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[发明专利]靶组件-CN201580042283.9有效
发明人：中村真也;池田佳广;藤井佳词;宫口有典 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2015-06-18 - 公布日： 2019-06-11 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供一种靶组件，其可抑制背板的延伸部分和靶侧面之间发生异常放电，同时可靠地防止结合靶和背板的粘接材料向外部渗出。背板(22)具有比靶(21)的外周边更向外延伸的延伸部分(22a)。环状的屏蔽板(4)与延伸部分相对配置，以便在将靶组件(2)安装在溅射装置(SM)上时围住靶。以背板上结合有靶的部分作为接合部分(22b)，该接合部分相对于延伸部分凸出设置。从延伸部分到靶的侧面都形成绝缘材料膜(23)。
组件

[发明专利]靶组件-CN201580065926.1有效
发明人：中村真也;池田佳广;宫口有典;桥本一义;堤贤吾;藤井佳词 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2015-06-16 - 公布日： 2019-05-07 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供一种靶组件，其可抑制背板的延伸部分和靶侧面之间发生异常放电，同时能可靠地防止接合靶和背板的粘接材料向外部渗出，并且背板很容易再利用。具有绝缘材料靶(21)和通过粘接材料接合在该靶的一面上的背板(22)，且背板具有比靶的外周边更向外延伸的延伸部分(22a)的本发明的靶组件(2)，其特征在于：还具有与靶侧面之间留出规定的间隙而围绕在靶周围，覆盖延伸部分的靶侧的面并在背板上装卸自如的环形绝缘板(23)。
组件

[实用新型]一种基于重频激光打靶的自动换靶系统-CN201921523158.1有效
发明人：赵家瑞;于高阳 -专利权人：北京锐德康科技有限公司
申请日： 2019-09-12 - 公布日： 2020-08-04 - 主分类号： H05H6/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种基于重频激光打靶的自动换靶系统，该自动换靶系统包括上靶单元和卸靶单元，上靶单元包括纳米靶仓组件和上靶组件，卸靶单元包括纳米靶定位组件和卸靶组件；纳米靶仓组件中存储纳米靶，上靶组件将其中的新纳米靶推入纳米靶定位组件中，并通过卸靶组件将打靶后的废纳米靶推出纳米靶定位组件，置入纳米靶仓组件中；上靶单元的上靶方向与卸靶单元的卸靶方向相对。
一种基于激光打靶自动系统

[发明专利]一种磁控溅射靶-CN200910265441.3有效
发明人：周颖;刘丽华 -专利权人：中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司
申请日： 2009-12-29 - 公布日： 2011-06-29 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明涉及镀膜设备，具体地说是一种磁控溅射靶，包括靶头、折弯波纹管组件、靶支杆、靶支座、手动螺旋升降组件、接头组件、驱动器及靶挡板组件，靶支杆可上下往复移动地安装在靶支座上，位于靶支座上方的靶支杆的一端通过折弯波纹管组件与靶头相连接，靶头通过折弯波纹管组件相对于靶支杆可折弯，位于靶支座下方的靶支杆上连接有安装在靶支座上的手动螺旋升降组件；驱动器安装在靶支座上，驱动器的输出端连接有相对靶支座既可转动又可随靶支杆上下往复移动的靶挡板组件；位于靶支座下方的靶支杆的另一端设有与电源连接的接头组件。本发明靶头在折弯波纹管组件的带动下实现折弯功能，使得一台磁控设备实现了多种镀膜工艺，降低了加工成本。
一种磁控溅射

[实用新型]磁控溅射靶-CN200920350081.2无效
发明人：周颖;刘丽华 -专利权人：中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司
申请日： 2009-12-29 - 公布日： 2010-11-17 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型涉及镀膜设备，具体地说是一种磁控溅射靶，包括靶头、折弯波纹管组件、靶支杆、靶支座、手动螺旋升降组件、接头组件、驱动器及靶挡板组件，靶支杆可上下往复移动地安装在靶支座上，位于靶支座上方的靶支杆的一端通过折弯波纹管组件与靶头相连接，靶头通过折弯波纹管组件相对于靶支杆可折弯，位于靶支座下方的靶支杆上连接有安装在靶支座上的手动螺旋升降组件；驱动器安装在靶支座上，驱动器的输出端连接有相对靶支座既可转动又可随靶支杆上下往复移动的靶挡板组件；位于靶支座下方的靶支杆的另一端设有与电源连接的接头组件。本实用新型靶头在折弯波纹管组件的带动下实现折弯功能，使得一台磁控设备实现多种镀膜工艺，降低加工成本。
磁控溅射

