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[发明专利]具有回流换热器的等离子体反应器-CN202080032528.0在审
发明人： G·S·莱纳德三世;S·A·麦克勒兰德;具宰模 -专利权人：雷卡邦股份有限公司
申请日： 2020-03-01 - 公布日： 2021-12-07 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种等离子体生成系统(10)包括波导(20)和内壁(40)，所述波导(20)用于将微波能传送通过，所述内壁(40)设置于所述波导内以限定等离子体空腔，其中等离子体(46)利用所述微波能而生成于所述等离子体空腔内所述等离子体生成系统(10)还包括：适配器(44)，所述适配器(44)具有气体出口(32)，由所述等离子体(46)所处理的废气通过所述气体出口(32)离开所述等离子体空腔；回流换热器(100)，所述回流换热器
具有回流换热器等离子体反应器

[发明专利]一种微型旋转弧等离子体流动反应器-CN201810892868.5有效
发明人：吴云;宋飞龙;胥世达;金迪;贾敏;宋慧敏 -专利权人：中国人民解放军空军工程大学
申请日： 2018-08-07 - 公布日： 2020-06-19 - 主分类号： H05H1/48 文献下载
摘要：本发明公开了一种微型旋转弧等离子体流动反应器，其技术方案要点是包括阳极支撑管、引出阳极、微型旋流器、放电阳极、石英管隔离段、阴极收敛管和引出阴极。本发明一是采用滑动弧放电形式提高等离子体中粒子能量，使其和燃料分子或挥发性有机物反应更剧烈；二是采用旋转滑动弧等离子体，克服现有滑动弧反应器中等离子体不均匀的缺陷，达到等离子体和反应物充分接触并发生反应的目的最终提高等离子体裂解燃料的转化率或是等离子体降解有害物质（VOCs，挥发性有机物）的效率。
一种微型旋转等离子体流动反应器

[发明专利]等离子体蚀刻的装置与方法-CN200610099440.2有效
发明人：黄宜清;李兴隆;卢怡州;李佳玲 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2006-07-20 - 公布日： 2007-09-05 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：本发明是有关于一种等离子体蚀刻的装置与方法，尤其是一种在等离子体反应器中蚀刻基材的装置与方法，其中等离子体反应器包含了固定基材的静电吸盘。首先，提供直流电压予静电吸盘，此直流电压使基材上带有静电荷。之后，再以等离子体蚀刻此基材，接着再将直流电压中断，以及利用射频源中和等离子体反应室中基材上的静电荷。本发明能够消除现有的等离子体蚀刻过程中存在微弧光放电损害的问题，而提供一种高效率和高准确度的等离子体蚀刻的装置与方法。
等离子体蚀刻装置方法

[发明专利]大气压空气中等离子体产生器-CN202210787053.7在审
发明人：郭啸龙 -专利权人：武汉芙丽雅电子科技有限公司
申请日： 2022-07-04 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： H05H1/52 文献下载
摘要：本发明涉及一种大气压空气中等离子体产生器，高压针电极阵列固定在内基座上；高压针电极阵列的放电端裸露于内基座上端外侧。高压针电极阵列与等离子体激发电源电性连接，接地金属片与等离子体激发电源的接地端电性连接。本发明提供的大气压空气中等离子体产生器，等离子体主要在高压针电极阵列与皮肤等导电性受体表面之间产生，等离子体弥散放电主要产生在高压针电极阵列与皮肤等导电性受体表面，各类高能活性粒子、微电流对皮肤进行相应处理
大气压空气等离子体产生器

[实用新型]大气压空气中等离子体产生器-CN202221730044.6有效
发明人：郭啸龙 -专利权人：武汉芙丽雅电子科技有限公司
申请日： 2022-07-04 - 公布日： 2023-02-28 - 主分类号： H05H1/52 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种大气压空气中等离子体产生器，高压针电极阵列固定在内基座上；高压针电极阵列的放电端裸露于内基座上端外侧。高压针电极阵列与等离子体激发电源电性连接，接地金属片与等离子体激发电源的接地端电性连接。本实用新型提供的大气压空气中等离子体产生器，等离子体主要在高压针电极阵列与皮肤等导电性受体表面之间产生，等离子体弥散放电主要产生在高压针电极阵列与皮肤等导电性受体表面，各类高能活性粒子、微电流对皮肤进行处理
大气压空气等离子体产生器

[发明专利]一种等离子体中粒子瞬态分布的成像方法-CN202210653942.4在审
发明人：王俊霄;张雷;张帅;苏永刚;尹王保;肖连团;贾锁堂 -专利权人：山西大学;山西格盟中美清洁能源研发中心有限公司
申请日： 2022-06-09 - 公布日： 2022-09-13 - 主分类号： G06F30/23 文献下载
摘要：本发明属于等离子体物理领域，针对目前等离子体物理学研究中等离子体中粒子的瞬态分布成像方法存在的问题，公开了一种等离子体中粒子瞬态分布的成像方法。该方法属于理论方法，相比于传统各种实验成像的方法更便捷、更灵活、更全面，适应面更广，可以研究所有粒子种类以及所有波段，可以同时得到等离子体中多种粒子的分布，可以选择合适的步长以满足分辨率要求，并且不会受到不可避免因素的干扰，利于对等离子体动力学演化的深入研究，提高LIBS的定量分析精度及PLD的镀膜质量。
一种等离子体粒子瞬态分布成像方法

