专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]用于电压和/或电流感测器件的阻抗匹配元件-CN201510364088.X在审
  • B·谢夫奇克;P·维里希克;R·贾沃拉 - ABB技术股份公司
  • 2015-05-15 - 2015-11-25 - G01R15/00
  • 本发明公开涉及用于电压和/或电流感测器件的阻抗匹配元件。根据权利要求1的前序,本发明涉及对阻抗匹配元件的建议,该阻抗匹配元件能用于在中压系统中使用的电压和/或电流感测或指示器件,以便与常规感测器件相比改善输出信号的信号完整性。为了提高感测精度和产生更高的对干扰和阻抗失配的输出信号抵抗力,本发明在于电场传感器和/或磁场传感器连接到阻抗匹配元件,该阻抗匹配元件允许连接到独立的模拟测量器件并从能量采集器获得电力,从而给阻抗匹配元件提供稳定的电力供应,该阻抗匹配元件是阻抗匹配电子板的不可缺少的一部分。
  • 用于电压流感器件阻抗匹配元件
  • [实用新型]步进电机控制电路、电机控制器和车辆-CN201720439228.X有效
  • 朱书阳 - 宝沃汽车(中国)有限公司
  • 2017-04-24 - 2017-12-15 - H02P8/00
  • 本实用新型公开了步进电机控制电路、电机控制器和车辆,该步进电机控制电路包括电源;用于驱动步进电机的电机驱动芯片;阻抗匹配电路,所述阻抗匹配电路位于所述电源和所述电机驱动芯片之间,所述阻抗匹配电路包括多个阻抗互不相同的阻抗匹配电路支路,以根据所述电源的电压选择性地导通所述多个阻抗匹配电路支路中的至少一个阻抗匹配电路支路,以实现所述电源和所述电机驱动芯片之间的电压匹配。本实用新型的步进电机控制系统如下优点用新型的阻抗匹配电路代替相关技术中的BUCK电路进行电压匹配,极大地降低硬件成本。
  • 步进电机控制电路控制器车辆
  • [发明专利]获取方法、阻抗匹配器及其方法和半导体工艺设备-CN202310744728.4在审
  • 卫晶;韦刚;华跃平 - 北京北方华创微电子装备有限公司
  • 2020-10-13 - 2023-09-19 - H01J37/32
  • 本发明实施例提供一种用于半导体工艺设备阻抗匹配的最优匹配路径的获取方法、应用于半导体工艺设备的阻抗匹配方法、阻抗匹配器和半导体工艺设备。该阻抗匹配方法包括:在工艺开始时,将阻抗匹配器的可调元件的参数值调节为预设的初始值;当射频电源开启时,按照预先存储的与工艺对应的最优匹配路径,调节可调元件的参数值;最优匹配路径包括预设匹配时段内的不同时刻对应的可调元件的参数值;在到达最优匹配路径的终点时刻之后,采用自动匹配算法调节可调元件的参数值,直至达到阻抗匹配。本发明实施例提供的应用于半导体工艺设备的阻抗匹配方法、阻抗匹配器和半导体工艺设备,可以提高工艺的可重复性和稳定性,从而可以提高工艺结果的一致性。
  • 获取方法阻抗配器及其半导体工艺设备
  • [发明专利]阻抗匹配系统、阻抗匹配方法及半导体加工设备-CN201610169506.4有效
  • 卫晶;成晓阳;李兴存;韦刚 - 北京北方华创微电子装备有限公司
  • 2016-03-23 - 2019-02-19 - H01J37/32
  • 本发明提供了一种阻抗匹配系统及方法。本发明提供的阻抗匹配系统包括阻抗匹配器,分别与连续波射频电源和反应腔室相连,用于自动对连续波射频电源输出阻抗和反应腔室的输入阻抗进行阻抗匹配;选择开关和负载电路,选择开关用于使连续波射频电源选择性地与反应腔室或负载电路相连;控制单元,用于按照预设时序控制选择开关在与反应腔室相连和与负载电路相连之间切换,以通过阻抗匹配器将射频电源的连续波输出转换成脉冲输出后加载至反应腔室。本发明提供的阻抗匹配系统及方法,不仅不需要昂贵的具有脉冲模式功能的射频电源,从而降低成本,还能够在脉冲模式下阻抗匹配器自动进行阻抗匹配,有效改善在脉冲模式下的匹配不稳定和不重复的现象。
  • 阻抗匹配系统方法半导体加工设备
  • [发明专利]一种半导体处理装置-CN201610264154.0有效
  • 师帅涛 - 北京北方华创微电子装备有限公司
  • 2016-04-26 - 2019-10-29 - H01J37/32
  • 该半导体处理装置包括反应腔、下电极、射频电源和阻抗匹配器,射频电源通过阻抗匹配器连接至位于反应腔内的下电极,还包括相位调节元件,相位调节元件串联于射频电源和阻抗匹配器之间,用于调节阻抗匹配器的输入阻抗,使其与射频电源的输出阻抗匹配,且相位调节元件的特征阻抗等于射频电源的输出阻抗。该半导体处理装置能将整个半导体处理装置中等离子体阻抗的变化调整为最小,从而使整个半导体处理装置的增益更加稳定,阻抗匹配器对反应腔内等离子体阻抗和射频电源输出阻抗匹配更加快速准确,进而确保了半导体处理工艺结果
  • 一种半导体处理装置
