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[发明专利]静电夹持装置、减少残余电荷的方法及等离子体处理设备-CN200910243700.2有效
发明人：宋俊超 -专利权人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请日： 2009-12-23 - 公布日： 2011-06-29 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供一种静电夹持装置，包括基座、举升单元、电荷释放单元、置于基座内部的电极以及静电引力监测单元和控制单元，其中，静电引力监测单元监测该静电夹持装置同其所夹持的工件之间的静电引力状况，并将相应监测信号传输至控制单元；控制单元基于监测信号而判断静电引力是否大于预定阈值，若是，则启动所述电荷释放单元；若否，则进入取片过程；电荷释放单元用于释放静电夹持装置上的残余电荷。此外，本发明还提供一种减少静电夹持装置残余电荷的方法以及应用上述装置和/或方法的等离子体处理设备。本发明所提供的静电夹持装置、方法及等离子体处理设备能够减小静电夹持装置与工件之间的静电引力，避免工件偏离或碎片，从而提高生产效率。
静电夹持装置减少残余电荷方法等离子体处理设备

[发明专利]静电吸盘及其制备方法-CN200910176024.1有效
发明人：曺生贤;朴镕均 -专利权人： IPS株式会社
申请日： 2009-09-18 - 公布日： 2010-03-24 - 主分类号： H01J37/20 文献下载
摘要：公开了一种利用静电引力以吸附的方式固定基板的静电吸盘，以及该静电吸盘的制备方法。所述静电吸盘包括被分成多个电极部分并且连接到直流电源的电极层，以使所述多个电极部分具有相同的极性。因此，静电引力可以被快速产生和释放，并且可以避免一些位置的电压差。
静电吸盘及其制备方法

[发明专利]一种基于静电引力自下而上反向吸附制备功能薄膜的方法-CN201210044213.5有效
发明人：谈国强;尹君 -专利权人：陕西科技大学
申请日： 2012-02-24 - 公布日： 2012-07-11 - 主分类号： C03C17/22 文献下载
摘要：本发明公开一种基于静电引力自下而上反向吸附制备功能薄膜的方法，将基板功能化一面朝下悬浮于溶液表面，通过静电引力自下而上将溶液中络合离子反向吸附到基板上制备薄膜，在室温干燥后退火制备出晶化的功能薄膜。本发明以自组装OTS单层膜为模板，利用短波紫外光照射仪对OTS-SAMs进行表面改性，结合液相沉积法，并采用基于静电引力自下而上的反向吸附技术设计了一种工艺简单、经济的方法；采用反向吸附技术克服了重力的影响，一些大颗粒和络合离子将会向下沉积，而小络合离子将会在静电引力的作用下向上吸附到基板上，这种方法所制备的薄膜表面平整均匀；且当反向吸附达到平衡后不再吸附离子，所制备的薄膜的厚度具有很好的可控性。
一种基于静电引力自下而上反向吸附制备功能薄膜方法

[发明专利]静电夹持装置及半导体处理设备-CN201110029766.9无效
发明人：武学伟;赵梦欣 -专利权人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请日： 2011-01-27 - 公布日： 2012-08-01 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供一种静电夹持装置以及半导体处理设备，静电夹持装置包括基座和绝缘层，绝缘层置于基座上方且绝缘层内设置有直流电极，直流电极连接直流电源以产生可吸附被加工工件的静电引力，静电夹持装置还包括检测单元、控制单元以及执行单元，其中，检测单元用于检测静电夹持装置所承载的被加工工件的直流自偏压，并将直流自偏压传输至控制单元；控制单元用于根据被加工工件的直流自偏压生成控制信号，并将控制信号传输至执行单元；执行单元根据控制信号调整直流电源的输出电压，以对作用在被加工工件上的静电引力进行调整。静电夹持装置可以使被加工工件不同区域获得均衡的静电引力。
静电夹持装置半导体处理设备

[发明专利]显示装置及显示控制方法-CN201910673124.9有效
发明人：卜倩倩;杨虹;胡伟频;张平奇 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司
申请日： 2019-07-24 - 公布日： 2022-04-29 - 主分类号： H01L27/32 文献下载
摘要：该显示装置包括具有静电引力且包括透明阴极层和透明阳极层有机发光显示器件，使有机发光显示器件能够实现双向出光；分别位于有机发光显示器件两侧且包括活性膜层和受抑开关的受抑全反射器件，受抑开关根据接收到的控制信号而导通或者关闭来控制活性膜层是否具有静电引力其中，当活性膜层具有静电引力时，有机发光显示器件发出的光线从活性膜层射出，当活性膜层不具有静电引力时，有机发光显示器件发出的光线被空隙全反射，因此，通过控制受抑开关即可实现显示装置单/双显示面的切换。
显示装置显示控制方法

