专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]用于照明装置的OLED面板及其制造方法-CN201811384699.0有效
  • 金泰沃;宋泰俊 - 乐金显示有限公司
  • 2018-11-20 - 2023-07-11 - H10K50/805
  • 该用于照明装置的OLED面板可以包括:基板,具有发光区域和形成在发光区域外侧的焊盘区域;辅助布线图案,设置在基板上,辅助布线图案包括彼此电连接的多个辅助布线,每个辅助布线具有锥形横截面,锥形横截面的宽度朝向其上部逐渐变窄;第一电极,设置在设置有辅助布线图案的基板上;钝化层,设置在第一电极上,在设置有辅助布线图案区域内;OLED发光结构,设置在设置有钝化层的第一电极上;第二电极,设置在OLED发光结构上。钝化层的横截面可以对应于发光区域中的辅助布线图案的横截面。通过减小辅助布线图案上的钝化区域,该用于照明装置的OLED面板可以具有宽的发光区域。
  • 用于照明装置oled面板及其制造方法
  • [发明专利]用于生成掩模图案的方法-CN201310113919.7有效
  • 行田裕一 - 佳能株式会社
  • 2013-04-03 - 2013-10-23 - G03F1/38
  • 公开了一种用于生成掩模图案的方法。一种用于经由计算机生成要用于曝光设备的掩模图案的方法,该曝光设备通过照射掩模来在衬底上对掩模图案的图像进行曝光,该方法包括:获得要被形成在衬底上的主图案的数据以及主图案要被转印到的层的下层的图案的数据,使用所述下层的图案的数据,设置相对于主图案辅助图案的生成条件,使用该生成条件来确定辅助图案,以及生成包括主图案和所确定的辅助图案的掩模图案的数据。
  • 用于生成图案方法
  • [发明专利]阵列基板及其制备方法-CN201910430461.5有效
  • 贺超 - 武汉华星光电技术有限公司
  • 2019-05-22 - 2021-08-03 - H01L27/12
  • 本申请提供了一种阵列基板,所述阵列基板包括:多个间隔设置的遮挡层,设置于玻璃基板上;介电层,铺设于所述玻璃基板上且覆盖遮挡层,所述介电层包括图案化的介电图案,所述介电图案包括主体介电图案,和位于所述主体介电图案至少一侧的辅助介电图案本申请通过在阵列基板中增设辅助介电图案,且所述辅助介电图案的横截面积大于所述主体介电图案的横截面积,以使辅助介电图案吸收该栅极绝缘层中大部分静电,进而减轻阵列基板显示不良的现象。
  • 阵列及其制备方法
  • [发明专利]形成半导体器件微图案的方法-CN200810002751.1无效
  • 郑宇荣 - 海力士半导体有限公司
  • 2008-01-16 - 2008-11-12 - H01L21/033
  • 本发明涉及一种半导体器件微图案形成的方法。在根据本发明的一个方面的方法中,在半导体衬底上形成蚀刻目标层、第一硬掩模层和菱形绝缘图案。在包括绝缘图案的第一硬掩模层上形成第一辅助图案,其中在形成四边形的四个相邻绝缘图案的中心处形成具有与所述绝缘图案相同形状的接触孔。通过蚀刻第一辅助图案形成第二辅助图案从而暴露出绝缘图案的顶表面。除去所述暴露的绝缘图案。通过利用第二辅助图案作为蚀刻掩模的蚀刻过程来蚀刻所述第一硬掩模层以形成第一硬掩模图案。利用所述第一硬掩模图案蚀刻所述蚀刻目标层。
  • 形成半导体器件图案方法
  • [发明专利]光掩模、显示装置的制造方法-CN202210373658.1在审
  • 三好将之;一之濑敬 - HOYA株式会社
  • 2018-09-11 - 2022-06-24 - G03F1/32
  • 光掩模具有在透明基板上形成的转印用图案,转印用图案包括:主图案,其由透光部构成,直径为W1;辅助图案,其配置在所述主图案的附近,不被曝光装置析像,具备宽度d;及遮光部,其构成除了主图案辅助图案之外的区域,遮光部是在透明基板上至少形成遮光膜而成的,辅助图案隔着遮光部而包围主图案的周围,且由在透明基板上形成半透光膜而成的相移部构成,该半透光膜具有使曝光用光的代表波长的光在大致180度的范围内相移的相位特性,并且具有针对代表波长的光的透射率T,辅助图案的一部分区域的透射光量比辅助图案的其他区域的透射光量低,光掩模被实施了扩张主图案的宽度的扩张修正。
  • 光掩模显示装置制造方法
  • [发明专利]立体图案电脑刺绣制作方法-CN200610037021.6无效
  • 黄海龙 - 广州三三电脑绣艺厂
  • 2006-08-14 - 2007-02-07 - D05C7/02