  • [发明专利]阻抗调整方法、射频电路及射频电源装置-CN202111662234.9在审
  • 梁永生;雷晓兵;丁毅 - 深圳半岛医疗有限公司
  • 2021-12-30 - 2022-05-10 - H03H7/38
  • 本发明公开一种阻抗调整方法、射频电路和射频电源装置,所述射频电源装置用于向负载输出射频信号,所述射频电源装置包括阻抗检测模块和阻抗匹配模块,所述阻抗调整方法包括以下步骤:获取射频信号的输出功率和反射功率,根据所述输出功率和反射功率确定负载的反射系数;当反射系数在预设反射系数区间外时,获取阻抗检测模块检测到的电压值,并根据阻抗检测模块检测到的电压值和阻抗预设表调整阻抗匹配模块的阻抗值,以将所述反射系数调整至预设反射系数区间内本发明在阻抗匹配模块的阻抗与负载阻抗匹配时实时调整阻抗匹配模块的阻抗,以使阻抗匹配模块与负载阻抗匹配,提高射频电源装置的输出效率,减少能量耗费。
  • 阻抗调整方法射频电路电源装置
  • [发明专利]无线充电系统的阻抗匹配装置及无线充电系统-CN202010498532.8在审
  • 刘媛媛;赵振荣;张睿 - 无锡科技职业学院
  • 2020-06-04 - 2020-09-11 - H02J50/12
  • 本发明提供了一种无线充电系统的阻抗匹配装置及无线充电系统,该阻抗匹配装置包括:与无线充电系统的发送端通信连接的谐振感应耦合电路,谐振感应耦合电路用于在发生谐振时向阻抗匹配电路输出最优负载阻抗RL‑opt,最优负载阻抗RL‑opt与谐振感应耦合电路的耦合系数k近似呈线性关系;以及,与谐振感应耦合电路通信连接且与无线充电系统的接收端通信连接的阻抗匹配电路,阻抗匹配电路基于与最优负载阻抗RL‑opt匹配关系对输出的负载电阻进行调节;其中,阻抗匹配电路由第一可调电容、第二可调电容和可调电感构成。本发明解决了现有技术中的阻抗匹配范围比较小的问题。
  • 无线充电系统阻抗匹配装置
  • [发明专利]阻抗匹配装置及半导体加工设备-CN201711012060.5有效
  • 王东 - 北京北方华创微电子装备有限公司
  • 2017-10-26 - 2022-11-25 - H03H11/28
  • 本发明提供了一种阻抗匹配装置,存储单元预先存储多个阻抗可调单元中开关的多种组合状态和每种对应的阻抗参数;控制器根据传感器检测到的信号计算当前阻抗匹配装置的输入阻抗,并在存储单元查询与当前开关组合状态对应的阻抗参数,同时基于输入阻抗阻抗参数计算当前腔室阻抗;根据当前阻抗匹配装置的输入阻抗阻抗参数和腔室阻抗计算达到阻抗匹配时需要的阻抗参数,并在存储单元中查询与该阻抗参数对应的开关组合状态,且基于开关组合状态控制开关驱动器来控制开关的打开或关闭本发明还提供一种具有上述阻抗匹配装置的半导体加工设备,能够快速地完成阻抗匹配,且可获得腔室的阻抗
  • 阻抗匹配装置半导体加工设备
  • [发明专利]一种同侧馈电的全向双圆极化天线-CN201610634955.1有效
  • 陈胡冠申;耿军平;梁仙灵;金荣洪 - 上海交通大学
  • 2016-08-04 - 2019-10-08 - H01Q1/36
  • 本发明提供了一种同侧馈电的全向双圆极化天线,包括:辐射结构、类同轴阻抗匹配结构、射频激励转换T型连接结构,所述类同轴阻抗匹配结构分为上类同轴阻抗匹配结构和下类同轴阻抗匹配结构,所述辐射结构的上、下端分别连接上类同轴阻抗匹配结构的下端和下类同轴阻抗匹配结构的上端,上类同轴阻抗匹配结构的上端用金属圆片封闭,下类同轴阻抗匹配结构的下端连接射频激励转换T型连接结构,射频激励转换T型连接结构的接口能够直接采用SMA接头馈线进行射频激励。
  • 一种馈电全向极化天线
  • [发明专利]一种射频识别标签天线阻抗匹配连接装置-CN201710418022.3有效
  • 邢荣欣;王文峰;阚劲松;王酣;赵昭;王壮 - 中国电子技术标准化研究院
  • 2017-06-06 - 2023-10-03 - H01Q1/50
  • 本发明实施例提出了一种射频识别标签天线阻抗匹配连接装置,所述装置包括平衡传输线馈电引出结构、阻抗匹配单元和平衡/不平衡转换结构,所述平衡传输线馈电引出结构的一端与待测射频识别标签天线连接,另一端与所述阻抗匹配单元的一端连接,所述阻抗匹配单元的另一端通过所述平衡/不平衡转换结构与天线测量系统连接,以实现所述待测射频识别标签天线与所述天线测量系统的阻抗匹配,本发明实施例提供的射频识别标签天线阻抗匹配连接装置,通过在待测试射频识别标签天线与天线测量系统之间加入阻抗匹配单元,使得射频识别标签天线可以与现有的天线测量系统实现阻抗匹配,进而能对射频识别标签天线的性能进行准确测量和评价。
  • 一种射频识别标签天线阻抗匹配连接装置

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