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- [发明专利]晶圆传递腔室-CN201310332799.X有效
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邱勇;吴佳兴
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中微半导体设备（上海）有限公司
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2013-08-01
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2017-03-15
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H01L21/677
- 一种晶圆传递腔室，包括一晶圆箱，设置于传递腔室内部，包括分层隔离的多个分箱部；一常闭主阀门，设置于传递腔室侧壁，主阀门打开以供机械手伸入传递腔室内；一驱动机构，其带动晶圆箱在传递腔室内做垂直方向运动，以供机械手抓取临近于主阀门的分箱部内晶圆；至少一密封环，固设于传递腔室的内侧壁上；至少一密封件，固接于晶圆箱上任两个相邻分箱部之间的箱体外侧壁；其中，晶圆箱运动至一密封件与一密封环密合的位置时，该密封件与该密封环将传递腔室分割为一主腔室和一分腔室，以使分腔室内容纳至少一分箱部，用于对该至少一分箱部内的晶圆进行预处理工艺。
- 传递
- [实用新型]一种洁净传递窗-CN202021803313.8有效
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刘天双;嵇亮亮
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苏州市豪鸿净化科技有限公司
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2020-08-25
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2021-11-16
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E06B5/00
- 本实用新型涉及到一种洁净传递窗，包括传递柜，所述传递柜内部中空形成传递腔，所述传递腔包括上传递腔、洁净腔和下传递腔；所述传递柜两侧分别设置有与上传递腔、下传递腔连通的柜门；所述传递腔中设置有传递装置，所述洁净腔中设置有净化喷雾嘴以及与净化喷雾嘴连通的净化喷雾槽，所述下传递腔中设置有干燥装置。将待传送物品放置进上传递腔中，随后利用传递装置，将放置在上传动腔的中物品依次传递至洁净腔和下传递腔中，当传递进洁净腔中后，通过净化喷雾槽喷射酒精喷雾或消毒剂喷雾，净化完毕后传递至下传递腔中，进行干燥。
- 一种洁净传递窗
- [发明专利]一种规避液体低温结晶的压力传递腔结构-CN202110861386.5在审
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陈小青
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深圳科维新技术有限公司
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2021-09-17
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2021-12-10
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G01L23/26
- 一种规避液体低温结晶的压力传递腔结构,具体涉及汽车零部件领域中的SCR系统中的压力传感器。本结构包括压力传递腔液体入口喉道、压力传递腔空气喉道、压力传递腔A室、压力传递腔B室和应变压力腔，它们共同构建了压力传递腔。所述的压力传递腔液体入口喉道与压力传递腔A室相连通、压力传递腔A室与压力传递腔B室相连通、压力传递腔B室与压力传递腔空气喉道相连通以及压力传递腔空气喉道与应变压力腔相连通，本发明通过次第相互连通的压力传递腔结构设计，规避了液体直接进入压力传感器的应变压力腔内，避免因液体低温变相时体积增大产生的挤压力造成压力传感器应变片损坏，提高了压力传感器对低温的适应性能。
- 一种规避液体低温结晶压力传递结构
- [实用新型]一种可调节风量的传递窗-CN202022558218.2有效
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朱林华
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江苏沃勒技术工程有限公司
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2020-11-06
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2021-07-20
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F24F8/95
- 本实用新型公开了一种可调节风量的传递窗，涉及净化设备技术领域，旨在解决传统传递窗需要手动移动放置板影响传递窗传递效率的问题。其技术方案要点是：包括传递窗本体，传递窗本体内设有传递腔，传递腔的两侧均开设有腔口，两个腔口处均铰接有密闭门，传递腔的内底面上固定连接有底板,底板上滑动连接有放置板，底板内开设有动力腔，动力腔内设有用于将放置板从两个腔口推出传递腔的推动结构，本实用新型通过推动结构的设置实现对放置板的推出，进而解决了传统传递窗需要手动移动放置板影响传递窗传递效率的问题。
- 一种调节风量传递窗
- [实用新型]一种传递窗-CN202220536149.1有效
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刘先策;刘海;孙国艳;姜同柏;孙志才;曲铁虎
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北京黑六牧业科技有限公司
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2022-03-10
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2022-08-23
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E06B5/00
- 本实用新型属于净化辅助设备技术领域，提出了一种传递窗，包括窗体，窗体内部贯穿开设有传递腔；第一窗门转动设置在窗体上，且密封盖设在传递腔的一个开口处；第二窗门转动设置在窗体上，且密封盖设在传递腔的另一开口处；传递板沿传递腔的贯穿方向滑动设置在传递腔内；移动板的两端沿传递腔的贯穿方向滑动设置在传递腔内壁上，传递板固定设置在移动板的上方，移动板上沿横向开设有条形孔，条形孔的长度方向与传递腔的贯穿方向垂直；滑块沿条形孔的长度方向滑动设置在条形孔内；连杆沿横向设置，且一端转动设置在传递腔的底部，另一端与滑块的底部连接。通过上述技术方案，解决了物件拿取不方便、传递腔底部易磨损的问题。
- 一种传递窗
- [实用新型]一种无菌传递窗-CN201921947946.3有效
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李英骥;闫励;郑双佳
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徐州爱思益普生物科技有限公司
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2019-11-12
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2020-07-24
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A61L2/10
- 本实用新型公开了一种无菌传递窗，其包括框体和位于框体内侧的传递腔，传递腔的两侧分别开设有传递口，传递口均设置有能将其封严的窗门，窗门与框体之间设置有门锁，传递腔中固设有紫外灭菌灯，传递腔中部可拆卸连接有水平隔板，传递腔的侧壁上设置有支撑板，水平隔板的一端搭接于支撑板上，传递腔背向支撑板的侧壁上开设有插接槽，水平隔板背向支撑板的一端插入于插接槽中；传递腔开设有插接槽的侧壁上开设有让位槽，让位槽位于插接槽上方且让位槽的内腔与插接槽的内腔连通本实用新型具有传递腔中放置的物品高度较低时，对传递腔上层空间有效利用的效果。
- 一种无菌传递窗
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