[发明专利]基于静电斥力和引力混合驱动的射频MEMS开关-CN201410444896.2有效
发明人：赵清华;李刚;于洋;张文栋;李朋伟;郭兴军;程超群 -专利权人：太原理工大学
申请日： 2014-09-03 - 公布日： 2014-12-10 - 主分类号： H01H59/00 文献下载
摘要：本发明提出了一种静电斥力和引力混合驱动的新型RFMEMS开关，是一种新型的电容式微机械开关。该开关沿传输线方向等间距的设置了三个固定电极在传输线的下方。当对上下方的固定电极同时施加工作电压时，下方的固定电极在可动桥膜周围形成了不均匀电场，产生静电斥力；上方的固定电极则产生一个静电场，处于其中的可动桥膜受到静电引力。可动桥膜在静电引力和静电斥力的共同作用下，远离下方固定电极并向上移动，最终与悬于可动桥膜上方的信号传输线接触来实现开关的接通。本发明解决了传统依靠静电引力工作时发生的电荷积累的问题，而且也一定程度上解决了依靠静电斥力工作时的高电压问题，在提高开关的可靠性的同时增强了开关的实用性。
基于静电斥力引力混合驱动射频 mems 开关

[发明专利]一种基于界面张力梯度-静电引力复合制备金属纳米颗粒自组装层的方法及其应用-CN202310246501.7在审
发明人：汪家道;李轩;马原;余郭煦;翁鼎;陈磊 -专利权人：清华大学
申请日： 2023-03-10 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： B22F1/145 文献下载
摘要：本发明属于微纳米材料制备技术领域，具体涉及纳米颗粒组装技术领域，更具体涉及一种基于界面张力梯度‑静电引力复合制备金属纳米颗粒自组装层的方法及其应用。本发明提供的一种基于界面张力梯度‑静电引力复合制备金属纳米颗粒自组装层的方法，包括如下步骤：(1)得到改性纳米颗粒分散液和得到改性基底；(2)将所述改性基底插入所述改性纳米颗粒分散液中进行自组装反应，即得本发明所述方法借助于界面张力梯度‑静电引力两者的协同作用使改性纳米颗粒能够快速在改性基底高速自组装，可以提高自组装过程的效率，完成高速自组装过程，形成较大面积的自组装层，同时形成的纳米自组装层的缺陷较少
一种基于界面张力梯度静电引力复合制备金属纳米颗粒组装方法及其应用

[发明专利]电磁驱动的微电子机械开关-CN201810782392.X有效
发明人： C·F·李;P·J·布雷纳恩 -专利权人：亚德诺半导体集团
申请日： 2018-07-17 - 公布日： 2021-02-09 - 主分类号： H01H59/00 文献下载
摘要：微机电开关使用静电引力将梁朝着触点拉开，并且电磁斥力拉开，从而使触点脱离并排斥梁。静电引力由栅极电极产生。电磁排斥产生于梁与位于与触点相同侧的磁性线圈之间。
电磁驱动微电子机械开关

[发明专利]一种易于释放晶片的静电吸盘结构及方法-CN201010222235.7有效
发明人：凯文·皮尔斯 -专利权人：中微半导体设备(上海)有限公司
申请日： 2010-07-08 - 公布日： 2010-12-15 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明涉及一种易于释放晶片的静电吸盘，包含基座和设置在基座顶部的介电层；介电层上放置有晶片，在介电层与晶片之间产生有吸持固定晶片的静电引力；其特征在于，介电层中设置有提升介电层温度的若干加热体，来减小介电层与晶片之间的静电引力将介电层分区并分别嵌设不同钨丝结构的加热体，使钨丝分别与电源电流相同或不相同的直流电源连接后发热，能够使介电层和晶片的表面温度迅速提高，在不增加散热时间的情况下，有效减小介电层和晶片间的静电引力，帮助晶片快速地解吸释放
一种易于释放晶片静电吸盘结构方法

[发明专利]基于静电引力的气力集中输送式布种系统及分种作业方法-CN202110935273.5有效
发明人：李青龙;孙宜田;闫鹏;冯显英;孙永佳 -专利权人：山东省农业机械科学研究院;山东大学
申请日： 2021-08-16 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： A01C7/08 文献下载
摘要：本发明提供了一种基于静电引力的气力集中输送式布种系统及分种作业方法，实时检测各行播种量及送种力度，实时调节布种系统，提高各行排种一致性，精准控制播种量，进而提高播种质量。基于静电引力的气力集中输送式布种系统包括机架、种箱、分种装置、排种装置和气力集中输送装置；排种装置包括排种轮、排种电机和排种盒，排种盒位于落种口下方，排种轮位于排种盒内，且排种轮由排种电机驱动；气力集中输送装置包括风机和输送管；分种装置包括分种器，分种器内腔顶端有突起，分种器下方连接多个导种管；分种量调整装置包括静电发生器和引力板，引力板位于输送管靠近上端内部，每块引力板外部装有静电发生器。
基于静电引力气力集中输送种系作业方法