  • 本发明属于一种立体图案电脑刺绣制作方法,在基布上叠合有辅助件,用刺绣线穿过基布和辅助件缝出立体图案,刺绣线密布地穿过基布和辅助件,立体图案形成后,在其表层除去刺绣线之间的连接线。本发明在基布上叠合一辅助件,用刺绣线密布的穿过基布和辅助件以缝出所需立体图案,为了使立体图案显示出工艺的精致性、艺术性,在立体图案的表层除去刺绣之间的连接线。
  • 立体图案电脑刺绣制作方法
  • [发明专利]光学接近修正方法-CN03154947.0有效
  • 刘淑慧;吴文彬 - 南亚科技股份有限公司
  • 2003-08-25 - 2005-03-09 - G03F9/00
  • 本发明提供一种对光掩膜布局图进行光学接近修正的方法,其中该光掩膜布局图至少包含一个光掩膜图案。该方法包含有下列步骤:收集预定加入该光掩膜布局图中之一辅助图案辅助图案修正偏差值,接着结合该辅助图案修正偏差值,进行基准式光学接近修正,计算出该光掩膜图案需修正的目标修正偏差值,并依照计算结果对该光掩膜图案进行修正,输出修正的光掩膜布局图,最后在该修正的光掩膜布局图中加入该辅助图案
  • 光学接近修正方法
  • [发明专利]光掩膜及半导体器件的制造方法-CN03823714.8有效
  • 南孝宜 - 富士通株式会社
  • 2003-02-27 - 2005-10-26 - G03F1/08
  • 提供一种半导体器件的制造方法,使用半色调相移掩膜(11)和莱温松相移掩膜(12)进行双重曝光处理,半色调相移掩膜(11)具备插入在栅极图案(1)与栅极图案(1)间距离大的部位而构成的可分辨线宽的辅助图案(2a)和分辨界限以下的线宽的辅助图案(2b),莱温松相移掩膜(12)具有对应于光掩膜(11)的栅极图案(1)的辅助图案(3)。这时,除掉辅助图案(2a)、(2b),仅转印栅极图案(1)。这样,在用双重曝光处理进行图案转印时,可以提高图案的共同焦点深度,实现线宽的高度均匀化,从而可制造可靠性高的半导体器件。
  • 光掩膜半导体器件制造方法
  • [发明专利]像素结构的制造方法-CN200610145212.4有效
  • 董畯豪 - 友达光电股份有限公司
  • 2006-11-17 - 2007-05-23 - H01L21/84
  • 本发明公开了一种像素结构的制造方法,其先在基板上形成栅极、扫描扫描线以及至少一第一辅助图案。接着在基板上形成闸绝缘层,覆盖住栅极以及扫描线,且露出第一辅助图案以及部分扫描线。接着形成源极、漏极、数据线、上电极以及至少一第二辅助图案,其中数据线会与露出来的第一辅助图案电性连接,且第二辅助图案会与露出来的扫描线电性连接。之后,形成保护层以覆盖住源极、漏极、数据线、第二辅助图案以及上电极。然后在保护层上形成像素电极,像素电极会与漏极以及上电极电性连接。
  • 像素结构制造方法
  • [发明专利]减少透镜像差与图案移位的光罩与方法-CN03131305.1有效
  • 吴元薰 - 南亚科技股份有限公司
  • 2003-05-12 - 2004-11-24 - G03F1/08
  • 一种可减少透镜像差与图案移位的光罩,包括一透光基底与一遮光层,遮光层设置于透光基底上,具有一数组图案区与复数个辅助图案辅助图案是设置于数组图案区内且其中各辅助图案与其上、下方的两数组图案等距,并使辅助图案的长度与数组图案的宽度相等一种可减少透镜像差与图案移位的方法,包括下列步骤:提供一半导体基底,于该半导体基底上覆盖一光阻层,借由一光罩在光阻层中形成图案,各图案与其上、下方的两数组图案等距,并使图案的长度与数组图案的宽度相等,以图案化光阻为罩幕依照本发明的光罩与方法,可使数组图案间的关键尺寸获得较佳的一致性,且能有效减少图案移位的现象。
  • 减少透镜图案移位方法
  • [发明专利]阵列基板及其制作方法-CN201610135524.0有效
  • 刘展睿;林瑜玲;单建勳;林佳桦 - 友达光电股份有限公司
  • 2016-03-10 - 2019-04-19 - H01L27/12
  • 一种阵列基板及其制作方法,阵列基板包括:一基板;一图案辅助导电层设置于基板上,包括两个蚀刻阻挡图案;一图案化半导体层设置于基板上,包括一通道区以及两个重掺杂区,通道区位于两个重掺杂区之间,各蚀刻阻挡图案于一垂直投影方向上与一个重掺杂区直接接触且重迭;一栅极介电层设置于图案化半导体层以及图案辅助导电层上;一第一图案化导电层设置于栅极介电层上,包括一栅极且栅极于垂直投影方向上与通道区对应设置。利用图案辅助导电层的蚀刻阻挡图案辅助导电图案图案化半导体层的重掺杂区对应设置,使得源极/漏极电极可通过蚀刻阻挡图案辅助导电图案而与重掺杂区形成电性连接,借此达到提升产品良率与电性均匀性等目的。
  • 阵列及其制作方法

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