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[发明专利]单面快速调整探针高度的迫紧机构、方法及电阻测量设备-CN201010266467.2无效
发明人：郑兆希;胡维彦 -专利权人：向熙科技股份有限公司
申请日： 2010-08-27 - 公布日： 2012-03-21 - 主分类号： G01R1/067 文献下载
摘要：单面快速调整探针高度的迫紧机构、方法及电阻测量设备。本发明揭露一种探针迫紧机构，用以在微调探针高度后，快速固定探针于一探针板所预设的通孔中，探针迫紧机构包括：一固定元件，设有一紧配部及一第一斜面延伸部，固定元件以紧配部固设于通孔下半部；及一定位元件，设有一帽檐及一第二斜面延伸部，固定探针时，对帽檐施力将定位元件压入通孔，使第二斜面延伸部紧配于第一斜面延伸部，以对探针提供一径向压迫力来使探针固定。本发明相对于现有技术的功效，可更方便且迅速的调整及固定探针，缩短测量电阻值之前准备流程所需耗费的时间。
单面快速调整探针高度机构方法电阻测量设备

[发明专利]可使工件摇摆的真空镀膜系统及摇摆载具-CN201010220723.4无效
发明人： 胡维彦;郑兆希 -专利权人：向熙科技股份有限公司
申请日： 2010-07-01 - 公布日： 2012-01-11 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供一种可使工件摇摆的真空镀膜系统及摇摆载具，真空镀膜系统内预设一非直线导引轨道，配合所述载具，使承载于载具上的工件在镀膜同时以一预设角度摆动，载具包括：一第一支架及一第二支架；一摇摆转轴，连接于第一支架及第二支架之间，摇摆转轴用以放置工件，并可转动；及一传动组件，可选择性的设置于第一支架及第二支架或二者其中之一，其中，传动组件在不增加额外动力源情况下，将运输载具的动力源配合非直线导引轨道将动力传动至摇摆转轴，使摇摆转轴以一正负预设角度转动，进而带动工件以摇摆转轴为轴心左右转动，从而大幅提升了镀膜的均匀性。
工件摇摆真空镀膜系统

[发明专利]溅射系统以及对非平面表面的工件溅射的方法-CN200910210610.3无效
发明人： 胡维彦;郑兆希 -专利权人：向熙科技股份有限公司
申请日： 2009-11-03 - 公布日： 2011-05-11 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供一种溅射系统以及对非平面表面的工件溅射的方法。所述溅射系统，可用以对表面为非平面的工件进行溅射，该溅射系统包括：一溅射腔体，溅射腔体内至少包括：一第一溅射源，以一第一预定距离与用以承载工件的载具或输送机构相对设置，并大约与载具平行；及一第二溅射源，第二溅射源所在平面位置的法线方向与水平方向形成一夹角，倾斜配设于第一溅射源的侧边，第二溅射源并环绕于第一溅射源周围，用以提供对工件的非平面的结构进行溅射。
溅射系统以及平面表面工件方法

[实用新型]位置复制系统-CN201020001456.7无效
发明人：郑兆希;张新民;胡维彦 -专利权人：向熙科技股份有限公司
申请日： 2010-01-05 - 公布日： 2011-03-23 - 主分类号： G01B7/06 文献下载
摘要：本实用新型提供一种位置复制系统，包括平台、第一支撑臂、第二支撑臂、定位导杆以及钻孔装置。该定位导杆设置于该第二支撑臂上，用于定位该工件的每一量测位置。钻孔装置设置于该第二支撑臂上，并且该钻孔装置与该定位导杆间隔开一预定距离。当该第一支撑臂沿着水平方向移动并且该第二支撑臂沿着垂直方向移动，以使该定位导杆定位至每一量测位置时，该钻孔装置与该定位导杆同步移动，以依据该工件的每一量测位置在该治具板上对应形成若干个孔洞，以复制每一量测位置至相对应的每一孔洞。
位置复制系统

[发明专利]单一出入口溅镀机用于非中心定位工件的连贯式生产方法-CN200910152031.8无效
发明人：郑兆希;胡维彦 -专利权人：向熙科技股份有限公司
申请日： 2009-07-10 - 公布日： 2011-01-12 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供单一出入口溅镀机用于非中心定位工件的连贯式生产方法，此方法包括：提供一设备，具有一转盘，一溅镀腔体，及机械手臂。溅镀腔体可旋转，且具有复数个相互独立溅镀室。接着，设定转盘以间歇式旋转，使工件由一工作站旋转至另一工作站时即停留一第一预定时间，同时也设定溅镀腔体以间歇式旋转并停留一第二预定时间；当转盘停止时，载入工件于第一工作站，同时，机械手臂自第二工作站载入工件于溅镀腔体其中的一第一溅镀室；转盘再间歇式旋转一次，以使该第三工作站的工件得以卸载。
单一出入口溅镀机用于中心定位工件连贯生产方法

[发明专利]可测量多点电阻值的测量系统及其方法-CN200810184106.6无效
发明人：郑兆希;胡维彦;张新民;李亮宏 -专利权人：向熙科技股份有限公司
申请日： 2008-12-11 - 公布日： 2010-06-23 - 主分类号： G01R27/14 文献下载
摘要：本发明提供一种可测量多点电阻值的测量系统及其方法。此测量系统包含一控制装置及一升降装置。控制装置具有一输出入单元以传送一电流。而升降装置具有一平台、至少一立柱及一升降台。平台上放置一待测工件，立柱设于平台上，升降台设于立柱上，并载有一可抽换的活动板。活动板的多个预定位置一一设有多个探针，且这些探针连接于输出入单元。当进行测量时，通过升降台下降活动板，使些探针接触待测工件，并将电流陆续传送至预定的二探针，以分时测量被传送电流的二探针的跨压，进而求得多个电阻值。本发明可自动化测量电阻值，在极短的时间内大量地测量多个待测点，设立这些探针段位置或更换相对应的活动板，将多点电阻值等信息显示、储存及分析。
可测量多点阻值测量系统及其方法

[发明专利]非接触式量测变形值的量测系统及其方法-CN200810168048.8无效
发明人：郑兆希;胡维彦;张新民;李亮宏 -专利权人：向熙科技股份有限公司
申请日： 2008-09-25 - 公布日： 2010-03-31 - 主分类号： G01B11/16 文献下载
摘要：本发明揭露一种非接触式量测变形值的量测系统及其方法。此量测系统包含一升降装置及复数个测距装置。升降装置具有一平台、一或二立柱及一升降手臂。平台上放置一待测工件，立柱设于平台上，升降手臂可以在立柱上升降，并载有可抽换的可抽换板。而此些测距装置一一设于可抽换板的复数个预定位置，每一测距装置具有一光束发射单元及一光束接收单元。当进行量测时，由升降手臂升降可抽换板，使测距装置与待测工件相隔一预定距离，以由光束发射单元发射光束至待测工件，使光束反射至光束接收单元，并由测距装置测出距离值，而根据距离值算出待测工件的变形值。
接触式量测变形系统及其方法