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[发明专利]沉积方法、层间介质层及半导体器件-CN201410534859.0有效
发明人：林东;张玉;宁振佳;单伟中;曹涯路 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2014-10-11 - 公布日： 2018-06-08 - 主分类号： H01L21/205 文献下载
摘要：本申请公开了一种沉积方法、层间介质层及半导体器件。其中，该沉积方法包括将半导体基体置于沉积室中的静电卡盘上；打开射频源以对沉积室进行加热升温；将静电卡盘接地，以使半导体基体形成放电回路；向沉积室中通入待反应气体，以在半导体基体沉积形成薄膜。该沉积方法通过打开射频源以对沉积室进行加热升温，然后将静电卡盘接地以使半导体基体形成放电回路，使得加热升温过程中累积在半导体基体上的电荷得以导出，从而减少了薄膜沉积过程中累积在半导体基体上的电荷，并减少了薄膜沉积过程中产生的等离子损伤
半导体基体沉积室沉积半导体器件加热升温静电卡盘薄膜沉积过程层间介质层放电回路电荷接地射频源沉积形成薄膜等离子损伤反应气体耐击穿导出申请

[发明专利]一种团簇富压反应与大通量选质软沉积装置及方法-CN202210882440.9在审
发明人：骆智训;黄奔奔;甘汶 -专利权人：中国科学院化学研究所
申请日： 2022-07-26 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： G01N27/62 文献下载
摘要：本发明公开了一种团簇富压反应与大通量选质软沉积装置及方法。所述选质软沉积装置包括依次连接的层流反应管、团簇选质软沉积装置和锥形八极杆腔体；团簇选质软沉积装置包括软沉积腔体，软沉积腔体内设有静电透镜组、偏转式加速场和软沉积平台；静电透镜组实现对团簇离子的聚焦和动能调节，静电透镜组的入口与软沉积腔体的入口连接，出口与偏转式加速场的入口连接；偏转式加速场的出口端靠近上部设有团簇软沉积孔，靠近下部设有团簇检测孔；软沉积平台设于团簇软沉积孔处。本发明将气相团簇的反应、检测与软沉积相结合，能够在进行质谱实验过程中方便地使用软沉积功能，并且在软沉积过程中对气相团簇的信号进行实时监控。
一种团簇富压反应通量选质软沉积装置方法

[发明专利]物理气相沉积构件以及清洁静电吸盘的方法-CN202110215946.X在审
发明人：吴宗晟;吴昇颖;林明贤 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2021-02-26 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本揭露提供一种物理气相沉积构件以及清洁静电吸盘的方法，清洁静电吸盘的方法包含将半导体晶圆置于物理气相沉积装置的静电吸盘上。半导体晶圆包含低k介电层位于下层结构上，以及抗反射层位于低k介电层上。沉积包含氮化钛的硬遮罩于抗反射层上，且包含氮化钛的污染物附着于物理气相沉积装置的腔室内。自静电吸盘上移开沉积有硬遮罩的半导体晶圆。污染物掉落至静电吸盘。施加清洁液于静电吸盘以移除污染物。
物理沉积构件以及清洁静电吸盘方法

[发明专利]沉积静电放电电压脉冲校准装置、方法、电子设备-CN202211741065.2在审
发明人：纪翔;吴红森;杨金涛;康宁;刘星汛;齐万泉 -专利权人：北京无线电计量测试研究所
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： G01R35/00 文献下载
摘要：本说明书公开了一种沉积静电放电电压脉冲校准装置、方法、电子设备，涉及电磁兼容领域，旨在为了解决常规静电放电模拟器校准方法无法适用于沉积静电试验设备的问题。本发明装置包括高压分压器、数字电压表；高压分压器包括串行连接的高压臂、低压臂；高压臂的输入端与放电棒尖锥结构的尖端电连接，低压臂的输出端接地；构成高压臂、低压臂的电阻外部均裹覆有屏蔽层；高压分压器的输入电阻大于沉积静电模拟器的最大放电电压与预设灵敏度电流的比值；数字电压表连接于低压臂的设定部位，用于获取沉积静电放电电压脉冲分压后的电压值。本发明可以准确有效的获取沉积静电模拟器在放电棒尖锥结构尖端的电压，从而得到准确有效的电压校准量。
沉积静电放电电压脉冲校准装置方法电子设备

[发明专利]以介电陈化膜陈化静电夹盘的系统与方法-CN202180078826.8在审
发明人： A·辛格豪尔;A·邱;Z·赵;S-J·金;蒋志钧;D·帕德希;G·巴拉苏布拉马尼恩 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2021-10-12 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：描述了半导体处理系统和方法，其可包括使沉积前驱物流入半导体处理腔室的基板处理区域中，其中基板处理区域包括静电夹盘。方法可进一步包括由沉积前驱物在静电夹盘上沉积陈化层以形成陈化的静电夹盘。方法可又进一步包括向陈化的静电夹盘施加大于或约500V的电压。陈化的静电夹盘可以由当施加电压时小于或约25mA的漏电流表征。
陈化静电系统方法