[发明专利]尾气闭循环电离燃烧的等离子体锅炉-CN201580084982.X在审
发明人：王守国;燕恩亮;王龙哲 -专利权人：王守国
申请日： 2015-11-30 - 公布日： 2018-07-17 - 主分类号： F27D17/00 文献下载
摘要：一种尾气闭循环电离燃烧的等离子体锅炉，包含有锅炉炉体(100)、等离子体燃烧炬(109)、尾气收集罩(101)、尾气闭循环系统、补水系统和水循环冷却系统等。其中等离子体燃烧炬(109)采用直流等离子体燃烧炬，工作气体是空气和水蒸汽，锅炉炉体(100)放置在等离子体燃烧炬(109)喷嘴正上方，锅炉炉体(100)是与大地绝缘的悬浮电极，在锅炉炉体(100)的外围设有一个尾气收集罩(101)，等离子体燃烧后的尾气全部被尾气收集罩(101)收集进入到尾气闭循环系统实现重复电离燃烧。
等离子体燃烧锅炉炉体尾气尾气收集电离等离子体闭循环系统闭循环燃烧锅炉水循环冷却系统补水系统采用直流工作气体悬浮电极喷嘴水蒸汽绝缘外围重复

[发明专利]一种智能化的等离子体垃圾焚烧装置-CN201810382242.X在审
发明人：吴征威 -专利权人：吴征威
申请日： 2018-04-26 - 公布日： 2018-08-03 - 主分类号： F23G7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种智能化的等离子体垃圾焚烧装置，包括等离子体焚烧系统、气体采集模块、智能化控制平台，其中等离子体焚烧系统包含等离子体焚烧装置、气体处理装置和固体处理装置，气体采集模块包含O2气体传感器和可燃性气体传感器，智能化控制平台包含数据分析处理装置、等离子体功耗处理装置和燃烧空气控制装置，垃圾经等离子体焚烧装置处理后，生成无害的CO2、H2O、酸性气体及一些固体颗粒物，利用传感器采集燃烧后气体的成分，通过智能化控制平台及时调整等离子体焚烧装置的功率及燃烧空气的量，精准控制等离子体焚烧系统的能耗及燃烧空气量，解决目前等离子体焚烧系统存在焚烧不彻底造成环境污染或者浪费电量的问题。
等离子体焚烧系统智能化控制平台焚烧装置垃圾焚烧装置气体采集模块燃烧空气智能化可燃性气体传感器数据分析处理装置固体处理装置气体处理装置传感器采集固体颗粒物气体传感器燃烧空气量功耗处理精准控制控制装置酸性气体电量焚烧能耗垃圾燃烧

[发明专利]一种等离子体目标电磁散射特性近场仿真方法-CN202211597549.4在审
发明人：陈波;蔡宇峰;杨伟;胡皓全;雷世文;田径;孙凯 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2022-12-12 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： G06F30/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种等离子体目标电磁散射特性近场仿真方法，属于电磁散射领域。本发明包括：采用流场仿真软件求解等离子体鞘套参数；将等离子体鞘套分层，根据等离子体参数获得每层的介电常数；基于入射波近场修正求解等离子体包裹目标的电磁传播特性；基于近场修正，计算等离子体目标的近场电磁散射特性；对等离子体目标近场散射场可视化处理。本发明填补了基于高频方法的等离子体目标近场电磁散射特性仿真处理领域的空白。从仿真结果来看，采用本发明方法的仿真结果与商业软件仿真结果相比偏差很小，因为本发明方法无需像数值方法一样严格考虑目标的耦合关系，因此其计算资源消耗少、计算速度快，可用于实际工程中等离子体目标散射问题分析
一种等离子体目标电磁散射特性近场仿真方法

[发明专利]一种等离子体浓度确定方法、装置、电子设备及消毒装置-CN202210441788.4在审
发明人：李泽民;聂李慧;胡露;封宗瑜;马明宇;张述文 -专利权人：珠海格力电器股份有限公司
申请日： 2022-04-25 - 公布日： 2022-06-24 - 主分类号： H05H1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种等离子体浓度确定方法、装置、电子设备及消毒装置，其中等离子体放电系统包括空气电容、空气电阻、介质阻挡电容和测试电容，空气电容和空气电阻并联后与介质阻挡电阻和测试电容串联，等离子体浓度确定方法包括：获取等离子体未激发状态下单个周期内每个时刻测试电容的第一电量；获取等离子体激发状态下单个周期内每个时刻测试电容的第二电量；根据第一电量和第二电量，得到单个周期内由等离子体激发所致的激发总电量；根据激发总电量得到预设时间段内等离子体激发状态下产生的等离子的浓度相对于现有的等离子体浓度方法，本发明的方案可大幅减少等离子浓度评估计算的时间、人员和仪器资源的投入，具备巨大的应用优势。
一种等离子体浓度确定方法装置电子设备消毒