[实用新型]一种起倒侧转热成像报靶装置-CN202022240755.2有效
发明人：闫要鹏;孙海波;曹晋民;胡益;闵泉;孙念光;邓岚;朱银波;管文辉;陆星宇 -专利权人：南京模拟技术研究所;中国人民解放军总参谋部第六十研究所
申请日： 2020-10-10 - 公布日： 2021-08-17 - 主分类号： F41J5/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种起倒侧转热成像报靶装置，包括前端采集器、起倒侧转靶、靶板组件；所述前端采集器用于靶板组件的靶型采集和弹点信息采集；所述起倒侧转靶包括底座，起倒组件，摇臂，侧转组件，靶夹组件；所述起倒组件固定在底座上，用于驱动靶板组件的起靶、倒靶；所述起倒组件两侧设有输出轴，所述摇臂固定在的输出轴上；所述侧转组件固定在摇臂上端；所述靶夹组件固定侧转组件的侧转输出轴上；所述侧转组件用于驱动靶板组件的侧靶、正靶。
一种起倒侧转热成像装置

[实用新型]一种靶架-CN200920161215.6有效
发明人：梁国栋 -专利权人：梁国栋
申请日： 2009-07-03 - 公布日： 2010-05-19 - 主分类号： F41J1/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种靶架，属于训练器材装置领域。靶架：靶支架组件和靶板组件；靶支架组件包括2个靶支架板、2个连接架、1个连接套和4个靶架脚；靶板组件包括1个靶架板；靶架板正面左右两侧的下端部分分别安装在2个靶支架板的上端部分；2个靶支架板的下端部分并行安装在2个连接架之间，2个连接架平行设置；2个连接架的底部安装在连接套的顶部；连接套的底部设有4个靶架脚容槽，4个靶架脚容槽两两相对设置；4个靶架脚的上端部分分别安装在4个靶架脚容槽中。本实用新型的靶架包括靶支架组件和靶板组件，用户在射击打靶时，可以将靶板组件固定在靶支架组件上，靶支架组件固定在地面，方便在任何场地摆放，便于移动，方便用户的使用。
一种

[发明专利]用于液冷隔离的X射线透射靶的方法及系统-CN202210236131.4在审
发明人：弗拉切内克·克劳斯;博尔歇斯·布鲁斯;凯斯·A·托马斯 -专利权人：卡尔蔡司有限公司
申请日： 2022-03-11 - 公布日： 2022-10-25 - 主分类号： H01J35/02 文献下载
摘要：一种X射线源，其具有靶组件、电子源和飞行管组件，靶组件包括靶，电子源用于产生撞击靶的电子，飞行管组件将靶组件与电子源分开并且将冷却剂输送到靶组件。飞行管组件包括飞行管接口环、靶筒管以及位于飞行管接口环与靶筒管之间的电隔离环。
用于隔离射线透射方法系统

[发明专利]便携式激波报靶系统-CN202211714033.3在审
发明人：林海滨;成严严;陈豪;郑义平;黄松柏 -专利权人：福建泉城特种装备科技有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： F41J5/02 文献下载
摘要：本发明涉及激波报靶技术领域，具体公开了便携式激波报靶系统，包括激波报靶组件和用于激波报靶组件便携运输的运输组件；激波报靶组件：包括若干块可重合的靶体、设置在靶体底部的安装体、安装在靶体拉伸后之间的副靶体、设在安装体内部的用于配合靶体工作的激波传感器，所述安装体位于副靶体的位置设有用于副靶体电连接的插口，所述安装体长度大于靶体长度；运输组件：包括推车主体、用于放置靶体的第一便携组件和用于放置副靶体的第二便携组件，本系统解决传统的激波报靶系统便携程度低的问题。
便携式激波系统

[发明专利]物理气相沉积靶材组件-CN202080009371.X在审
发明人：肖文;桑杰·巴特;刘树围;维布什·金达尔 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2020-01-24 - 公布日： 2021-08-31 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：披露了物理气相沉积靶材组件、包括靶材组件的PVD腔室和使用所述靶材组件制造EUV掩模坯料的方法。靶材组件包括：相邻于靶材并围绕靶材的周边边缘的靶材屏蔽件，靶材屏蔽件包括绝缘材料；和非绝缘外周边装置夹，用于将靶材屏蔽件固定至所述组件。
物理沉积组件

