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[实用新型]一种循环式溅镀设备-CN201920733692.9有效
发明人：陈道理 -专利权人：盱眙新远光学科技有限公司
申请日： 2019-05-21 - 公布日： 2020-01-24 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本实用新型提供一种循环式溅镀设备，包括：溅镀装置I、溅镀装置II，所述溅镀装置I、溅镀装置II并排设置，所述溅镀装置I上设有溅镀气体存储罐，所述溅镀气体存储罐通过溅镀气体输送管连接于溅镀气体充气管上，溅镀装置I一侧设有循环排气管，循环排气管连接于循环泵，循环泵安装在循环泵固定座上，所述循环泵的出口连接有溅镀气体循环管，溅镀气体循环管连接于溅镀装置II的充气口上，溅镀装置II一侧设有溅镀气体回收管，溅镀气体回收管通过回收泵连接于溅镀气体回收罐上本实用新型可以在溅镀装置I停机时及时将溅镀气体循环到溅镀装置II内，可以大量节约溅镀气体，而且，在溅镀装置II停机时，通过回收泵储存在溅镀气体回收罐内，避免浪费。
溅镀装置溅镀循环泵本实用新型气体存储罐气体回收管气体循环管回收泵排气管停机气体回收罐气体输送管并排设置出口连接溅镀设备气体回收气体循环充气管充气口固定座循环式储存节约

[发明专利]非球面薄膜溅镀系统-CN202210242241.1有效
发明人：白文宾;麦宏全;林咏翔;柯泰年 -专利权人：业成科技（成都）有限公司;业成光电（深圳）有限公司;业成光电（无锡）有限公司;英特盛科技股份有限公司
申请日： 2022-03-11 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明公开一种非球面薄膜溅镀系统，其包括真空腔体、靶材与多轴式自动驱动装置。靶材与多轴式自动驱动装置位于真空腔体中。溅镀电源于真空腔体中形成电浆，并用电浆溅镀靶材，从而形成溅镀粒子。多轴式自动驱动装置上设有待溅镀物，待溅镀物具有朝向靶材的非球面。非球面具有待溅镀点，待溅镀点的切线与直线段互相垂直，直线段连接于待溅镀点与靶材之间。多轴式自动驱动装置根据待溅镀点对应的非球面方程式，在固定直线段的长度的前提下移动待溅镀物，以利用溅镀粒子于非球面上形成均匀薄膜，从而避免非球面透镜上的膜厚不均的问题。
球面薄膜系统

[发明专利]连续式溅镀设备以及太阳能选择性吸收膜的制造方法-CN201110160445.2无效
发明人：庄瑞诚;张秉宏;叶咏津 -专利权人：财团法人工业技术研究院
申请日： 2011-06-07 - 公布日： 2012-05-23 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种连续式溅镀设备以及太阳能选择性吸收膜的制造方法。所述连续式溅镀设备，至少包括基材传送装置、一个溅镀腔体、多个靶材及控制构件。其中基材传送装置用以使基材沿一个移动路径移动。溅镀腔体设置于基材的移动路径上。而多个靶材设置在溅镀腔体内，用以对基材进行溅镀，其中多个靶材依序设置于基材的移动路径上。控制构件用以控制溅镀时供给至多个靶材的操作参数，其中控制构件将溅镀时供给至多个靶材的操作参数控制为彼此不同。借由使用本发明的连续式溅镀设备，能够利用单一溅镀腔体来形成具有多层结构的太阳能选择性吸收膜。
连续式溅镀设备以及太阳能选择性吸收制造方法

