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[实用新型]真空腔-CN201220201550.6有效
发明人：朴宇钟;朴希侦 -专利权人：丽佳达普株式会社
申请日： 2012-05-07 - 公布日： 2012-12-26 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型涉及的真空腔包括：外壳，具有用于收容或移送被处理体的空间；排气槽，形成在所述外壳的内侧面上；排气孔，形成在所述排气槽的一面上，并贯穿所述外壳；以及排气泵，与所述排气孔连接，用于排出所述外壳内部的气体
空腔

[实用新型]空腔焊钳-CN201621427100.3有效
发明人：张峰;张慧敏 -专利权人：上海鑫燕隆汽车装备制造有限公司
申请日： 2016-12-23 - 公布日： 2017-11-10 - 主分类号： B23K11/31 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种空腔焊钳，其包括成对的一第一夹臂和一第二夹臂，以及一对电极，所述第一夹臂和所述第二夹臂的中段内侧铰接在一起；两所述电极分别固设于所述第一夹臂和所述第二夹臂的顶端并左右错位相对，所述第一夹臂内侧还铰接在一焊钳底座的顶部两所述电极错位相对，结合空腔结构一侧预先配置的L形加强件对焊接部位的支撑，可避免焊接时两所述电极正对着而中间为空腔的情形，进而可有效避免板件变形。
空腔焊钳

[实用新型]空腔筷子-CN201020678380.1无效
发明人：钱晗 -专利权人：上海市格致中学
申请日： 2010-12-24 - 公布日： 2011-08-24 - 主分类号： A47G21/10 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种空腔筷子，所述空腔筷子包括筷子和盖子；其中，所述筷子有空心内腔，筷子上端设有开口；所述盖子与开口尺寸相匹配，盖于开口上。该空腔筷子结构简单、使用方便、实用性强；通过在筷子上设置空腔，能在筷子内部放置细小物品，方便使用者的使用。
空腔筷子

[外观设计]空腔灯-CN201930185624.9有效
发明人：哈洁;金彩虹;徐萍;邹卫珍;况倩倩 -专利权人：哈洁
申请日： 2019-04-22 - 公布日： 2019-11-15 - 主分类号： 24-02 文献下载
摘要：1．本外观设计产品的名称：空腔灯；;2．本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于口腔照明；;3．本外观设计产品的设计要点：该产品的形状与图案的结合；;4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：立体图；
空腔灯

[外观设计]空腔模块-CN202030627194.4有效
发明人：杜国旺;冯浩;校永恒 -专利权人：河北芯邸伽建材销售有限公司
申请日： 2020-10-21 - 公布日： 2021-04-02 - 主分类号： 25-02 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：空腔模块。2.本外观设计产品的用途：用于建筑施工搭建墙体，也称为EPS空腔模块。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状与图案的结合。
空腔模块

[外观设计]真空腔-CN202230391514.X有效
发明人：苏东波;付平;刘红喜;周卓俊;黄毛毛;韩琢;罗乐 -专利权人：国开启科量子技术(北京)有限公司;启科量子技术(珠海)有限公司
申请日： 2022-06-24 - 公布日： 2023-01-10 - 主分类号： 24-01 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：真空腔。2.本外观设计产品的用途：本外观设计专利用于量子计算机光学实验平台的真空腔，以获得超高真空度。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。
空腔

[发明专利]空腔板-CN200980117898.8无效
发明人：马琳·麦克唐纳 -专利权人：富士胶卷迪马蒂克斯股份有限公司
申请日： 2009-05-08 - 公布日： 2011-04-27 - 主分类号： B41J2/14 文献下载
摘要：除了其它方面，用于流体喷射的空腔板包括出口端。长形连接部从空腔板的出口端朝入口端延伸。长形连接部在空腔板的顶表面与底表面之间具有侧壁，以形成长形空腔。
空腔

[发明专利]一种在硅基材料内部形成球形空腔的方法和设备-CN202111665891.9在审
发明人：张俐楠;沈同舟;刘红英;吴立群;王洪成 -专利权人：杭州电子科技大学
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2022-04-08 - 主分类号： B23K26/362 文献下载
摘要：本发明涉及微纳米制造技术领域，尤其涉及一种在硅基材料内部形成球形空腔的方法和设备，所述方法包括以下步骤：（S.1）采用激光加工的方式，制备具有空腔的硅基材料；（S.2）在热场中置入（S.1）所述中已制备得到的具有空腔的硅基材料，进行热处理工艺；（S.3）在（S.2）所述环境中加入电场，对硅基材料进行诱导成形，完成硅基材料内部球形空腔三维结构。本发明首先将经过激光加工后的硅基材料进行热处理，在经过热处理后，硅材料空腔处的硅原子的原子迁移率大幅提升，然后在加入电场进一步对硅基材料进行诱导成形促使硅基内部三维结构成形，本发明在制备过程中具有简单可控的优点
一种基材内部形成球形空腔方法设备

[发明专利]用于微电子器件的真空腔内部的气密性监测结构-CN202111598433.8在审
发明人：王诗男 -专利权人：上海新微技术研发中心有限公司
申请日： 2021-12-24 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： B81B7/00 文献下载
摘要：本发明提供一种用于微电子器件的真空腔内部的气密性监测结构，其包括：第一基板和第二基板，所述第二基板包括：相对的第一主面和第二主面，所述第二基板的第一主面的表面上形成有用于容纳微电子器件的空腔，所述第二基板的第一主面与所述第一基板键合以使所述空腔与所述第一基板的第一主面形成气密性空腔；密封室，所述密封室由设置于所述第二基板的第二主面上的膜层与周围环境气密性阻隔，所述膜层配置为根据所述密封室与周围环境的气压差发生凸起或凹陷变形，所述密封室内的气压与所述气密性空腔内的气压正相关。本发明的气密性监测结构可解决现有技术中真空腔内MEMS可信度较低的问题，密封基板利用率更高，且MEMS器件结构整体设计更为灵活。
用于微电子器件空腔内部气密性监测结构

