专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种用于蒸镀机的坩埚-CN201920770644.7有效
  • 不公告发明人 - 福建华佳彩有限公司
  • 2019-05-27 - 2020-05-22 - C23C14/24
  • 本实用新型公开了一种用于蒸镀机的坩埚,包括坩埚坩埚的外侧壁上包裹着坩埚加热罩,坩埚加热罩包括至少两个坩埚加热区,每一个坩埚加热区上设置有一组坩埚加热装置;本实用新型通过在坩埚加热罩上设置有至少两个坩埚加热区,每一个坩埚加热区上设置有一组坩埚加热装置,与坩埚加热装置连接的外部控制机构能根据各区的设定温度,控制坩埚加热装置,实时调整坩埚上各区的加热温度,使蒸镀过程中坩埚的整体镀率能够更加均匀,保证有机膜成膜的均匀性
  • 一种用于蒸镀机坩埚
  • [发明专利]一种单晶生长的坩埚和方法-CN202110003012.X在审
  • 魏汝省;李斌;赵丽霞;毛开礼;戴鑫;范云;靳霄曦;樊晓 - 山西烁科晶体有限公司
  • 2021-01-04 - 2021-06-01 - C30B23/00
  • 本发明提供了一种单晶生长的坩埚和方法,属于晶体生长技术领域。本发明提供的坩埚包括坩埚本体,所述坩埚本体包括保温结构,置于所述保温结构内部的加热坩埚,置于所述加热坩埚内部的生长坩埚;所述保温结构与加热坩埚底部相互接触,所述加热坩埚和生长坩埚底部相互接触;所述保温结构和加热坩埚的侧壁之间、所述加热坩埚和生长坩埚的侧壁之间有空隙。本发明的坩埚加热坩埚和生长坩埚之间设置空隙并有气流通过,将从生长坩埚扩散出来的气氛由两层坩埚间的气流直接带出坩埚,避免了生长坩埚内挥发的气氛对加热坩埚以及保温结构的腐蚀,极大的延长了加热坩埚及保温材料的寿命;同时,保证了生长坩埚内的热场稳定,进而提高单晶生长的稳定性。
  • 一种生长坩埚方法
  • [发明专利]一种电加热坩埚-CN201610476279.X有效
  • 张震球 - 江阴市正中科教器材有限公司
  • 2016-06-27 - 2018-11-02 - F27B14/12
  • 本发明公开了一种电加热坩埚,包括坩埚体,坩埚体上部设置有坩埚盖,坩埚体内设置有坩埚腔体,坩埚腔体的底面为圆形;所述坩埚体下端内部设置有加热腔Ⅰ,坩埚腔体的下端面上设置有若干环形的加热凸起,加热凸起呈同心圆排布,加热腔Ⅰ内设置有电加热丝;所述坩埚体侧壁内设置有加热腔Ⅱ,加热腔Ⅱ内设置有电加热丝,坩埚体侧壁外表面上设置有电源接口,电源接口连接电加热丝。
  • 一种加热坩埚
  • [实用新型]中频炉活动坩埚升降装置-CN202021720506.7有效
  • 张晓明;梅照营;梅照群 - 上海都林特种合金材料有限公司
  • 2020-08-15 - 2021-04-02 - F27B14/10
  • 本申请涉及中频炉活动坩埚升降装置,涉及中频炉装置的领域,其包括用于固定坩埚位置的坩埚定位机构,以及用于加热坩埚坩埚加热机构,坩埚加热机构包括中频炉和升降装置,中频炉沿竖直方向贯穿开设有加热孔,中频炉沿加热孔设置有加热件;坩埚定位机构固定坩埚的位置后,中频炉套设坩埚。本申请工作时,先将坩埚通过坩埚定位机构进行定位,通过升降装置移动中频炉的位置,使得中频炉完全套设坩埚,并对坩埚进行加热加热结束后通过升降装置使得中频炉远离坩埚,便于工作人员将坩埚移动至待浇铸处;当坩埚不宜继续使用时,工作人员可以直接更换新的坩埚,无需将坩埚从中频炉内拆卸,具有减少工作人员的工作时间,且操作简便的效果。
  • 中频活动坩埚升降装置
  • [实用新型]一种电加热坩埚-CN201620645214.9有效
  • 张震球 - 江阴市正中科教器材有限公司
  • 2016-06-27 - 2016-12-28 - F27B14/12
  • 本实用新型公开了一种电加热坩埚,包括坩埚体,坩埚体上部设置有坩埚盖,坩埚体内设置有坩埚腔体,坩埚腔体的底面为圆形;所述坩埚体下端内部设置有加热腔Ⅰ,坩埚腔体的下端面上设置有若干环形的加热凸起,加热凸起呈同心圆排布,加热腔Ⅰ内设置有电加热丝;所述坩埚体侧壁内设置有加热腔Ⅱ,加热腔Ⅱ内设置有电加热丝,坩埚体侧壁外表面上设置有电源接口,电源接口连接电加热丝。
  • 一种加热坩埚
  • [发明专利]碳化硅晶体生长炉-CN202210860562.8在审
  • 高冰 - 浙江晶越半导体有限公司
  • 2022-07-22 - 2022-09-23 - C30B23/00