[发明专利]一种真空溅镀时防止尖端放电产生的加工工艺-CN202011412846.8在审
发明人：王仁义;胡智清 -专利权人：海珀（滁州）材料科技有限公司
申请日： 2020-12-04 - 公布日： 2021-03-30 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明涉及刀片真空溅镀领域，具体是一种真空溅镀时防止尖端放电产生的加工工艺，包括刀片表面处理、真空溅镀设备检测和刀片真空溅镀加工，刀片真空溅镀包括以下步骤：S1.放置：打开真空溅镀设备门，将表面处理好的刀片放置到真空溅镀设备的内部，通过真空溅镀设备内的夹角进行对刀片进行夹持固定，之后关闭真空溅镀设备门；S2.启动真空泵：启动真空泵，将真空溅镀设备内的空气进行抽出，降低真空溅镀设备内的压强；S3.启动真空溅镀设备：当达到指定压强时本发明的有益效果在刀片真空溅镀时防止尖端放电，不仅提高刀片在真空溅镀的质量，同时提高刀片在真空溅镀加工时的安全性，能避免刀片上出现毛刺现象在真空溅镀时发生尖端放电现象。
一种真空溅镀时防止尖端放电产生加工工艺

[发明专利]一种内溅镀式胶膜汽车装饰件的制造方法-CN202110252083.3在审
发明人：余泽民;庄吴钏;李叔明 -专利权人：东莞广华汽车饰件科技有限公司
申请日： 2021-03-08 - 公布日： 2021-06-15 - 主分类号： B29C51/36 文献下载
摘要：本发明涉及汽车装饰件技术领域，尤其公开了一种内溅镀式胶膜汽车装饰件的制造方法，溅镀设备将溅镀物料溅镀在透光胶膜件上形成透光溅镀层；将透明件设置在透光胶膜件上，利用透明件遮盖防护透光溅镀层，透明件用于显露透光溅镀层；发光件发出的光线依次穿透透光胶膜件、透光溅镀层及透明件射出；简化内溅镀式胶膜汽车装饰件的工艺流程，提升制造效率；汽车车辆白天行驶时，借助透光溅镀层对汽车车辆进行装饰，利用透明件遮盖防护透光溅镀层，避免透光溅镀层因外露磨损而使用不良，延长使用寿命；汽车车辆夜晚行驶时，发光件发出的光线依次穿透透光胶膜件、透光溅镀层及透明件射出，实现对汽车车辆的装饰，提升装饰的多样性，提升消费者体验度。
一种内溅镀式胶膜汽车装饰制造方法

[发明专利]对三维形状的工件进行的溅镀成膜方法及用于该方法的装置-CN200880116299.X有效
发明人：堀江邦明;高桥直树;吉冈润一郎 -专利权人：荏原优莱特科技股份有限公司
申请日： 2008-11-06 - 公布日： 2010-10-06 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供一种对复杂的三维形状工件也可以将溅镀粒子均匀地成膜的溅镀技术。该技术为通过对靶材进行溅镀，在安装于与所述靶材对向设置且旋转的转盘式工件夹具上的三维形状的工件进行成膜的方法，其特征在于：使所述具有三维形状的工件以位于连接所述靶材与转盘式工件夹具的旋转轴的平面的垂直面内的轴旋转，并且，在整个溅镀时间中的至少一部分时间之内，使从所述靶材飞散的溅镀粒子的主飞散方向偏心于所述转盘式工件夹具的旋转轴中心方向。
三维形状工件进行溅镀成膜方法用于装置

[发明专利]单一出入口溅镀机用于非中心定位工件的连贯式生产方法-CN200910152031.8无效
发明人：郑兆希;胡维彦 -专利权人：向熙科技股份有限公司
申请日： 2009-07-10 - 公布日： 2011-01-12 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供单一出入口溅镀机用于非中心定位工件的连贯式生产方法，此方法包括：提供一设备，具有一转盘，一溅镀腔体，及机械手臂。溅镀腔体可旋转，且具有复数个相互独立溅镀室。接着，设定转盘以间歇式旋转，使工件由一工作站旋转至另一工作站时即停留一第一预定时间，同时也设定溅镀腔体以间歇式旋转并停留一第二预定时间；当转盘停止时，载入工件于第一工作站，同时，机械手臂自第二工作站载入工件于溅镀腔体其中的一第一溅镀室；转盘再间歇式旋转一次，以使该第三工作站的工件得以卸载。
单一出入口溅镀机用于中心定位工件连贯生产方法

