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- [发明专利]TFT阵列基板上多次开接触孔的制作方法-CN201610242411.0有效
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何佳新;郑立彬
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昆山龙腾光电有限公司
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2016-04-19
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2019-02-22
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H01L21/768
- 一种TFT阵列基板上多次开接触孔的制作方法，包括：在第一薄膜上形成第二薄膜，在同等蚀刻条件下，第二薄膜的蚀刻速率大于第一薄膜的蚀刻速率；在第一薄膜和第二薄膜中通过蚀刻工艺形成第一接触孔，第一接触孔贯穿第二薄膜和第一薄膜；在开设第一接触孔后，去除第一薄膜上的第二薄膜；在第一薄膜上形成导电膜，导电膜填入第一接触孔中；在第一薄膜上形成第三薄膜，第三薄膜覆盖导电膜，在同等蚀刻条件下，第三薄膜的蚀刻速率大于第一薄膜的蚀刻速率；在第三薄膜上形成第四薄膜，在同等蚀刻条件下，第四薄膜的蚀刻速率大于第三薄膜的蚀刻速率；在第四薄膜、第三薄膜和第一薄膜中通过蚀刻工艺形成第二接触孔，第二接触孔贯穿第四薄膜、第三薄膜和第一薄膜。
- tft阵列基板上多次接触制作方法
- [实用新型]薄膜电路板-CN201621344847.2有效
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赵晓斌
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深圳市恒怡多精彩科技有限公司
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2016-12-08
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2017-08-08
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H01H13/704
- 本实用新型公开了一种薄膜电路板，包括从上至下设置的上导电薄膜层、第一绝缘隔层、中导电薄膜层、第二绝缘隔层和下导电薄膜层，所述上导电薄膜层、中导电薄膜层和下导电薄膜层依次对应设置有接触电极，所述各接触电极之间留有间距，所述第一绝缘隔层对应接触电极设有第一通孔，所述第二绝缘隔层对应接触电极设有第二通孔；当使用较小的力按压上导电薄膜层时，上导电薄膜层的接触电极穿过第一通孔与中导电薄膜层的接触电极连接导通，再使用更大的力按压上导电薄膜层，中导电薄膜层的接触电极穿过第二通孔与下导电薄膜层的接触电极连接导通。
- 薄膜电路板
- [发明专利]定影装置-CN200710003285.4有效
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蔡正文;郑忠义;徐铭君;侯怡仲
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光宝科技股份有限公司
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2007-02-02
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2008-08-06
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G03G15/20
- 本发明是有关于一种定影装置，包含一发热元件、一导热薄膜、一加压元件、二设置于导热薄膜两端的薄膜调节元件，以及一滚筒；该导热薄膜呈中空管体状且两端分别松配合地套设于该二薄膜调节元件上；该加压元件穿设于导热薄膜内并与该二薄膜调节元件相接触，加压元件包括一水平的水平接触面，水平接触面与导热薄膜内表面接触；该发热元件穿设于导热薄膜内并以辐射加热方式对导热薄膜加热；该滚筒邻设于加压元件的水平接触面并通过导热薄膜与水平接触面抵接，滚筒旋动时可以带动导热薄膜转动，且导热薄膜与水平接触面抵接的部分与滚筒之间共同界定出一定影区域。
- 定影装置
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