[实用新型]液晶显示器的彩膜基板-CN200720173376.8有效
发明人：金原奭;郝昭慧 -专利权人：北京京东方光电科技有限公司
申请日： 2007-09-26 - 公布日： 2008-08-06 - 主分类号： G02F1/1333 文献下载
摘要：本实用新型通过若干实施方式公开了一种液晶显示器的彩膜基板，所述彩膜基板包括玻璃基板，所述玻璃基板的一面沉积有彩色树脂，所述玻璃基板的另一面沉积有透明电极氧化铟锡，所述玻璃基板沉积有透明电极氧化铟锡的边缘区域沉积有导电系数比透明电极氧化铟锡的导电系数高的静电释放层所述静电释放层为金属层，其材料为Al、Cu、Au或Ag。所述静电释放层的宽度为50μm。本实用新型的实施方式通过沉积导电系数比氧化铟锡高的静电释放层，当出现ESD现象时，所产生的静电电流能够快速并且均匀地向周围扩散。
液晶显示器彩膜基板

[实用新型]基座装置、溅射腔体及物理气相沉积设备-CN202320320717.9有效
发明人：冯君;张啸;邰晓东;程豪;王家正 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2023-02-24 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种基座装置和溅射腔体及物理气相沉积设备，所述基座装置包括控温底座、所述控温底座内部活动连接的转轴、所述转轴上端连接的轴承、内嵌有所述轴承的静电卡盘、所述静电卡盘上连接的卡盘组件以及所述转轴下端连接的驱动装置；所述控温底座与所述溅射腔体固定连接；所述驱动装置，用于带动所述转轴转动，再通过所述转轴带动所述轴承转动，进而通过所述轴承带动所述静电卡盘转动。本实用新型提供的基座装置、溅射腔体及物理气相沉积设备，通过在静电卡盘内嵌入由驱动装置驱动的轴承，使得静电卡盘可以旋转，从而使得沉积环上累积的沉积膜的位置发生变化，避免了同一处累积的过厚沉积膜接触到晶圆背面形成电弧放电现象
基座装置溅射及物理气沉积设备

[发明专利]高温静电卡盘-CN201710569034.6有效
发明人：李新颖;李冰;赵梦欣 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2017-07-13 - 公布日： 2020-06-19 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明属于半导体加工技术领域，具体涉及一种高温静电卡盘。该高温静电卡盘，包括基座和设置于所述基座上方的卡盘主体，所述卡盘主体用于支撑晶片，所述卡盘主体的外侧环绕设置有压环和沉积环，所述压环用于对所述卡盘主体进行限位，所述沉积环位于所述压环的上方，所述压环开设有豁口，所述沉积环和/或所述基座在对应所述豁口的区域设置有接触脚，所述接触脚使得所述沉积环与所述基座直接接触。该高温静电卡盘，通过重新设计金属基座、压环和沉积环结构，采用压环开设豁口、以及设置接触脚的形式使沉积环直接接触基座，避免压环受热膨胀将沉积环顶起，而造成的沉积环和晶片之间发生粘黏的现象。
高温静电卡盘

[发明专利]移动电话组件的抗静电沉积方法-CN200780030935.2无效
发明人：柳秉勳;成元模;李儁 -专利权人：株式会社EMW天线
申请日： 2007-08-31 - 公布日： 2009-08-12 - 主分类号： H01L21/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种无线终端组件的抗静电沉积方法，其包括在用于无线终端组件的模制材料上沉积锡或锡铝合金。且本发明公开了一种无线终端组件的抗静电沉积方法，其包括：在用于无线终端组件的模制材料上沉积锡或锡铝合金；和在沉积的锡层或沉积的锡铝合金层上沉积从含有硅、二氧化硅、钛、二氧化钛、三氧化二铝和其混合物的组中选出的一种或多种材料根据本发明的无线终端组件的抗静电沉积具有优势效果即其能克服现有技术中的问题即静电电流的产生会有害地影响无线终端内部电路的性能例如镍、铬等被沉积在无线终端组件上以来创造一种镜面效果，且其也能维持镜面效果和无线电频率的性能，且能防止沉积在用于无线终端组件的模制材料上的锡或锡铝合金的脱落，还可以增强无线终端组件的耐擦伤性和耐冲击性。
移动电话组件抗静电沉积方法

[发明专利]从在车辆通风和空调设备中流动的气流中分离超细颗粒（UFP）的装置-CN201680073335.3在审
发明人： R·孟克莫勒 -专利权人：帕拉贡股份公司
申请日： 2016-12-07 - 公布日： 2018-08-03 - 主分类号： B60H3/00 文献下载
摘要：为了在用于从在车辆通风和空调设备(1)中流动的气流(3)中分离超细颗粒(UFP)的装置中确保这些超细颗粒(UFP)的较高分离度而建议，将用于分离的装置构造为静电分离装置(8)，该静电分离装置(8)具有沉积电极(11)，在静电分离装置(8)中在气流(3)的流动方向上的上游充电的超细颗粒可积聚在该沉积电极(11)处，并且静电分离装置(8)的沉积电极(11)相对于车辆通风和空调设备(1)的蒸发器(5)布置成使得沉积电极
静电分离装置超细颗粒沉积电极空调设备通风蒸发器流动高分离度装置构造自动清洁冷凝水积聚充电上游

