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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]基板处理装置及基板处理方法-CN202010131552.1有效
  • 安陪裕滋 - 株式会社斯库林集团
  • 2020-02-28 - 2021-12-14 - B05C5/02
  • 本发明提供一边在使浮起量呈阶段状地变化的状态下浮起搬运基板一边向该基板上表面供给处理液的基板处理技术，良好地向基板供给处理液。处理工作台具有：供给浮起区域，位于喷嘴的下方并使基板以适于供给处理液的供给用浮起量浮起；上游侧浮起区域，在搬运方向上的供给浮起区域的上游侧，使基板以比供给用浮起量大的上游侧浮起量浮起；下游侧浮起区域，在搬运方向上的供给浮起区域的下游侧，使基板以比供给用浮起量大的下游侧浮起量浮起；以及变动缓和部，在供给浮起区域与上游侧浮起区域之间以及供给浮起区域与下游侧浮起区域之间的至少一方，具有不设置喷出口及抽吸口的缓冲区域，缓和在缓冲区域与供给浮起区域的边界附近的基板的浮起量的变动
  • 处理装置方法
  • [发明专利]基板浮起输送装置-CN201610579895.8有效
  • 滨川健史;奥田大辅;森俊裕;冈本贯志 - 东丽工程株式会社
  • 2016-07-21 - 2022-01-04 - H01L21/67
  • 提供基板浮起输送装置，即使对于宽度方向上尺寸大的宽幅基板也能够一边高精度地维持平面度一边进行输送。该基板浮起输送装置具有：浮起载台部，其在输送方向上延伸，使基板浮起于基板浮起面上；以及基板保持部，其对浮起于基板浮起面上的基板进行保持，基板保持部在对浮起于基板浮起面上的状态的基板进行保持的状态下沿着输送方向进行移动，由此基板在浮起于基板浮起面上的状态下被输送，在浮起载台部与基板保持部之间具有辅助浮起支承部，在对宽度方向尺寸比基准大小的基板大的宽幅基板进行输送的情况下，辅助浮起支承部使从基板浮起面在宽度方向上伸出的宽幅基板的伸出区域浮起
  • 浮起输送装置
  • [发明专利]浮起运送装置以及浮起单元-CN200910164107.9有效
  • 平田贤辅;和田芳幸;田中刈入 - 株式会社IHI
  • 2009-08-04 - 2010-02-10 - B65G51/02
  • 本发明提供一种浮起运送装置(1)，在充分确保浮起性能的同时运送大型化的基板(W)的情况下，能够高效地确保基板(W)的平坦度，能够避免基板(W)的端部和浮起单元(37)等之间的干涉。在浮起运送装置(1)中，将基板W向运送方向运送的运送单元(11)设置在支承框(3)上，并且多个浮起单元(37)沿着运送方向以及运送宽度方向设置在支承框(3)上。各浮起单元(37)具有：在上表面形成有喷出空气的喷嘴(41)的浮起单元主体(39)；设置在浮起单元主体(39)的下表面中央的、内部与浮起单元主体的内部连通的浮起单元脚(43)。在此，浮起单元脚的运送方向的最大外形尺寸比浮起单元主体的运送方向的最大外形尺寸小。
  • 浮起运送装置以及单元
  • [发明专利]涂布装置及涂布方法-CN202010305007.X有效
  • 安陪裕滋 - 株式会社斯库林集团
  • 2020-04-17 - 2021-11-23 - B05C5/02
  • 本发明构成为，具有：处理台，使基板浮起，基板运送部，将在处理台上浮起的基板在运送方向上运送，以及喷嘴，向由基板运送部运送的基板的上表面供给处理液；处理台具有：供给浮起区域，位于喷嘴的下方，使所述基板浮起，上游侧浮起区域，在运送方向上，在供给浮起区域的上游侧使基板浮起，以及下游侧浮起区域，在运送方向上，在供给浮起区域的下游侧使基板浮起；运送方向上的上游侧浮起区域的长度比下游侧浮起区域的长度长。
  • 装置方法
  • [发明专利]浮起输送装置-CN201510378437.3在审
  • 宫岛勇也 - 东丽工程株式会社
  • 2015-07-01 - 2016-01-13 - B05C9/14