[发明专利]等离子体硅刻蚀方法以及半导体器件-CN201810505007.7有效
发明人：陈国动;姚立明 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2018-05-23 - 公布日： 2021-04-09 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：本公开提供一种等离子体硅刻蚀方法以及半导体器件。其中等离子体刻蚀方法包括以电感耦合的方式激励工艺气体产生等离子体，在脉冲波射频电源的作用下所述等离子体对所述硅基体进行刻蚀，其中，所述工艺气体包括CHF3。本公开的刻蚀方法通过使用含CHF3的工艺气体结合脉冲等离子体进行硅刻蚀，不仅可以有效的降低硅刻蚀工艺中的深度微负载效应，还能够实现深度微负载效应的消除甚至反转。
等离子体刻蚀方法以及半导体器件

[发明专利]等离子体显示面板的驱动方法及等离子体显示装置-CN200910151107.5无效
发明人：朴奭裁;郑然星 -专利权人：三星SDI株式会社
申请日： 2009-07-21 - 公布日： 2010-01-27 - 主分类号： G09G3/28 文献下载
摘要：本发明提供了等离子体显示面板的驱动方法及等离子体显示装置。一种驱动等离子体显示装置的方法，所述等离子体显示装置利用重置周期、寻址周期和维持周期而具有分时驱动灰度等级，在该重置周期中等离子体显示面板(PDP)的所有单元的壁电荷被初始化，该寻址周期用于通过在所选单元中产生弱放电而使得维持放电能够进行
等离子体显示面板驱动方法显示装置

[发明专利]大气压介质阻挡放电等离子体枪-CN02159260.8无效
发明人：葛袁静;张广秋;张跃飞;何整风 -专利权人：北京印刷学院;北京东方盖德真空技术有限公司
申请日： 2002-12-30 - 公布日： 2003-05-07 - 主分类号： H05H1/34 文献下载
摘要：大气压介质阻挡放电等离子体枪属于等离子体应用技术领域，解决现有技术中等离子体宏观温度高，以及普通平板型电极大气压介质阻挡放电等离子体源在应用范围中存在的局限性；结构为具有枪架(1)、呈空心管状的电介质(5)，紧贴在空心管状电介质(5)外侧壁上的外电极(3)，及位于电介质(5)空心(6)内的内电极(4)，空心(6)一端有绝缘堵头(10)兼内电极(4)的定位架，流动的工作气体(7)放电产生等离子体(12)，由空心(6)的开口端(13)喷出，形成等离子体炬(14)；有益之处为使大气压介质阻挡放电等离子体向空间延伸、开放，喷出的等离子体宏观温度为常温，等离子体矩(14)可有多种形状，进一步拓宽了等离子体技术的应用范围
大气压介质阻挡放电等离子体

[发明专利]用于原子层次分辨率与等离子体处理控制的方法-CN201680055207.6有效
发明人： A·阿加沃尔 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2016-09-29 - 公布日： 2023-06-20 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：处理基板的方法包括：(a)在处理容积内的第一电极与第二电极之间提供处理气体，处理气体包含聚合物形成气体和蚀刻气体，其中第一电极在第二电极对面；(b)从第一RF电源施加第一电压波形至第二电极，以由处理气体形成等离子体，其中等离子体具有第一离子能量以直接在基板的介电层顶上沉积聚合物层；及(c)将第一电压波形调整成第二电压波形，以使等离子体的离子能量从第一离子能量提高至第二离子能量，其中等离子体在第二离子能量下停止沉积聚合物层
用于原子层次分辨率等离子体处理控制方法

[发明专利]用于处理气体的等离子反应器-CN202080032556.2在审
发明人： S·A·麦克勒兰德;G·S·莱纳德三世;具宰模 -专利权人：雷卡邦股份有限公司
申请日： 2020-02-29 - 公布日： 2021-12-07 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供一种等离子体产生系统(10)，包括：用于传输微波能量的波导(20)；设置在波导(20)内以限定等离子体腔的内壁(40)，其中等离子体(46)通过使用微波能量在等离子体腔内生成；第一进气口(44)安装在第一次的波导(20)和配置为引入第一气体至等离子腔内,在等离子腔内使用第一气体产生涡流(45),第一气体入口(44)具有一个孔(32)，由等离子体处理过(46)的气体穿过该孔(32)离开等离子腔；和离子体稳定器(38)，该离子体稳定器(38)具有圆形中空圆柱体形状并安装在波导(20)的第二侧，该等离子体稳定器(38)的纵向方向与第一涡旋流(45)的旋转轴平行。
用于处理气体等离子反应器