[发明专利]静电驱动MEMS梳齿结构、采用该结构的微镜及其制备方法-CN202210508327.4有效
发明人：姜军委;张妮妮;刘青峰;马力;杨涛;彭磊;李欢欢;王芳 -专利权人：西安知象光电科技有限公司
申请日： 2022-05-11 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：静电驱动MEMS梳齿结构、采用该结构的微镜及其制备方法；静电驱动MEMS梳齿结构，其梳齿表面具有绝缘层，相邻梳齿表面的绝缘层是同一种绝缘层或者不同绝缘层；采用静电驱动MEMS梳齿结构的微镜从下到上依次由基底、隔离层以及器件层构成；微镜的制作方法采用高温氧化、等离子增强化学气相沉积、低压化学气相沉积、常压化学气相沉积、物理沉积、原子层沉积或分步异质沉积法制作绝缘层；即在驱动梳齿表面和接地梳齿表面得到相同或者不同的绝缘层；当驱动梳齿与接地梳齿产生吸附，则二者表面的绝缘层接触，不形成短路，具有良好的绝缘效果；本发明的防止吸附损坏的静电驱动式MEMS微镜结构紧凑，工艺简单。
静电驱动 mems 梳齿结构采用及其制备方法

[发明专利]一种3D打印方法-CN201510115438.9在审
发明人：闫国栋;王长明;谢守德 -专利权人：东莞劲胜精密组件股份有限公司
申请日： 2015-03-16 - 公布日： 2015-07-08 - 主分类号： B29C67/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种3D打印方法，包括以下步骤：a.利用静电纺丝装置对高分子溶液进行静电纺丝，使静电纺丝产物在电场力的作用下向打印基底运动，按预定轮廓沉积到所述打印基底上的特定位置；b.在步骤a静电纺丝的过程中，对所述打印基底上的所述特定位置同步地照射激光，使得所述静电纺丝产物在所述特定位置沉积之前被加热熔化，以熔融状态在所述特定位置上沉积；c.按照步骤a和b的方式重复在所述预定轮廓上重复沉积多层所述静电纺丝产物
一种打印方法

[发明专利]一种磁响应超疏水表面的制备方法及装置-CN202111092366.2在审
发明人：李鹏飞 -专利权人：北京金茂绿建科技有限公司
申请日： 2021-09-17 - 公布日： 2021-12-10 - 主分类号： B05D5/00 文献下载
摘要：其中，先在二氯甲烷中溶解羰基铁粉、聚二甲基硅氧烷配制沉积溶液，再将沉积溶液与空气混合，并通过连接静电发生器的静电空气雾化器对沉积溶液进行雾化，在预设喷涂距离下，通过静电空气雾化器依次将雾化的沉积溶液喷涂在基板的两侧，形成磁响应超疏水表面，通过空气混合、静电雾化结合的方式，使得沉积溶液在库仑力、气动力和表面张力下充分雾化，使得喷涂的颗粒致密均匀，在提高雾化效率的同时，提高了溶液利用率，减少了环境污染，能够高效、低廉的制备磁响应超疏水表面
一种响应疏水表面制备方法装置

[发明专利]一次性口罩垫-CN202010255356.5有效
发明人：夏双印;陈广岩;张胜利;夏鹏飞 -专利权人：上海护理佳实业有限公司
申请日： 2020-04-02 - 公布日： 2020-07-03 - 主分类号： A41D13/11 文献下载
摘要：本发明实施例提供一种一次性口罩垫，包括：面层，及与面层层叠设置，且用于与口罩体直接贴附，并通过静电吸附作用连接至口罩体上的吸附层；所述的吸附层为静电熔喷无纺布，一方面，具有良好的过滤效果，且，由于吸附层为静电熔喷无纺布，除了常规的扩散沉积、截留沉积、惯性沉积效果之外，还能够通过静电吸引沉积截留细小的颗粒；另一方面，吸附层通过静电吸附作用连接到口罩体上，不需要额外设置粘胶等连接结构，且能够反复可靠的连接至口罩体上，不会对口罩体带来额外的影响
一次性口罩

[实用新型]沉积环和静电吸盘-CN201020180720.8有效
发明人：方文勇;刘兆虎;曾海;李江风 -专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;武汉新芯集成电路制造有限公司
申请日： 2010-04-29 - 公布日： 2011-02-02 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本实用新型提供静电吸盘和与之配合使用的沉积环，所述静电吸盘上的各个把持部的形状互不相同、和/或大小互不相同、和/或构成不等边多边形。解决了现有技术中容易将沉积环错误安装到静电吸盘上的问题。
沉积静电吸盘