M8/04537 文献下载
摘要：本发明提供了一种外部提供反应物的电化学装置的内部状态监测方法及装置，属于电化学装置技术领域，解决了现有技术在介质传输特征频率和电化学特征频率相近时无法提取电化学装置的有效内部状态信息的问题。该装置包括待测电化学装置，DC‑DC转换器，用于对反应物介质施加设定压力或者压力扰动的反应物介质调控器，以及，用于控制反应物介质调控器启动以施加扰动并在施加扰动过程中实时采集待测电化学装置的工作状态参数执行内部状态计算的多合一控制器通过反应物介质调控器对气体、液体、固体、等离子体、波色‑爱因斯坦凝聚态等反应物介质施加压力、压力扰动的方式对待测电化学装置进行内部状态检测，可获得电化学反应介质阻抗、膜的传递系数等。
外部提供反应物电化学装置内部状态监测方法

[发明专利]放射性废液预处理系统-CN202310036689.2在审
发明人：李俊苹;霍明;高飞;朱海珍;杨林君 -专利权人：中广核工程有限公司;深圳中广核工程设计有限公司;中国广核集团有限公司;中国广核电力股份有限公司
申请日： 2023-01-09 - 公布日： 2023-04-14 - 主分类号： G21F9/06 文献下载
摘要：本发明公开一种放射性废液预处理系统，包括注入模块、管道混合模块和分析模块；注入模块包括介质储存容器、计量泵和控制装置，介质储存容器储存化学介质，计量泵与介质储存容器和控制装置连接用以输送化学介质至管道混合模块；管道混合模块包括管道混合器；分析模块包括流动电流仪，用于测定处理后的放射性废液的电势值，并将测量结果传输至控制装置，由控制装置根据测量结果调节化学介质的注入量。将各类设备集成在不同的模块中，以便于分区布置，减少设备和人员的受辐照剂量，保护人员安全，可实现化学介质注入量的自动控制，避免人工计算、控制加药量，提高化学介质投加的准确性和运行操作的便利性。
放射性废液预处理系统

[发明专利]化学机械研磨绝缘介质层的方法-CN200910206104.7无效
发明人：李文明 -专利权人：无锡华润上华半导体有限公司;无锡华润上华科技有限公司
申请日： 2009-10-19 - 公布日： 2011-05-04 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：一种化学机械研磨绝缘介质层的方法，包括：提供包括凹槽的膜层；在膜层上形成绝缘介质层，且将绝缘介质层填充满凹槽；用化学机械研磨法研磨绝缘介质层至绝缘介质层平整，所述化学机械研磨法采用的研磨液为二氧化铈。本发明降低了制造成本；并且使研磨后绝缘介质层均匀性提高；制造工艺更容易控制，不容易出现过磨现象。
化学机械研磨绝缘介质方法

[发明专利]半导体金属连线制作工艺中改善介质层膜厚均一性的方法-CN200910057519.2无效
发明人：邓镭;方精训;程晓华 -专利权人：上海华虹NEC电子有限公司
申请日： 2009-06-30 - 公布日： 2011-01-05 - 主分类号： H01L21/768 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体金属连线制作工艺中改善介质层膜厚均一性的方法，在制作金属连线之后，淀积第一介质层，然后在所述第一介质层上淀积一层阻挡层，再在所述阻挡层上淀积第二介质层，所述第二介质层的最低处要高于所述阻挡层的最高处，之后进行化学机械抛光，所述阻挡层在后面进行的化学机械抛光中对所述第二介质层具有高选择比，使得化学机械抛光后的表面停留在所述阻挡层的最高处。本发明使化学机械抛光在研磨介质层的时候能够停在该阻挡层上，以有效消除因耗材和工艺参数的变化引起的化学机械抛光工艺波动，同时在一定程度上了克服化学机械抛光自身特性的限制，改善了介质层化学机械抛光后硅片面内和硅片之间的膜厚均一性
半导体金属连线制作工艺改善介质层膜厚均一方法

[实用新型]外部提供反应物介质的电化学装置的内部状态测量设备-CN202220525194.7有效
发明人：李飞强;张国强;方川;赵兴旺;盛有冬;闫延风;王鹏;王海平;李傲 -专利权人：北京亿华通科技股份有限公司
申请日： 2022-03-11 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： G01R27/08 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种外部提供反应物介质的电化学装置的内部状态测量设备，属于燃料电池技术领域，解决了现有技术在介质传输特征频率和电化学特征频率相近时无法提前有效阻抗信息的问题。该装置包括待测电化学装置，DC‑DC转换器，用于对反应物介质施加设定压力或者流量扰动的反应物介质调控器，以及，用于控制反应物介质调控器启动以施加扰动并在施加扰动过程中实时采集待测电化学装置的输出电压、电流和执行内部状态参数计算的多合一控制器多合一控制器经DC‑DC转换器与待测电化学装置的电极或供电输出端连接，并与反应物介质调控器的控制端连接。通过反应物介质调控器对反应物介质施加压力、流量扰动的方式对待测电化学装置进行阻抗检测。
外部提供反应物介质电化学装置内部状态测量设备

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