[实用新型]一种高精密度石英晶片溅镀装置-CN201420573418.7有效
发明人：曾家骏 -专利权人：东晶锐康晶体（成都）有限公司
申请日： 2014-09-30 - 公布日： 2015-01-28 - 主分类号： H03H3/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高精密度石英晶片溅镀装置，它包括两个相连的溅镀腔体A（1）和溅镀腔体B（2），溅镀腔体A（1）和溅镀腔体B（2）相连处设置有一隔板（3），隔板（3）上开设有一通孔（4），通孔（4）的大小允许溅镀夹具（5）通过，溅镀腔体A（1）和溅镀腔体B（2）内均充满氩气，所述的溅镀腔体A（1）和溅镀腔体B（2）内均设置有电场发生器（6）和磁场发生器（7），所述的溅镀腔体A（1）和溅镀腔体B（2）上均设置有靶材（本实用新型的有益效果是：通过调整在不同溅镀腔体的速度来控制镀层厚度，使石英晶体两面溅镀镀层厚度不同，从而达到经过后期离子蚀刻工艺后石英晶体两面镀层厚度一致的目的。
一种精密度石英晶片装置

[发明专利]铝膜低温溅镀方法、铝导线层制造方法及具有其的结构-CN201810102548.5有效
发明人：不公告发明人 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2018-02-01 - 公布日： 2021-06-04 - 主分类号： H01L21/768 文献下载
摘要：本发明至少提供一种铝膜的低温溅镀方法，包括：将晶圆置于真空溅镀腔内的静电卡盘上；控制真空溅镀腔内的温度低于铝的半熔点；注入溅镀气体至真空溅镀腔内；控制电源的输出缓升至第一溅镀功率，使溅镀气体形成等离子体；控制电源的输出缓升至第二溅镀功率，使铝靶材被等离子体撞击而溅射出铝粒子，铝粒子溅射并沉积至晶圆表面形成铝膜，其中第二溅镀功率大于第一溅镀功率，并且二者之间呈现上升坡度；以及在控制电源的输出缓升至第一溅镀功率之前本发明的低温溅镀方法通过改善溅镀参数，可以降低铝膜挤压缺陷，以降低铝导线层的短路故障率，提高芯片生成的良率。
低温方法导线制造具有结构

[发明专利]连续式溅镀设备-CN201110402874.6无效
发明人：张庆州 -专利权人：鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
申请日： 2011-12-07 - 公布日： 2013-06-12 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：一种连续式溅镀设备，包括依次相邻设置的进料腔体、溅镀腔体及出料腔体，该溅镀腔体包括溅镀室及装设于该溅镀室内的靶材组件与若干电极，该溅镀室内设有一溅镀区，该若干电极相对装设于该溅镀室的侧壁上，设于同一侧的若干电极间隔设置，该靶材组件包括若干靶材，每一靶材装设于相应电极上并远离该溅镀区，同一侧相邻靶材之间形成间隙。该靶材组件还包括至少一遮蔽件，该至少一遮蔽件相对该间隙设置，并位于该若干靶材与该溅镀区之间，用以遮蔽挡设相邻靶材边缘原子的溅射。本发明提供的连续式溅镀设备，遮蔽件能够减小靶材上端部的原子同时被撞击至基材上的几率，有效地提高了沉积至基材上的膜厚均匀性，能够适用于对外观性要求高的镀膜。
连续式溅镀设备

[发明专利]一种溅镀方法及溅镀设备-CN200810097817.X无效
发明人：范继良;杨明生;谢金桥;刘涛;王勇 -专利权人：东莞宏威数码机械有限公司
申请日： 2008-05-15 - 公布日： 2008-09-10 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提出一种溅镀方法及溅镀设备。包括：取来待溅镀的盘片并将其抽真空至预真空后，将所述盘片旋转传输到第一溅镀腔。通过第一溅镀腔在磁场的作用下进行溅镀，在达到预定设置的膜厚A时停止溅镀，并将已溅镀的盘片旋转传输到第二溅镀腔，在所述第一溅镀腔和第二溅镀腔内盘片被抽真空至高真空。由所述第二溅镀腔在磁场的作用下将所述已溅镀的膜厚继续溅镀到膜厚B，所述膜厚B为预定设置的要溅镀的总膜厚，膜厚B≥膜厚A，且均为常数。本发明可以使溅镀后的光盘膜层厚度均匀，同时可以在较低功率、较短时间下溅镀薄膜，避免了盘片升温而变形，也降低了光盘生产周期。
一种方法设备