  • 本发明提供一种浮起输送装置，其能够不使基板破损地对其进行浮起输送。浮起输送装置具有：浮起台(2)，其使基板(W)浮起；手部(51)，其具有与基板的端面抵接的抵接部(53)，通过使抵接部与借助浮起台(2)而浮起的基板的端部抵接来把持基板；以及行走机构(52)，其使手部沿基板的输送方向移动，浮起台的基板浮起面(23)在与输送方向垂直的宽度方向上比基板的宽度窄，所述基板浮起面是使基板浮起的面，当手部把持基板时，抵接部在宽度方向上在比基板浮起面靠外侧的位置与基板抵接，抵接部的下端位于比基板浮起面低的位置
  • 浮起输送装置
  • [发明专利]浮起式涂敷装置-CN201210071525.5有效
  • 稻益寿史;宫崎文宏 - 东京毅力科创株式会社
  • 2012-03-16 - 2012-09-19 - C03C15/00
  • 本发明提供一种浮起式涂敷装置，在浮起台加大划分浮起台组块的边界(接缝)的台阶的容许度，能够简便并且短时间进行浮起面的高度位置调整作业。在浮起台(10)中，左端的搬入用浮起台组块(SBA)搭载配置多个仅有喷出口(12)的第一粗略浮起区域(MIN)。在中间的浮起台组块(SBB)局部搭载在输送方向(X方向)的两端部设置多个仅有喷出口(12)的上推浮起区域(MP、MQ)，并且在这些之间搭载混合多个配置喷出口(12)和吸引口(14)的精密浮起区域(MCT此外，在右端的搬出用浮起台组块(SBC)搭载配置多个仅有喷出口(12)的第二粗略浮起区域(MOUT)。
  • 浮起式涂敷装置
  • [发明专利]基板浮起装置以及基板浮起量测量方法-CN201310372965.9在审
  • 滨川健史;森俊裕;奥田哲也 - 东丽工程株式会社
  • 2013-08-23 - 2014-03-26 - B65G35/00
  • 本发明提供一种基板浮起装置和基板浮起量测量方法，能够将基板的浮起量始终准确地计算和控制。基板浮起装置（1）使基板浮起，该装置包括浮起单元（2）和解析装置（21），该浮起单元包括与浮起的基板（W）背面相对而置的对向面（14），且将基板浮起至对向面上方，该解析装置计算从该对向面浮起的基板的浮起量；其中，在该对向面下方进一步设置有向输送浮起单元上浮起的基板发射光的光反射型高度测量器（12），所述浮起单元包括贯通孔（15）和板体状基准板（13），该贯通孔使从高度测量器发射的光和在基板上反射后入射到高度测量器的光通过
  • 浮起装置以及测量方法
  • [发明专利]基板浮起装置-CN200910157418.2有效
  • 木内智一 - 奥林巴斯株式会社
  • 2009-07-28 - 2010-02-10 - B65G49/06
  • 本发明提供一种基板浮起装置，在该基板浮起装置中，利用简单的结构对浮起板供给压力恒定的空气。基板浮起装置(10)具备：多个浮起板(11)，它们排出基板浮起用的空气；缓冲罐(12a)，其暂时地贮存对该多个浮起板(11)供给的空气；以及多个空气配管(13)，它们从该缓冲罐(12a)分别对多个浮起板(11)供给空气，其中，浮起板(11)呈矩形瓦片状，并呈矩阵状排列，缓冲罐(12a)配置在用于配置多个浮起板(11)的区域的下方，并且沿着浮起板(11)的排列方向(箭头D1、D2)中的一个方向延伸，多个空气配管(13)利用实质上相同的长度将缓冲罐(12a)和多个浮起板(11)之间连结起来。
  • 浮起装置
  • [发明专利]浮起搬送热处理装置-CN201310584960.2有效
  • 宫岛勇也;奥田大辅 - 东丽工程株式会社
  • 2013-11-19 - 2017-05-24 - B65G49/00
  • 提供能够在短时间内对加热后的基板进行冷却的浮起搬送热处理装置。浮起搬送热处理装置（1）排列有多个浮起搬送单元，各所述浮起搬送单元依次在对基板进行超声波振动浮起的同时进行热处理并进行搬送，该浮起搬送单元具有振动板部，其通过超声波振动使基板浮起；超声波产生部，其对振动板部赋予超声波振动；搬送部，其支撑基板的端部并在与基板的浮起方向垂直的方向上搬送基板，该浮起搬送热处理装置具有加热区域（2）和冷却区域（3），在该加热区域中，浮起搬送单元具有对该浮起搬送单元的振动板部进行加热的加热器部，在该冷却区域中，浮起搬送单元不具有加热器部。
  • 浮起热处理装置
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