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[发明专利]一种气体监测装置、半导体制程设备及气体监测方法-CN202310336501.6在审
发明人： 李江风;王力;龙俊舟 -专利权人：武汉新芯集成电路制造有限公司
申请日： 2023-03-30 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： G01N21/01 文献下载
摘要：本申请提供一种气体监测装置、半导体制程设备及气体监测方法。该气体监测装置应用于半导体制程设备中，并且设置在气体通路上。该气体监测装置包括：发光件，被配置为发出能够穿过气体通路和/或气体通路管壁的第一光信号；和感光件，被配置为接收第一光信号能够穿过气体通路和/或气体通路管壁的第二光信号；其中，气体监测装置还被配置为通过比较第一光信号和第二光信号的大小，以检测气体通路中的特种气体是否被污染。本申请中的气体监测装置能够在第一时间监测气体通路中的特种气体是否被污染的状态，及时发现外漏，避免因外漏导致大量的产品报废。
一种气体监测装置半导体设备方法

[发明专利]一种加热基座以及半导体设备-CN202211339100.8在审
发明人： 李江风;龙俊舟;王力 -专利权人：武汉新芯集成电路制造有限公司
申请日： 2022-10-28 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： C23C16/46 文献下载
摘要：本申请提供一种加热基座以及半导体设备，加热基座包括第一承载部和第二承载部；具体的，第一承载部用于承载待加工对象，并用于在对待加工对象进行薄膜沉积处理时，加热待加工对象；第二承载部的至少部分环绕第一承载部设置；其中，第二承载部中设置有冷却装置，以在对待加工对象进行薄膜沉积处理时，对第二承载部进行降温处理，避免制程气体在第二承载部表面进行反应从而在第二承载部的表面形成沉积物，从而降低清理频率，提高加热基座使用寿命，并能够提高半导体设备的利用率。
一种加热基座以及半导体设备

[发明专利]晶圆处理设备及晶圆处理方法-CN202210770269.2在审
发明人： 李江风;王力;龙俊舟 -专利权人：武汉新芯集成电路制造有限公司
申请日： 2022-06-30 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请提供一种晶圆处理设备及晶圆处理方法。该晶圆处理设备包括：反应腔室、闸门以及感应装置；其中，反应腔室用以放置晶圆以进行处理；闸门设置在反应腔室的侧壁上，以开启或关闭反应腔室；感应装置用以侦测放置在反应腔室内的晶圆是否发生破裂。该晶圆处理设备能够防止破裂的晶圆对晶圆处理设备中的其它腔室，比如其它处理腔室造成污染的问题发生。同时，在反应腔室内的晶圆发生破裂后，只需使反应腔室停机即可，晶圆处理设备中的其它腔室，比如其它处理腔室仍可继续工作，无需使整个晶圆处理设备停机，大大提高了晶圆处理设备的利用率。同时避免了对破碎的晶圆进行无效的后续加工处理，减轻了工作人员的工作负荷。
处理设备方法

[外观设计]咖啡机（滴漏式）-CN202130448884.8有效
发明人：曹瑜芹;陈祥;付海;波陶俊;李江风;高松 -专利权人：宁波汇远电器有限公司
申请日： 2021-07-15 - 公布日： 2022-03-11 - 主分类号： 31-00 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：咖啡机（滴漏式）。2.本外观设计产品的用途：用于烹饪咖啡。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
咖啡机滴漏

[外观设计]滴漏式咖啡机（2）-CN202130660513.6有效
发明人：高松;陶俊;周力;陈祥;肖成男;李江风;陈佳慧;杜晨颖 -专利权人：宁波汇远电器有限公司
申请日： 2021-10-08 - 公布日： 2022-03-11 - 主分类号： 07-02 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：滴漏式咖啡机（2）。2.本外观设计产品的用途：用于煮制咖啡，以自动控制磨粉、压粉、装粉、冲泡、清除残渣等酿制咖啡的全过程。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
滴漏咖啡机

