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[发明专利]真空蒸镀掩膜、掩膜制备方法以及蒸镀图案-CN201710179451.X有效
发明人：石守磊 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2017-03-23 - 公布日： 2019-04-19 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明公开了真空蒸镀掩膜、掩膜制备方法以及蒸镀图案。该蒸镀掩膜包括：掩膜基体，所述掩膜基体具有掩膜镂空图案；以及固定件，所述固定件设置在所述掩膜基体的表面上。该蒸镀掩膜在真空蒸镀的过程中，可以与蒸镀基板之间较为紧密的贴合，进而可以缓解由于阴影效应造成的产品良率不佳的问题。
真空蒸镀掩膜制备方法以及图案

[发明专利]超薄玻璃掩膜板以及超薄玻璃掩膜板清洗方法-CN202110650730.6在审
发明人：蒋承忠 -专利权人：蒋承忠
申请日： 2021-06-10 - 公布日： 2021-08-10 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明提供了超薄玻璃掩膜板以及超薄玻璃掩膜板清洗方法，其中，超薄玻璃掩膜板包括：一掩膜板框架，其骨架合围形成若干个供掩膜安装的留空区域；若干超薄玻璃掩膜，分别可拆卸地连接于留空区域，每个超薄玻璃掩膜包括一超薄玻璃本体，基于预设蒸镀图案在超薄玻璃本体的唯一的基板区域沿厚度方向形成贯穿超薄玻璃本体的若干贯通孔，每个贯通孔的内壁与超薄玻璃本体的表面之间形成倒角，当进行蒸镀时，超薄玻璃掩膜的贯通孔供蒸镀介质通过超薄玻璃本体到达蒸镀对象本发明能够通过超薄玻璃掩膜板替代传统掩膜，超薄玻璃掩膜与掩膜板框架可迅速分离清洗，并且能对单个超薄玻璃掩膜进行替换或修补，无需张网，缩短掩膜板清洗时间，提高生产效率。
超薄玻璃掩膜板以及清洗方法

[实用新型]一种蒸镀用精密掩膜板组件-CN201721321085.9有效
发明人：周扬川;柯贤军;吴俊雄;王红英;陈聪;苏君海;李建华 -专利权人：信利（惠州）智能显示有限公司
申请日： 2017-10-13 - 公布日： 2018-06-08 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及蒸镀技术领域，具体公开了一种蒸镀用精密掩膜板组件，包括掩膜板框架和设置在掩膜板框架上的掩膜单元，所述掩膜单元包括支撑条和设置在支撑条上方的掩膜基板，所述支撑条是具有磁力的磁条，本实用新型中的支撑条不仅起到支撑作用，同时还可吸附住掩膜基板，使得在与玻璃基板贴合之前就缓解掩膜基板存在的皱褶现象，当蒸镀系统的磁力部件下降吸附时，掩膜基板可以更加紧密的与玻璃基板贴合在一起，从而避免了混色、蒸镀成膜材料厚度不均等蒸镀不良情况的发生
蒸镀掩膜基板掩膜板支撑条玻璃基板贴合本实用新型掩膜单元吸附精密成膜材料磁力部件蒸镀系统支撑作用皱褶现象磁力磁条混色缓解

[发明专利]掩膜组件及其制造方法、目标结构的制造方法、显示装置-CN202110984184.X有效
发明人：毕娜;关新兴 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2021-08-25 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： H10K71/16 文献下载
摘要：本申请公开一种掩膜组件及其制造方法、目标结构的制造方法、显示装置，属于显示技术领域。掩膜组件包括：至少一个蒸镀掩膜板。蒸镀掩膜板中具有多个蒸镀孔，该掩膜组件中的每个蒸镀孔用于在目标基板的一个目标区域中形成目标结构。该掩膜组件中的蒸镀孔的孔间距被配置为：使该掩膜组件和目标基板均处于目标环境中时，该掩膜组件中的蒸镀孔与目标基板中相应的目标区域对准，该目标环境的温度为目标温度。例如，目标结构为阴极。本申请可以保证在目标环境中采用该掩膜组件在目标基板上形成目标结构时，目标结构能够准确形成在目标基板的目标区域中，避免目标结构与目标区域发生错位。
组件及其制造方法目标结构显示装置

