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[发明专利]一种柔性氧化镓基日盲紫外光电探测器及其制备方法-CN201710012296.2在审
发明人：郑清洪;陈礼辉;欧阳新华;黄六莲;杨海洋 -专利权人：福建农林大学
申请日： 2017-01-09 - 公布日： 2017-05-24 - 主分类号： H01L31/09 文献下载
摘要：本发明公开一种柔性氧化镓基日盲紫外光电探测器及其制备方法，具体是指利用气相沉积法制备氧化镓微米带材料，将其作为日盲紫外光的光敏材料，将氧化镓微米带材料转移到柔性衬底上，再结合掩模和真空镀膜方法在氧化镓微米带的两端制备金属电极，最终制备获得柔性氧化镓基日盲紫外光电探测器。本发明首次利用柔性的氧化镓微米带材料结合柔性衬底制备出柔性氧化镓基日盲紫外光电探测器，该器件具有针对日盲紫外光的特征响应和柔性可弯曲的特点。柔性探测器件具有重复弯曲可恢复性，可以应用于可穿戴探测设备、弯曲屏交互设备、仿生组织等领域；可以大幅提高日盲光电探测系统的便携性、设置及设计的自由度。
一种柔性氧化镓基日盲紫外光电探测器及其制备方法

[发明专利]氧化镓基日盲紫外光电探测器-CN202111404576.0在审
发明人：刘宁涛;张文瑞;叶继春 -专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所
申请日： 2021-11-24 - 公布日： 2022-04-15 - 主分类号： H01L31/108 文献下载
摘要：本发明涉及一种氧化镓基日盲紫外光电探测器，包括依次层叠设置的第一电极层、铁电层、氧化镓层和第二电极层，其中，第一电极层与铁电层形成欧姆接触。本发明中，铁电层自发极化形成的局域场能够用于耗尽氧化镓层的内部缺陷，调控氧化镓层的能带结构及界面耗尽区宽度，而存在于氧化镓层中的光生电子空穴对在耗尽区及外电场的作用下会被加速，由此提高了氧化镓基日盲紫外光电探测器光生载流子的浓度和分离效率，同时，铁电层的剩余极化能够调控氧化镓层的内部及界面缺陷的分布。因此，本发明的氧化镓基日盲紫外光电探测器的暗电流低、光暗电流比高，进而使得氧化镓基日盲紫外光电探测器具有低功耗性、高可靠性和高灵敏性等特点。
氧化镓基日盲紫外光电探测器

[发明专利]一种铝镓氮基日盲紫外探测器及其制备方法-CN201710148802.0在审
发明人：孙月静 -专利权人：孙月静
申请日： 2017-03-14 - 公布日： 2018-09-25 - 主分类号： H01L31/101 文献下载
摘要：本发明公开了紫外探测器技术领域的一种铝镓氮基日盲紫外探测器，包括衬底，所述衬底的顶部设置有缓冲层，所述缓冲层的顶部设置有吸收层，所述吸收层的顶部设置有电极，所述衬底采用蓝宝石材料制成，该铝镓氮基日盲紫外探测器的制备方法包括以下步骤：S1：清洁衬底；S2：制备缓冲层；S3：制备吸收层；S4：冲洗；S5：制备沉积层；S6：蚀刻；S7：制备电极；S8：组合、安装，该发明提出的一种铝镓氮基日盲紫外探测器及其制备方法，工艺流程简单，成本低廉，能够实现日盲探测。
制备紫外探测器日盲铝镓氮衬底顶部设置缓冲层吸收层电极蚀刻蓝宝石材料工艺流程沉积层冲洗探测清洁

[发明专利]一种铝镓氮基日盲紫外探测器及其制备方法-CN201710301067.2在审
发明人：王书昶;张惠国;况亚伟;郭文华;冯金福 -专利权人：常熟理工学院
申请日： 2017-05-02 - 公布日： 2017-07-18 - 主分类号： H01L31/0352 文献下载
摘要：本发明公开了一种铝镓氮基日盲紫外探测器，包括由下至上依次设置的蓝宝石衬底、AlN成核层、Alx1Ga1‑x1N缓冲层、n型Alx2Ga1‑x2N层、非掺杂i型Zny1Mg1‑y1O吸收层、n型ZnO/Zny2Mg1本发明还公开了铝镓氮基日盲紫外探测器的制备方法。该铝镓氮基日盲紫外探测器可提高日盲紫外探测器雪崩倍增因子与探测器的响应度。
一种铝镓氮基日盲紫外探测器及其制备方法