  • 一种碳化硅晶体生长炉,属于晶体生长装置技术领域,包括炉体和坩埚,所述坩埚置于炉体内;还包括加热机构;所述加热机构,包括加热线圈、加热线圈升降组件和坩埚旋转组件;所述加热线圈穿设于炉体,且位于炉体内部的加热线圈绕设于坩埚并与坩埚间隙设置;所述加热线圈升降组件连接加热线圈;所述坩埚旋转组件连接坩埚。本方案,控制坩埚旋转组件,以设定速度带动坩埚旋转,克服坩埚放置位置的差异性、坩埚厚度、加热线圈磁场强弱等物理因素,从而可以保证坩埚内部径向温度分布均匀;控制加热线圈升降组件,带动炉体内的加热线圈以一定速度升降,既能实现坩埚内部轴向梯度不同温度不同,又能杜绝移动装料装置产生震动引起的微管位错等缺陷。
  • 碳化硅晶体生长
  • [实用新型]可拆卸的多晶硅铸锭炉加热装置-CN201920564073.1有效
  • 蒋兴贤 - 常州兆晶光能有限公司
  • 2019-04-23 - 2020-05-22 - C30B28/06
  • 本实用新型的可拆卸的多晶硅铸锭炉加热装置,属于加热装置领域,包括坩埚加热件、以及驱动件;加热件套设在坩埚外,加热件的内侧与坩埚的外侧之间具有设定的距离;驱动件一端的固定件穿过加热件的底部与坩埚的底部可拆卸连接通过加热件实现对坩埚加热,进一步地,通过驱动件驱动坩埚转动,实现对坩埚的辅助加热,进而可以使坩埚在转动的过程中,实现使加热件对坩埚的均匀加热,防止加热不均匀的现象,同时可以提高产品的质量和工作效率;通过固定件穿过加热件的底部与坩埚的底部可拆卸连接,实现固定件与坩埚可拆卸连接,方便需要的时候进行拆装,减少了人工劳动强度,提高人工及装置的使用效率,同时也实现了对加热装置更好地拆装和维护。
  • 可拆卸多晶铸锭加热装置
  • [实用新型]多晶硅铸锭炉加热装置-CN201920565496.5有效
  • 蒋兴贤 - 常州兆晶光能有限公司
  • 2019-04-23 - 2020-06-12 - C30B29/06
  • 本实用新型的多晶硅铸锭炉加热装置,属于加热装置领域,包括坩埚加热件、以及驱动件;加热件套设在坩埚外,加热件内侧与坩埚外侧之间具有设定的距离;驱动件一端的固定件穿过加热件的底部与坩埚的底部可拆卸连接。通过加热件实现对坩埚加热,进一步地,通过驱动件驱动坩埚转动,实现对坩埚的辅助加热,进而可以使坩埚在转动的过程中,实现使加热件对坩埚的均匀加热,防止加热不均匀的现象,同时可以提高产品的质量和工作效率;通过固定件穿过加热件的底部与坩埚的底部可拆卸连接,实现固定件与坩埚可拆卸连接,方便需要的时候进行拆装,减少了人工劳动强度,提高人工及装置的使用效率,同时也实现了对多晶硅铸锭炉加热装置更好地拆装和维护。
  • 多晶铸锭加热装置
  • [发明专利]一种有机材料加热蒸镀源-CN201310596167.4无效
  • 林信志;张斌;王钊;倪蔚德 - 上海和辉光电有限公司
  • 2013-11-22 - 2014-04-16 - C23C14/26
  • 本发明公开了一种有机材料加热蒸镀源,包括一蒸镀腔室以及设于所述蒸镀腔室内的坩埚加热器,所述加热器包括一条加热线,所述加热线分布于所述坩埚的外围,并且所述加热线在所述坩埚上部位置的分布密度大于在所述坩埚中间及下部位置的分布密度本发明使用一条加热线,配合一组加热器,分成两个加热区块,在坩埚中间及下部的位置加热线分布密度,而坩埚上缘位置加热线排列较紧密,透过加热线在坩埚中间及下部与在坩埚上部的分布密度不同让坩埚上部得到比较高的温度,让坩埚上部的温度高于坩埚底部使蒸镀材料,使蒸镀材料不在坩埚上口凝结,解决了材料凝结阻塞问题。而且也因为仅需要使用一条加热线,因此仅需一组加热器即可实现,成本较低。
  • 一种有机材料加热蒸镀源
  • [发明专利]一种新型坩埚-CN201410516320.2无效
  • 陈学兵 - 苏州普京真空技术有限公司
  • 2014-09-30 - 2014-12-24 - C23C14/24
  • 本发明公开了一种新型坩埚,包括坩埚本体、底部中间加热通道、侧面加热通道和连接法兰,所述底部中间加热通道设置在坩埚本体底部,所述侧面加热通道设置在坩埚本体侧面并且与底部中间加热通道相连接,所述坩埚本体与底部加热通道之间设置有一散热室,所述坩埚本体成方型状,所述连接法兰设置在坩埚本体上端口处。通过上述方式,本发明提供了一种新型坩埚,可防止坩埚内物体在蒸发或加热时因受热不均匀而导致部分物体蒸发,而另一部分物体还留在坩埚内部或者粘接在坩埚底部,有效的解决了坩埚内材料浪费、坩埚清洗困难、清洗不干净等缺点
  • 一种新型坩埚

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