[实用新型]连续式溅镀设备-CN201220306687.8有效
发明人：吴清沂;吴政道;简谷卫;黄有为;黄圣涵;辜建烨;沈俊宏 -专利权人：北儒精密股份有限公司
申请日： 2012-06-28 - 公布日： 2013-02-06 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：一种连续式溅镀设备，以连续方式在一个基板上沉积一个薄膜单元，并包含：数个溅镀装置，每个溅镀装置都包括一个溅镀单元，以及一个电源供应系统，所述溅镀装置的溅镀单元相并接，且每个溅镀单元都具有一个腔体，以及一个安装在该腔体的一个腔室内并可与该基板相对设置的靶材，所述溅镀装置的电源供应系统都具有一个直流电源供应器、一个射频电源供应器，以及一个整合该直流电源供应器及该射频电源供应器的匹配器，该匹配器可提供该溅镀单元电源，并且在溅镀单元的腔室内形成电浆。前述设计可以连续方式在该基板上沉积薄膜，同时提供较佳的溅镀品质及溅镀效率。
连续式溅镀设备

[实用新型]一种全自动溅镀装置-CN201920728459.1有效
发明人：陈道理 -专利权人：盱眙新远光学科技有限公司
申请日： 2019-05-21 - 公布日： 2020-04-14 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本实用新型提供一种全自动溅镀装置，包括：溅镀仓，所述溅镀仓上端设有上固定板、下端设有下固定板，下固定板安装在设备支架上，所述上固定板上设有阳极电极、所述下固定板上设有阴极电极，所述阳极电极通过阳极电极固定支架安装在上固定板，阴极电极通过阴极电极固定支架安装在下固定板上，所述溅镀仓一侧设有溅镀气体入口、另一侧设有抽真空排出口，所述溅镀仓内设有溅镀件固定支架，溅镀件固定支架一端安装在旋转电机上，所述旋转电机通过电机固定座安装在溅镀仓内本实用新型，可以对溅镀件进行立体溅镀，大大提高了自动化程度，而且，特别适用于中空物件的溅镀，可以提高溅镀效率。
一种全自动装置

[实用新型]真空磁控溅射式镀膜机-CN201120575107.0有效
发明人：唐翔;黄灏 -专利权人：浙江华虹光电集团有限公司
申请日： 2011-12-27 - 公布日： 2012-09-26 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空磁控溅射式镀膜机，包括真空腔，所述真空腔中设有溅镀阳极和溅镀阴极，所述溅镀阳极、溅镀阴极和直流高压电源相连，其中，所述溅镀阴极外加装有电磁线圈，所述电磁线圈通过电磁驱动器和MCU本实用新型提供的真空磁控溅射式镀膜机，通过加装电磁线圈，并在电磁线圈中通以受控的电流，采用可变的磁场进行溅镀厚度控制，提高光盘镀膜层的平整度。
真空磁控溅射镀膜

[发明专利]一种透光溅镀式饰件的制造工艺-CN202010201057.3在审
发明人：余泽民;庄吴钏;李叔明 -专利权人：东莞广华汽车饰件科技有限公司
申请日： 2020-03-20 - 公布日： 2020-06-16 - 主分类号： B29C45/00 文献下载
摘要：本发明涉及汽车饰件技术领域，尤其公开了一种透光溅镀式饰件的制造工艺，利用注塑模具注塑成型透光塑料件；利用溅镀设备在透光塑料件上溅镀出透光溅镀结构；将装饰件设置于透光塑料件，装饰件、透光溅镀结构位于透光塑料件的同一侧，装饰件设有容设透光溅镀结构的缺口槽；将发光件设置于透光塑料件；白天时，利用装饰件对汽车进行装饰；夜晚时，发光件发出的光线经由透光溅镀结构射出以显示出透光溅镀结构，利用透光溅镀结构对汽车进行装饰；简化汽车饰件的制造工艺
一种透光溅镀式饰件制造工艺

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