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- [实用新型]高可靠厚膜混合集成电路键合系统-CN200920125720.5有效
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苏贵东;杨成刚;周正钟;殷坤文
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贵州振华风光半导体有限公司
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2009-09-22
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2010-06-02
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H01L21/60
- 本实用新型公开了高可靠厚膜混合集成电路键合系统,它是间接键合的系统,包括陶瓷衬底(1)、管脚(2)、芯片(3)和厚膜基片(4),厚膜基片(4)由4个金导带(5)和1个阻带(6)构成,芯片(3)固定在第2金导带(5)之上;当管脚(2)端面镀镍时,第1金导带(5)上有镍或铝键合区(7),芯片(3)上有铝键合区(8),第4金导带(5)上有多层过渡性薄膜(9),各个键合区用硅铝丝(10)键合,管脚(2)与基片之间用硅铝丝(10)键合;当管脚(2)端面镀金时,第1金导带(5)上有由金键合区(11)和镍或铝键合区(7)所形成双键合区,芯片(3)上有铝键合区(8),第3金导带(5)上有多层过渡性薄膜(9),各键合区用硅铝丝(10)键合,管脚(2)与基片用金丝(12)键合。
- 可靠混合集成电路系统
- [实用新型]高可靠同质键合系统多芯片组件-CN201220683229.6有效
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杨成刚;苏贵东
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贵州振华风光半导体有限公司
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2012-12-12
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2013-06-19
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H01L25/00
- 本实用新型公开了高可靠同质键合系统多芯片组件,它具有多芯片组件的底座、管脚、多层陶瓷基片、片式元件、半导体芯片、阻带,片式元件、半导体芯片、阻带均集成在多层陶瓷基片的表面;不同的是,多层陶瓷基片的表面还集成有平整的金导带/金键合区,该键合区表面有一层淀积的铝薄膜、或镍-铬-铝或铬-铜-铝复合薄膜;多层陶瓷基片顶层表面上的所有键合区表面平整;半导体芯片的键合采用硅-铝丝键合,管脚镀镍端面与基片之间采用金丝键合。本多芯片组件的金键合区表面一次性抛光整平,同步提高了基片与管脚端面金-金键合的可靠性;改善厚膜金导带键合区与硅铝丝的键合性能,提高了多芯片组件长期充分可靠的能力和批量生产性。
- 可靠同质系统芯片组件
- [发明专利]硅金键合方法-CN200610135263.9无效
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孙道恒;吕文龙;王凌云;刘益芳;吴德志
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厦门大学
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2006-11-28
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2007-05-09
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B81C3/00
- 硅金键合方法,涉及一种硅金键合方法。提供一种可提高硅金键合晶片的键合品质,基于硅基多孔氧化铝的新型MEMS器件硅金键合方法。步骤为采用两步恒压阳极氧化法制备硅基多孔氧化铝薄膜:用电子束蒸发方法在硅片上制备一层厚度1.0~1.5μm的铝膜,一次氧化后用6wt%的磷酸和1.8wt%的铬酸混合液去除一次氧化膜,再二次氧化后用5wt%的磷酸进行扩孔处理;制备键合晶片:将2片硅片放入键合器,烘干后在N2保护下退火得键合晶片。硅金键合晶片的键合强度由1.78MPa提高到3.03MPa,晶片的键合品质得到显著提高;而晶片的断裂界面没有发生什么变化,说明基于AAO的硅金键合晶片依然遵循硅金键合晶片的断裂特性。
- 硅金键合方法
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