[实用新型]一种高精度蒸镀金属掩膜板结构-CN201621351499.1有效
发明人：周扬川;柯贤军;吴俊雄;冉应刚;苏君海;李建华 -专利权人：信利（惠州）智能显示有限公司
申请日： 2016-12-10 - 公布日： 2017-06-30 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型提供一种高精度蒸镀金属掩膜板结构，由掩膜板框架、金属掩膜基板、支撑条和遮挡条组成，所述金属掩膜基板安装在所述掩膜板框架上，所述金属掩膜基板和所述掩膜板框架之间安装所述支撑条，所述金属掩膜基板之间安装所述遮挡条，用于遮挡相邻掩膜基板之间的缝隙，所述掩膜基板上设置有蒸镀区和设置在所述蒸镀区两端的刻蚀区，本实用新型所提供的一种高精度蒸镀金属掩膜板结构具有使用方便、结构精巧、便于操作等优点，可以使得蒸镀空间区域变形均匀，从而使得蒸镀空间内的像素位移一致，不但提高了工作效率，也节约了生产和加工成本。
一种高精度镀金属掩膜板结

[发明专利]蒸镀方法、蒸镀装置和发光器件-CN201310449908.6在审
发明人：陈俊生;李成 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
申请日： 2013-09-25 - 公布日： 2014-01-01 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种蒸镀方法、蒸镀装置和发光器件。该蒸镀方法包括：依次将掩膜板设置于衬底基板的上方并通过蒸镀工艺在所述衬底基板上形成蒸镀子图形，以在所述衬底基板上形成蒸镀图形，所述蒸镀图形包括设定数量个所述蒸镀子图形，所述掩膜板上形成有特定数量个开口区域，所述开口区域用于形成所述设定数量个所述蒸镀子图形中的特定数量个蒸镀子图形，因此与现有技术相比，一张掩膜板上仅需形成数量较少的开口区域，使得开口区域之间的遮挡区域的宽度较大，避免了采用厚度较厚的掩膜板且该掩膜板上开口区域数量较多时导致的产品
方法装置发光器件

[发明专利]一种蒸镀掩膜版、其制作方法、电磁蒸镀装置及蒸镀方法-CN201710177448.4有效
发明人：赵德江 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2017-03-20 - 公布日： 2022-04-26 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种蒸镀掩膜版、其制作方法、电磁蒸镀装置及蒸镀方法，用以解决现有的电磁蒸镀装置中，由于重力的作用蒸镀掩膜版的中间位置下垂较多，蒸镀材料容易在间隙处发生衍射的问题。该蒸镀掩膜版包括：掩膜版主体，设置在掩膜版主体上的多个开口；每个开口作为一个蒸镀区，除了开口之外的其它掩膜版主体作为遮挡区；在遮挡区设置有第一凹槽；第一凹槽中填充有磁性材料、且磁性材料的磁性强于掩膜版主体材料的磁性在蒸镀掩膜版主体上设置了第一凹槽，并在第一凹槽中填充有磁性较强的磁性材料，因而能够增加电磁蒸镀装置中电磁装置对蒸镀掩膜版的吸附力度，可以减小蒸镀掩膜版和待蒸镀基板之间的间隙，避免蒸镀材料在间隙处发生衍射
一种蒸镀掩膜版制作方法电磁装置方法

[实用新型]一种蒸镀对位系统及蒸镀装置-CN201621105664.5有效
发明人：田川 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
申请日： 2016-10-08 - 公布日： 2017-03-08 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开一种蒸镀对位系统及蒸镀装置，涉及蒸镀技术领域，为解决待蒸镀基板因静电被吸附在冷却板上而导致蒸镀装置的工作受到不良影响的问题。所述蒸镀对位系统，包括基板载具、掩膜版载具和冷却板，冷却板内设置有分离件；对待蒸镀基板进行蒸镀时，待蒸镀基板安装在基板载具上，掩膜版安装在掩膜版载具上，待蒸镀基板位于冷却板的下方，掩膜版位于待蒸镀基板的下方；分离件可与基板载具一起相对冷却板向下移动，使待蒸镀基板与冷却板分离。分离件与基板载具一起向下移动，分离件向待蒸镀基板施加向下的力，使待蒸镀基板与冷却板分离，防止蒸镀装置的工作受到不良影响。本实用新型提供的蒸镀对位系统应用于蒸镀装置中。
一种对位系统装置

