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- [发明专利]一种注塑模具加工用蚀刻设备-CN202111653489.9在审
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董野;陈畅
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董野
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2021-12-31
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2022-04-12
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C23F1/08
- 本发明公开了一种注塑模具加工用蚀刻设备，包括支撑台、若干行进辊、蚀刻台以及吊装结构，所述支撑台上设置有若干行进辊，所述蚀刻台安装于支撑台上，所述吊装结构安装于蚀刻台上，所述支撑台上设置有调节式蚀刻结构，所述调节式蚀刻结构的底面设置有蚀刻液槽液位控制结构；本发明的有益效果是，该一种注塑模具加工用蚀刻设备，采用调节式蚀刻结构进行底部涂刷的方式，对吊装结构上的模具进行蚀刻，可以精准确定蚀刻的区域进行区域性的涂刷，配合回收分流组件，可以将蚀刻液进行回收处理，能够有效节省蚀刻液，同时提高作业的精度，减少物料的浪费。
- 一种注塑模具工用蚀刻设备
- [发明专利]高高宽比开口的蚀刻方法-CN01110220.9有效
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周全启
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华邦电子股份有限公司
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2001-04-02
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2002-11-06
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H01L21/3065
- 本发明是关于一种高高宽比开口的蚀刻方法,该蚀刻方法包括以具有高分子反应的电浆蚀刻条件非均向蚀刻材质层来形成开口,高分子反应会在该开口的侧壁及该开口底部形成高分子薄膜,此高分子薄膜会减缓电浆的蚀刻速率甚至发生蚀刻停止的情形,以另一电浆蚀刻条件非均向蚀刻位于开口底部的高分子薄膜至将位于该开口底部的高分子薄膜完全剥除为止,再继续以原来的电浆蚀刻条件继续非均向蚀刻此材质层至完成开口的蚀刻。本发明可以有效防止停止蚀刻的情形发生,更不会有蚀刻不干净的现象。
- 高高开口蚀刻方法
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