[发明专利]土地利用转型经济社会效应评价与监控信息集成系统-CN201810311577.2在审
发明人：张绪冰;李江风;余晶;戴云哲;王晗;韦启杰;王凯;伍超群;岳桥兵;吴倩倩;王博云 -专利权人：中国地质大学（武汉）
申请日： 2018-04-09 - 公布日： 2018-09-14 - 主分类号： G06Q10/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种土地利用转型经济社会效应评价与监控信息集成系统，其包括：数据库，其用于存储数据；土地利用现状及转型特征分析模块，其用于分析土地利用现状的数量及结构、获取土地利用转型的空间分布及土地利用转移矩阵；综合经济社会发展水平评价模块，其用于获取经济社会发展水平空间分异特征；以及经济社会发展驱动机制时空分异特征模块，其用于获取经济发展环境、生态发展环境以及土地利用状态三种驱动机制的空间分异特征分析结果。该系统以土地利用变化和土地利用转型经济社会效应指标的动态监测为基础，可完成土地利用转型经济社会效应的自动评价与动态跟踪，由此提升土地利用转型经济社会评价成效，降低成本。
土地利用转型社会效应经济社会发展土地利用现状集成系统监控信息社会发展水平特征分析结果特征分析模块土地利用变化存储数据动态跟踪动态监测空间分布评价模块生态发展水平空间特征模块转移矩阵自动评价综合经济驱动数据库时空分析

[实用新型]物理气相沉积主机台的传送腔-CN201020584379.2有效
发明人：刘兆虎;谢诚;方文勇;李江风 -专利权人：武汉新芯集成电路制造有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2010-10-29 - 公布日： 2011-11-30 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：本实用新型提供一种物理气相沉积主机台的传送腔，所述物理气相沉积主机台的传送腔包括传送腔体和传送腔盖，所述传送腔盖与传送腔体匹配，所述传送腔盖能够闭合或者打开，所述传送腔体上还设置有两个或者两个以上的定位销，在所述传送腔盖闭合时，所述定位销用于固定所述传送腔盖的位置。当传送腔盖被闭合时，在定位销的作用下，传送腔盖可与传送腔体严密闭合，从而可确保待加工晶圆位置准确，提高产品良率。
物理沉积主机传送

[实用新型]沉积环和静电吸盘-CN201020180720.8有效
发明人：方文勇;刘兆虎;曾海;李江风 -专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;武汉新芯集成电路制造有限公司
申请日： 2010-04-29 - 公布日： 2011-02-02 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本实用新型提供静电吸盘和与之配合使用的沉积环，所述静电吸盘上的各个把持部的形状互不相同、和/或大小互不相同、和/或构成不等边多边形。解决了现有技术中容易将沉积环错误安装到静电吸盘上的问题。
沉积静电吸盘

[实用新型]内置吸尘设备的便携式圆锯-CN201020272639.2无效
发明人：王明;丁成富;鲁风梅;李江风;历锐 -专利权人：黑龙江八一农垦大学
申请日： 2010-07-28 - 公布日： 2011-01-05 - 主分类号： B27B5/00 文献下载
摘要：内置吸尘设备的便携式圆锯，它涉及一种便携式圆锯。它由主体、吸尘电机、吸尘风机、集尘袋上盖、集尘袋、导尘管、出尘口、挡尘板、基板、圆锯片、把手、隔板、锯片电机和静护罩组成，主体中间设置有隔板，隔板上方设置有吸尘电机、吸尘风机、集尘袋和导尘管，吸尘风机与集尘袋相连，集尘袋的上方设置有集尘袋上盖，尘袋上盖外侧设置有把手，导尘管与集尘袋相连，出尘口设置在导尘管的管口处，静护罩与主体的头部相连，静护罩内设置有挡尘板和圆锯片，挡尘板的下方设置有圆锯片，基板穿过圆锯片设置在主体的下方，隔板的下方设置有锯片电机，锯片电机一端与圆锯片相连。它能高效吸收、收集粉尘。
内置吸尘设备便携式圆锯

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