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- [发明专利]金属高能X射线聚焦组合透镜的制作工艺-CN02148418.X无效
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乐孜纯;梁静秋
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浙江工业大学
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2002-11-29
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2004-06-16
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G21K1/00
- 本发明涉及金属高能X射线聚焦组合透镜的制作工艺。金属高能X射线聚焦组合透镜包括衬底(1)、电铸阴极薄膜(2)、金属透镜阵列(3)、空气隙(4),其制作工艺为:清洁衬底,上表面生长金属薄膜作为电铸阴极,涂覆正性光刻胶并固化,在其上涂覆SU8负性光刻胶,光刻、显影、去除暴露出的正性光刻胶,电铸,去除剩余的正性光刻胶及其上面的SU8光刻胶,刻蚀掉未被金属电铸结构覆盖的电铸阴极材料,完成金属高能X射线聚焦组合透镜的制作。具有尺寸精度高、表面粗糙度低、透镜单元中心厚度尺寸小、可制作各种几何形状的结构、有利于批量制作和集成的优点。
- 金属高能射线聚焦组合透镜制作工艺
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