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- [发明专利]一种自支撑类石墨多孔非晶碳薄膜的制备方法-CN201310624301.7有效
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魏合林;朱大明;刘宇昊
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华中科技大学
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2013-11-28
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2014-03-19
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C23C16/26
- 本发明公开了一种自支撑类石墨多孔非晶碳薄膜的制备方法,包括下述步骤:S1:对金属镍片衬底进行超声清洗,并烘干后放置于管式炉中;S2:向所述管式炉中通入惰性气体;S3:对所述管式炉进行升温处理使其达到600℃-720℃,向所述管式炉中通入氢气,并对所述金属镍片衬底进行热处理;S4:向所述管式炉中通入碳氢化合物,使得经过热处理后的金属镍片衬底催化碳氢化合物裂解后生长非晶碳薄膜;S5:对所述管式炉进行降温处理,并将生长有非晶碳薄膜的镍片浸泡在腐蚀液中腐蚀掉衬底镍片后获得自支撑类石墨多孔非晶碳薄膜。采用本发明制备方法对环境温度要求不高,制备得到的非晶碳薄膜具有多孔结构和自支撑结构,可以很方便转移至任何衬底。
- 一种支撑石墨多孔非晶碳薄膜制备方法
- [发明专利]一种同时制备石墨烯和多孔非晶碳薄膜的方法-CN201310624078.6有效
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朱大明;魏合林;袁利利;刘雨昊;易林
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华中科技大学
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2013-11-28
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2014-03-05
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C01B31/04
- 本发明公开了一种同时制备石墨烯和多孔非晶碳薄膜的方法,包括S1对金属镍片衬底进行超声清洗,并烘干后放置于管式炉中;S2向管式炉中通入惰性气体;S3对管式炉进行升温处理使其达到750℃~1000℃并保持10分钟~50分钟,向管式炉中通入氢气,并对金属镍片衬底进行热处理;S4向管式炉中通入流量为20sccm~100sccm的碳氢化合物,使得经过热处理后的金属镍片衬底催化碳氢化合物裂解以及镍片溶碳后同时生长石墨烯和非晶碳薄膜;S5对管式炉进行降温处理,并将生长有石墨烯和非晶碳薄膜的镍片浸泡在腐蚀液中腐蚀掉衬底镍片后获得石墨烯和多孔非晶碳薄膜。本发明以碳氢化合物为碳源,通过控制高温条件下碳源在衬底镍片表面的吸附裂解和镍片内溶入碳原子能够同时获得石墨烯和非晶碳薄膜。
- 一种同时制备石墨多孔非晶碳薄膜方法
- [发明专利]含非晶碳被膜-CN201410482607.8在审
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诹访浩司;广濑景太;佐藤彰;渡边裕二
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佑能工具株式会社
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2014-09-19
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2015-03-25
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C23C14/06
- 本发明的课题是提供一种含非晶碳被膜,其是高硬度且具有与基材的高密合力、能够大幅提升加工用工具和机械部件的寿命且实用性极为优秀的含非晶碳被膜。本发明涉及一种含非晶碳被膜,其是在基材上形成的含非晶碳被膜,其中,膜厚分别为0.05μm以上的非晶碳被膜层[A]和非晶碳被膜层[B]按照所述非晶碳被膜层[A]配置在基材侧、所述非晶碳被膜层[B]配置在表层侧的方式层积构成,该含非晶碳被膜整体的膜厚设定为0.1μm以上且1.5μm以下,所述非晶碳被膜层[A]和所述非晶碳被膜层[B]具有规定的膜质。
- 含非晶碳被膜
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