专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]钾钠纳米棒阵列生长操作方法及其传感器件制作方法-CN202010007281.9有效
  • 王钊;卢梦瑞;姜蕾;顾豪爽 - 湖北大学
  • 2020-01-04 - 2022-04-19 - H01L41/39
  • 本发明公开一种钾钠纳米棒阵列的图形化生长的操作方法及其自供电压力分布式传感器件的制作方法,所述传感器的制作包括:金属阻挡层的制备;钾钠纳米棒阵列的图形化生长;上电极的制备等步骤。将钛锶衬底经过清洗烘干后,在其上采用光刻溅射法制做出铬/金的金属阻挡层;采用传统水热合成工艺,用氢氧化钾、氢氧化钠,五氧化二在高温高压下水热合成钾钠纳米棒阵列;将KNN纳米棒阵列放置在旋涂仪上后旋涂覆盖一层PMMA将KNN纳米棒包裹起来,然后进行磁控溅射,溅射完后拿掉掩膜版得到所需要的基于图形化无压电纳米棒阵列的压力分布式传感器;所述传感器能够有效监测压力的大小和位置,且能够自供电。
  • 铌酸钾钠纳米阵列生长操作方法及其传感器件制作方法

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