[发明专利]一种硅基非晶氧化镓薄膜日盲光电晶体管及其制造方法-CN201811120817.7在审
发明人：谷雪 -专利权人：北京镓族科技有限公司
申请日： 2018-09-26 - 公布日： 2019-01-22 - 主分类号： H01L31/113 文献下载
摘要：本发明提供了一种硅基非晶氧化镓薄膜日盲光电晶体管及其制造方法。所述的光电晶体管包括依次叠置的底电极、硅基衬底、氧化镓薄膜和上电极。其中硅基衬底为具有二氧化硅层的硅基衬底，氧化镓薄膜为室温生长的非晶氧化镓薄膜。本发明可采用商业化的制备方法磁控溅射生长薄膜，工艺可控性强、容易操作，制作成本低。本发明制得的氧化镓薄膜表面致密、厚度稳定均一，适于大面积制备、且复性好。本发明制得的光电晶体管响应度高、紫外可见抑制比高、制造工艺简单，且所用材料容易获得，在日盲紫外探测领域具有潜在的应用前景。
氧化镓薄膜光电晶体管硅基衬硅基非日盲制备致密二氧化硅层工艺可控性薄膜表面磁控溅射厚度稳定制造工艺紫外可见紫外探测底电极潜在的响应度抑制比电极生长叠置非晶复性均一制造制作应用

[发明专利]一种单晶氧化镓基日盲紫外光电探测器及其制备方法与应用-CN202110738948.7在审
发明人：陈朗;叶茂;王琪祚;张立冬;李晓文;徐泽东 -专利权人：南方科技大学
申请日： 2021-06-30 - 公布日： 2021-09-28 - 主分类号： H01L31/101 文献下载
摘要：本发明提供了一种单晶氧化镓基日盲紫外光电探测器及其制备方法与应用，所述制备方法包括以下步骤：(1)采用脉冲激光沉积法在衬底的表面制备单晶氧化镓薄膜，得到薄膜样品；(2)将步骤(1)所得薄膜样品进行退火处理；(3)在步骤(2)所得薄膜样品的薄膜一侧表面制备叉指电极，得到单晶氧化镓基日盲紫外光电探测器。所述光电探测器包括依次设置的衬底、单晶氧化镓薄膜和叉指电极。本发明提供的方法降低了制备难度与生产成本的同时实现了氧化镓晶相与形貌可控，提升了光电检测器的灵敏度和响应速度。
一种氧化镓基日盲紫外光电探测器及其制备方法应用

[发明专利]一种等离子处理氧化镓基日盲紫外探测器及其制备方法-CN202210221893.7在审
发明人：赵天丽;阮迪清;胡海争;邢志文;钱松程;郭道友;王顺利 -专利权人：浙江理工大学
申请日： 2022-03-09 - 公布日： 2022-05-27 - 主分类号： H01L31/0216 文献下载
摘要：本发明公开了一种等离子处理氧化镓基日盲紫外探测器及其制备方法包括衬底、氧化镓薄膜、等离子处理界面层和电极；所述衬底为蓝宝石，所述等离子体处理界面层是采用等离子体对所述氧化镓薄膜进行表面处理后形成，所述等离子体处理界面层上设置有金属的电极，通过等离子体进行薄膜的表面处理，有效降低氧化镓薄膜中的空位缺陷，提高了界面质量，极大地提高紫外探测器的光电性能。本发明的优点：所制备的氧化镓基紫外探测器性能稳定，可实现对波长小于280nm的日盲紫外光的有效探测，具有高灵敏度和响应速度，暗电流小等诸多优势，特别合适在高压变电系统、高压输电线路等各种恶劣环境下的电晕检测应用
一种等离子处理氧化镓基日盲紫外探测器及其制备方法