[发明专利]用于微电子器件的真空腔内部的气密性监测结构-CN202111598453.5在审
发明人：王诗男 -专利权人：上海新微技术研发中心有限公司
申请日： 2021-12-24 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： B81B7/00 文献下载
摘要：本发明提供一种用于微电子器件的真空腔内部的气密性监测结构，所述气密性监测结构包括：第一基板；第二基板，所述第二基板包括相对的第一主面和第二主面，所述第二基板的第一主面与所述第一基板的第一主面键合以使所述第一基板的第一主面上的空腔与所述第二基板形成气密性空腔，所述微电子器件位于所述气密性空腔中；密封室，所述密封室由设置于所述第二基板上的膜层与周围环境气密性阻隔，所述密封室内的气压与所述气密性空腔内的气压正相关，所述膜层配置为根据密封室与周围环境的气压差发生凸起或凹陷变形本发明可解决真空腔内MEMS器件的可信度较低等问题，所述气密性监测结构简单、量测过程简易可行，因而具有实用价值。
用于微电子器件空腔内部气密性监测结构

[发明专利]用于制造内部具有至少一个空腔的单体部件的成型方法-CN202180048687.4在审
发明人：胡安·巴勃罗·加洛·哈拉米略 -专利权人：兰博基尼汽车股份有限公司
申请日： 2021-07-05 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： B29C70/34 文献下载
摘要：一种用于制造内部具有至少一个空腔的单体部件、特别是由C‑SMC制成的单体部件的成型方法，其包括准备包括第一半模(1a)、第二半模(1b)和在它们之间限定成型空间(Vs)的可动侧托架的压模以及将至少一个芯体芯体(3，4)包括界定了被成形为形成单体部件的至少一个空腔的容纳空间(Vc)的膜(3)以及与膜(3)接合的至少一个连接器(4)。
用于制造内部具有至少一个空腔单体部件成型方法

[发明专利]用于内部稀薄气流模拟验证及压力检测的变结构真空腔室-CN201210016664.8有效
发明人：程嘉;王人成;季林红;刘伟峰;王春财;林嘉;孙钰淳;郝道欣 -专利权人：清华大学
申请日： 2012-01-18 - 公布日： 2012-07-25 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：用于内部稀薄气流模拟验证及压力检测的变结构真空腔室属于半导体制造设备设计技术领域。可以检测不同结构腔室内部空间及各气路上的压力参数，研究低压气相加工工艺中各项参数的影响规律，并可显著提高IC装备腔室部件优化设计的可信度。
用于内部稀薄气流模拟验证压力检测结构空腔

[发明专利]一种控制硅基微结构内部空腔形成位置的研究方法-CN201610390923.1有效
发明人：张俐楠;郑伟;陈超;吴立群;王洪成 -专利权人：杭州电子科技大学
申请日： 2016-06-06 - 公布日： 2018-10-12 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：本发明公开了控制硅基微结构内部空腔形成位置的研究方法，按如下步骤进行：(1)进行温热处理硅基微结构成形研究的材料在一定温度环境中处理一段时间，使其变软；(2)利用离子刻蚀机制造出U型圆柱孔状的样本；(3)将上述过程得到的U型圆柱孔在一定温度下环境中进行热处理一段时间，得到硅基微结构空腔位置。本发明温热处理下硅基微结构空腔位置变化规律研究方法，主要操作：在一定的温度环境下，对不同初始结构参数的硅材料进行热处理15min，探究硅基微结构空腔位置变化规律，从而达到控制硅基微结构空腔位置。
一种控制微结构内部空腔形成位置研究方法

[发明专利]一种用于真空腔内部件的红外成像仪测温方法-CN201711001878.7有效
发明人：黄学人;张平;曹健;舒华林;袁金波 -专利权人：中国科学院武汉物理与数学研究所
申请日： 2017-10-24 - 公布日： 2020-04-21 - 主分类号： G01J5/52 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于真空腔内部件的红外成像仪测温方法，将测试件粘在热源上；并将校准的测温元件布置在测试件上；测量在不同温度下获得红外成像测试温度和测试件真实温度；拟合获得红外成像测试温度和测试件真实温度之间的函数关系通过红外成像仪对真空腔内的待测部件进行测试，根据所获得的红外成像测试温度和测试件真实温度之间的函数关系，可以准确地获得真空腔内的待测部件的实际温度，达到了温度校准的目的。
一种用于空腔部件红外成像测温方法

[发明专利]一种抑制空化的特殊叶片结构及其设计方法-CN201610056459.2有效
发明人：王巍;王晓放;谢蓉;徐瑞铎;羿琦;王亚云 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2016-01-26 - 公布日： 2018-04-10 - 主分类号： F04D29/24 文献下载
摘要：该抑制空化的特殊叶片结构由轴系、叶片、叶片表面水孔、叶片内部空腔、轴系内部空腔和连接空腔组成；轴系内部设有轴系内部空腔；叶片附着于轴系上，其内部设有叶片内部空腔，叶片内部空腔和轴系内部空腔由连接空腔连接；叶片吸力面上设有叶片表面水孔；流体依次通过轴系内部空腔叶、连接空腔和叶片内部空腔，进入叶片内部，再由叶片表面水孔喷出；沿流体流动方向，叶片内部空腔的起始位置位于叶片前端和叶片中弧线最高点之间，径向方向叶片内部空腔的长度接近叶片顶端
一种抑制特殊叶片结构及其设计方法