[发明专利]具有集成束电流监测的现场可更换的、一次性的和热优化的X射线靶-CN202180059261.9在审
发明人： M·特莱尔;K·伯奇;D·伯恩 -专利权人：艾可瑞公司
申请日： 2021-06-29 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： G21K5/08 文献下载
摘要：一种直线加速器靶装置，包括：靶材料，所述靶材料用于在被通过直线加速器加速的电子撞击时产生辐射；和靶保持器组件，所述靶材料连接到所述靶保持器组件。所述靶保持器组件包括围绕所述靶材料的周边设置的冷却通道。所述靶保持器组件配置成可拆地耦连到所述直线加速器的壳体。所述靶装置还包括保护窗，所述保护窗在所述靶材料上方耦连到所述靶保持器组件。
具有集成电流监测现场更换一次性优化射线

[发明专利]靶材组件的焊接方法-CN201310754923.1在审
发明人：姚力军;赵凯;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;李超 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2013-12-31 - 公布日： 2015-07-01 - 主分类号： B23K20/26 文献下载
摘要：一种靶材组件的焊接方法，包括以下步骤提供至少两个靶材组件坯料，每个所述靶材组件坯料包括背板和设置于背板凹槽内的靶材；将所述至少两个靶材组件坯料叠放至真空包套内，相邻的靶材组件坯料之间具有隔离片；将所述真空包套放入热等静压炉，利用热等静压工艺将每个靶材组件坯料中的靶材与背板进行焊接，形成至少两个靶材组件；所述焊接完成后，对真空包套进行冷却，去除包套和隔离片，取出至少两个靶材组件。采用本发明的方法能够实现在一个包套内实现两个靶材组件坯料中的各自的靶材与背板之间的焊接，从而形成至少两个靶材组件。进而提高了靶材组件的焊接效率。
组件焊接方法

[发明专利]靶材组件的制作方法和靶材组件-CN201310465244.2有效
发明人：姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;杨广 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2013-09-30 - 公布日： 2017-07-11 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：一种靶材组件的制作方法和靶材组件，其中靶材组件的制作方法，包括提供第一靶材组件坯料，所述第一靶材组件坯料包括背板和固定在背板上的靶材；对所述第一靶材组件坯料进行第一机械加工，形成第二靶材组件坯料，所述第二靶材组件坯料的背板表面光滑；对所述第二靶材组件坯料的背板表面进行氧化处理，在所述背板的表面形成氧化膜；对所述氧化处理后的第二靶材组件坯料进行第一清洗，形成靶材组件。采用本发明的制作方法形成的靶材组件在基片上形成的膜层质量较高、磁控溅镀工艺的成本比较低，而且安装该靶材组件的溅射机台也不会被污染。
组件制作方法

[发明专利]靶材组件及其制造方法-CN201710669867.X在审
发明人：姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;刘霞;昝小磊 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2017-08-08 - 公布日： 2019-02-26 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供一种靶材组件及其制造方法，制造方法包括：提供靶材、以及与靶材实现焊接结合的背板，形成靶材组件，靶材厚度占靶材组件厚度的比例至少为60％。本发明靶材厚度占靶材组件厚度的比例至少为60％，与所占比例较小的方案相比，能够在保持靶材组件厚度不变的情况下增加靶材的厚度，使得靶材能够用于溅射的材料相应增多，从而有效延长靶材组件的使用寿命，进而有效地减少更换靶材组件的频率，有利于工艺效率的提高、工艺成本的降低；同时，由于能够使靶材组件厚度保持不变，因此溅射机台无需对靶材与待成膜产品(例如：晶圆)的间距进行调整，从而避免对靶材组件的初期溅射速率和成膜均匀性起到不良。
靶材组件靶材对靶溅射制造成膜均匀性有效地减少机台工艺成本工艺效率使用寿命背板成膜晶圆焊接

[发明专利]一种靶材边料切割辅助装置及其运行方法-CN202310512667.9在审
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;陈琛 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2023-05-08 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： B23Q15/26 文献下载
摘要：本发明提供了一种靶材边料切割辅助装置及其运行方法，所述靶材边料切割辅助装置包括靶材旋转组件，及所述靶材旋转组件的顶部设置的靶材固定组件，所述靶材旋转组件用于控制待切割靶材转动，所述靶材固定组件用于固定与松开待切割靶材本发明提供的靶材边料切割辅助装置通过设置靶材旋转组件来实现待切割靶材的旋转，设置靶材固定组件来实现待切割靶材的固定与松开，从而辅助外部的辅助切割装置实现了待切割靶材的自动化切割，减小了待切割靶材的切割时间，降低了切割的成本，提升了切割的效率；同时，所述靶材边料切割辅助装置还具有结构简单及使用成本较低的优点，适用于大规模推广使用。
一种靶材边料切割辅助装置及其运行方法

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