[发明专利]静电保持装置-CN03822857.2有效
发明人：傅宝莱 -专利权人：筑波精工株式会社
申请日： 2003-09-25 - 公布日： 2005-10-19 - 主分类号： H02N13/00 文献下载
摘要：本发明是有关于一种静电保持装置，一种静电保持装置(100)，以被绝缘材料(102)覆盖的多个电极组成的电极群(103)作为保持面，向该电极群(103)施加所定的电压，通过静电力对保持对象物(104)进行接触式或者非接触上浮式保持该发明提供的静电保持装置在任何使用情况下不会降低静电引力，还可提供一种静电镊子，即使是手工作业的情况下，也不会降低静电引力。
静电保持装置

[发明专利]静电卡盘系统、成膜装置、吸附方法、成膜方法及电子设备的制造方法-CN201910369383.2在审
发明人：柏仓一史;石井博 -专利权人：佳能特机株式会社
申请日： 2019-05-06 - 公布日： 2020-05-08 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明提供一种静电卡盘系统、成膜装置、吸附方法、成膜方法及电子设备的制造方法，所述静电卡盘系统用于吸附被吸附体，其特征在于，包括设有至少一个切口部的静电卡盘板部，所述静电卡盘板部具有与所述切口部相邻的第一区域和比所述第一区域远离所述切口部配置的第二区域，所述静电卡盘板部的所述第一区域处的对于所述被吸附体的每单位面积的静电引力大于所述静电卡盘板部的所述第二区域处的对于所述被吸附体的每单位面积的静电引力。
静电卡盘系统装置吸附方法电子设备制造

[发明专利]惯性传感器、电子设备以及移动体-CN202010042054.X有效
发明人：泷泽照夫 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2020-01-15 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： G01C19/5747 文献下载
摘要：轴的方向上重叠并具备可动检测电极的检测可动体；支撑所述检测可动体的检测弹簧；使检测可动体相对于基板在沿X轴的方向上驱动的驱动部；固定于基板并与可动检测电极对置的固定检测电极；对检测可动体施加具有与沿X轴的方向不同的第一方向分量的静电引力的第一补偿电极；以及对检测可动体施加具有与第一方向分量反方向的第二方向分量的静电引力的第二补偿电极。并且，第一补偿电极和第二补偿电极中的一方具有调整静电引力的大小的调整部。
惯性传感器电子设备以及移动

[发明专利]控制晶片直流自偏压及补偿直流电极与晶片间的静电引力的方法和装置-CN200610171544.X无效
发明人：赵祎 -专利权人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请日： 2006-12-30 - 公布日： 2008-07-02 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种控制晶片直流自偏压的方法和装置及补偿直流电极与晶片间的静电引力的方法和装置。通过检测一个能够表征晶片直流自偏压大小的参量来间接获得直流自偏压的值，然后将该值经过控制或转换环节分别用于对射频电源以及直流电源公共参考端的控制，以达到稳定控制晶片上的直流自偏压和补偿由该直流自偏压造成的晶片与直流电极间静电引力不平衡因此，本发明的实现一方面能够稳定地控制晶片上的直流自偏压，获得良好的刻蚀速率和沉积速率等工艺参数；另一方面可以自动地对由晶体自偏压造成的两个直流电极与晶片间的静电引力不平衡进行补偿，使静电卡盘能够更好的吸附晶片
控制晶片直流偏压补偿电极静电引力方法装置

[发明专利]静电卡盘部件的自动原地更换结构-CN202110589644.9在审
发明人：林大辅;川端淳史 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2021-05-28 - 公布日： 2021-12-07 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明涉及一种静电卡盘部件的自动原地更换结构，其中基板支撑件包括：基台；以及静电卡盘，静电卡盘的上部与下部可分离，下部保持在基台上，上部能够原地更换，其中：静电卡盘的上部包括顶部陶瓷板，顶部陶瓷板具有：第一电极，通过响应于施加到第一电极的第一电压而产生的第一静电引力，可控制地将晶片保持在顶部陶瓷板的上表面，以及金属层，设置在第一电极和静电卡盘的底部的上表面之间，并且静电卡盘的底部包括第二电极，第二电极通过响应于施加到第二电极与金属层之一的第二电压而产生的第二静电引力
静电卡盘部件自动原地更换结构

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