[发明专利]异质结日盲探测器及其制备方法-CN202211629822.7有效
发明人：刘桂芝;何云;马丙乾;罗卫国 -专利权人：无锡麟力科技有限公司
申请日： 2022-12-19 - 公布日： 2023-03-17 - 主分类号： H01L31/0336 文献下载
摘要：本发明提出一种异质结日盲探测器及其制备方法，异质结日盲探测器依次包括：基板、第一金属电极层、氧化镓层、氧化镓纳米片和单层石墨烯纳米片混合层、单层石墨烯层及第二金属电极层；混合层由氧化镓纳米片和填充于相邻氧化镓纳米片间隙中的单层石墨烯纳米片组成，其中单层石墨烯纳米片占混合层体积比的范围为1%~5%，氧化镓纳米片为单晶β‑氧化镓纳米片。本发明的异质结日盲探测器具有高响应度、可自驱动和低背景噪声的优异性能。
异质结日盲探测器及其制备方法

[发明专利]一种有源区全耗尽的pin异质结日盲紫外高速光电探测器及其制备方法-CN202211246453.3在审
发明人：张洪良;陈文澄;徐翔宇;李明杭;程其进 -专利权人：厦门大学
申请日： 2022-10-12 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： H01L31/105 文献下载
摘要：本发明公开了一种有源区全耗尽的pin异质结日盲紫外高速光电探测器及其制备方法，涉及日盲紫外光电探测器领域。本发明是在p型氮化镓衬底上先沉积一层本征氧化镓作为i层，然后再沉积一层硅掺杂的n型氧化镓层构成pin异质结。通过合理调控掺杂浓度和i型氧化镓层的厚度，使得作为主要吸光层的i型氧化镓层全耗尽。随后在pin异质结上分别制备p型氮化镓和n型氧化镓的欧姆接触，即可获得基于氧化镓的pin异质结光电探测器。对比常规的氧化镓基pn异质结光电探测器，本发明中制备的pin异质结光电探测器具有优异的器件性能，包括更短的响应时间、更大的响应度、更大的光暗电流比、良好的瞬态响应特性和稳定性。
一种有源耗尽 pin 异质结日盲紫外高速光电探测器及其制备方法

[发明专利]一种基于氧化镓日盲探测器的紫外光通讯系统-CN202210434645.0在审
发明人：王顺利;马艳秀;卢凯翔;赵天丽;邢志文;钱松程 -专利权人：浙江理工大学
申请日： 2022-04-24 - 公布日： 2022-08-05 - 主分类号： H04B10/112 文献下载
摘要：本发明涉及光通信技术领域，具体涉及到一种基于氧化镓日盲探测器的紫外光通讯系统，一种基于氧化镓日盲探测器的紫外光通讯系统，包括发射端、通信信道和接收端，发射端由信源、调制系统、驱动电路和紫外光源组成；通信信道是以日盲波段(200nm‑280nm)的紫外光和大气为传输媒介进行信息传输的；接收端由氧化镓日盲紫外探测器、解调系统和信宿组成，氧化镓日盲紫外探测器可以接收254nm波段的日盲区紫外光，且探测器内部有数据接收、处理等模块
一种基于氧化镓日盲探测器紫外光通讯系统

[发明专利]一种日盲紫外光电探测器及其制备方法-CN202310725365.X在审
发明人：张金中;周鑫;董孝宇;黄陆军;胡志高;曾和平;褚君浩 -专利权人：华东师范大学重庆研究院
申请日： 2023-06-19 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明提供了一种日盲紫外光电探测器及其制备方法。方法包括以下步骤：在硬质衬底表面沉积氧化镓薄膜；将沉积的氧化镓薄膜转移至柔性衬底表面；在氧化镓薄膜表面形成硒化钨层；对硒化钨层进行图案化处理，并在氧化镓薄膜表面且位于硒化钨层的两侧形成电极，得到日盲紫外光电探测器本发明所制备的日盲紫外光电探测器具有快速紫外响应，能够在无外偏置电压下自供电工作的优点。
一种紫外光电探测器及其制备方法

