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- [实用新型]自动供给装置-CN201220377158.7有效
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纪昀;孙中琪;董云帆
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欧姆龙(上海)有限公司
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2012-07-31
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2013-05-01
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B23P19/06
- 根据本实用新型的一个方面,提供了一种自动供给装置,其包括彼此相对的一对侧壁,在一对侧壁之间具有:容纳部和供给部。容纳部用于容纳被供给物,被供给物在重力的作用下在容纳部中移动,被供给物移动的方向为移动方向。供给部的一端为供给入口,另一端为封闭端,供给入口与容纳部连通,来自容纳部的被供给物通过供给入口移动进入供给部。该自动供给装置还包括了供给部驱动源,其与供给部耦接,用于驱动供给部在第一位置和第二位置之间做往复运动。当供给部位于第一位置时,被供给物在重力的作用下向封闭端移动。当供给部位于第二位置时,被供给物位于被拾取位置。
- 自动供给装置
- [实用新型]原子层沉积设备-CN202020670179.2有效
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李哲峰;乌磊
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深圳市原速光电科技有限公司
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2020-04-27
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2021-01-12
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C23C16/455
- 本实用新型公开一种原子层沉积设备,该原子层沉积设备包括反应装置、放卷装置和收卷装置,反应装置设置于放卷装置和收卷装置之间,反应装置具有沿基底传输方向延伸的沉积隧道以及与沉积隧道连通的气体供给口,气体供给口包括隔离气体供给口、至少一组前驱体供给口以及至少一组反应物供给口,任意两组前驱体供给口与反应物供给口沿基底的传输方向交替间隔设置,任意相邻的一组前驱体供给口与一组反应物供给口之间设置有隔离气体供给口,每组前驱体供给口包括至少两个前驱体供给口,每组反应物供给口包括至少两个反应物供给口。本实用新型能够减少前驱体和反应物的总用量,避免前驱体和反应物多余的浪费,节约成本。
- 原子沉积设备
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