[发明专利]一种氧化镓日盲紫外探测器及其制备方法-CN201610344781.5在审
发明人：陈星;刘可为;李炳辉;张振中;王潇;杨佳霖;申德振 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2016-05-23 - 公布日： 2016-09-07 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本申请公开了一种氧化镓日盲紫外探测器及其制备方法，其中，氧化镓日盲紫外探测器的制备方法包括：将融化的金属镓旋涂于衬底表面；将表面涂覆有金属镓的衬底在预设温度条件焙烧第一预设时间，预设温度的取值范围为800‑1100℃，包括端点值，第一预设时间的取值范围为10‑200min，包括端点值；冷却衬底以及焙烧所得产物，在衬底表面形成金属镓层，以及位于金属镓层背离衬底一侧的β‑氧化镓纳米线阵列薄膜；在β‑氧化镓纳米线阵列薄膜背离金属镓层一侧表面形成金属层；引出金属层以及金属镓层分别作为第一探测电极和第二探测电极。整个制备过程的制备工艺简单、所需成本较低，且制备所得的氧化镓日盲紫外探测器的响应速度较快。
一种氧化镓日盲紫外探测器及其制备方法

[发明专利]一种基于氧化镓纳米柱阵列的光电化学型日盲紫外探测器-CN201810997396.X有效
发明人：郭道友 -专利权人：北京镓族科技有限公司
申请日： 2018-08-29 - 公布日： 2020-12-29 - 主分类号： H01L31/032 文献下载
摘要：本发明提供一种基于氧化镓纳米柱阵列的光电化学型日盲紫外探测器，包括生长在衬底上的氧化镓纳米柱阵列光阳极，所述的氧化镓纳米柱阵列是在透明导电衬底上生长的α相或β相氧化镓纳米柱阵列。本发明还提出所述光电化学型日盲紫外探测器的制备方法。本发明提出的光电化学型日盲紫外探测器，其中的氧化镓纳米柱阵列沿着透明导电电极衬底定向生长，其形貌、尺寸均匀，且具有较大的比表面积，与电解液形成的界面接触多，有利于光生载流子的分离和传输。本发明所制备的氧化镓纳米柱阵列光电化学型日盲紫外探测器在一定功率的紫外光照射下，无需外加电源偏压即可工作，可以减少能源的消耗。
一种基于氧化纳米阵列光电化学型日盲紫外探测器

[发明专利]一种氧化镓日盲紫外探测器-CN202110771147.0在审
发明人：刘宁涛;张文瑞;叶继春 -专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所
申请日： 2021-07-08 - 公布日： 2021-11-16 - 主分类号： H01L31/103 文献下载
摘要：本发明提供一种氧化镓日盲紫外探测器，包括衬底层、氧化镓层、钝化层、铁电层和电极层，所述氧化镓层设置在所述衬底层的表面，所述钝化层设置在所述氧化镓层的表面，所述铁电层设置在所述钝化层的表面，所述铁电层覆盖部分所述钝化层，所述电极层覆盖于所述氧化镓层之上。本发明设计了一种新型氧化镓日盲紫外探测器，通过引入铁电层，利用铁电材料自发极化形成的局域场，调控铁电层覆盖下氧化镓层的能带结构，由此实现氧化镓层同质PN/NPN/PNP结的构建，提高探测器的光电增益和光生载流子的分离效率，从而获得低功耗、高可靠性、高灵敏度的日盲紫外光电探测器。
一种氧化镓日盲紫外探测器

[发明专利]一种氧化镓日盲光电探测器及其制备方法-CN202010571215.4有效
发明人：赵晓龙;谭鹏举;徐光伟;侯小虎;龙世兵 -专利权人：中国科学技术大学
申请日： 2020-06-19 - 公布日： 2022-05-17 - 主分类号： H01L31/0224 文献下载
摘要：本公开提供了一种氧化镓日盲光电探测器，包括：衬底(100)；多层氧化镓(200)，多层氧化镓(200)堆叠设于衬底(100)的表面；氧化镓(200)与衬底(100)之间、两层氧化镓(200)之间设有纳米厚度电极层奇数层纳米厚度电极层(300)嵌入氧化镓内部的同时，延伸至氧化镓外部并相互重叠；偶数层纳米厚度电极层(300)嵌入氧化镓内部的同时，延伸至氧化镓外部另外一侧并相互重叠。另一方面，本公开还提供了一种氧化镓日盲光电探测器的制备方法。
一种氧化镓日盲光电探测器及其制备方法

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