[发明专利]蒸镀装置及蒸镀方法-CN202011619121.6在审
发明人：赵文炎;王彦青 -专利权人：云谷（固安）科技有限公司
申请日： 2020-12-30 - 公布日： 2021-05-18 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本申请实施例公开一种蒸镀装置及蒸镀方法。本申请实施例第一方面提供一种蒸镀装置，包括，掩膜板、蒸镀源以及监测设备，蒸镀源通过掩膜板对待蒸镀基板进行蒸镀，监测设备用于监测待蒸镀基板靠近掩膜板一侧表面的残留物。采用本申请第一方面的蒸镀方法得到的显示面板，显示面完整性高，整体显示效果优异，避免了显示面出现黑斑的问题。
装置方法

[发明专利]掩膜组件、蒸镀装置、蒸镀方法、阵列基板及显示面板-CN201811337388.9在审
发明人：王雪;刘海民;熊志勇;李祖华 -专利权人：上海天马有机发光显示技术有限公司
申请日： 2018-11-12 - 公布日： 2019-02-05 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明实施例提供了一种掩膜组件、蒸镀装置、蒸镀方法、阵列基板及显示面板，涉及显示技术领域，提高显示面板中所蒸镀膜层的厚度均一性。掩膜组件用于对待蒸镀基板进行掩膜，待蒸镀基板包括至少一个第一非蒸镀区、围绕第一非蒸镀区的蒸镀区和围绕蒸镀区的第二非蒸镀区，其中，第一非蒸镀区包括透光区和围绕透光区的第一边框区；掩膜组件包括：主掩膜片，主掩膜片具有开口区域和遮挡区域；至少一个辅掩膜片，辅掩膜片不透光，辅掩膜片与第一非蒸镀区对应；用于承载辅掩膜片的支撑结构。上述掩膜组件用于对待蒸镀基板进行蒸镀。
蒸镀掩膜片掩膜组件显示面板蒸镀基板阵列基板蒸镀装置透光区厚度均一性开口区域遮挡区域蒸镀膜层支撑结构边框区不透光掩膜承载

[发明专利]蒸镀掩膜板及其制作方法-CN201610837896.8有效
发明人：范波涛;甘帅燕;王水俊;王亚 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2016-09-21 - 公布日： 2018-11-13 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种蒸镀掩膜板及其制作方法。蒸镀掩膜板包括：普通金属掩膜板，具有用于形成显示屏上有效显示区域的图案区域；精密金属掩膜板，位于普通金属掩膜板的一侧；以及网框，具有第一连接面和位于第一连接面外围的第二连接面，第二连接面凸出于第一连接面；其中，普通金属掩膜板固定于第一连接面上，精密金属掩膜板固定于第二连接面上；或者，精密金属掩膜板固定于第一连接面上，普通金属掩膜板固定于第二连接面上。本发明的上述蒸镀掩膜板可分别对普通金属掩膜板和精密金属掩膜板进行张网，二者互不影响。图案区域在张网拉力的作用下不容易发生形变，可用于蒸镀各种非矩形的显示屏。此外，本发明还涉及一种蒸镀掩膜板的制作方法。
掩膜板蒸镀金属掩膜板连接面精密金属图案区域张网显示屏制作有效显示区域非矩形形变可用网框外围

[发明专利]测试承载基板及膜厚监控装置-CN202211217668.2有效
发明人：蒋雷;郑浩旋 -专利权人：惠科股份有限公司
申请日： 2022-09-29 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本申请属于显示技术领域，具体涉及一种测试承载基板及膜厚监控装置，测试承载基板用于承载由掩膜板和蒸镀设备配合形成的蒸镀膜层，蒸镀设备包括蒸镀源和支撑导电件，掩膜板设于蒸镀源的一侧，支撑导电件设于掩膜板和测试承载基板之间，测试承载基板包括：基板主体，基板主体设于掩膜板远离蒸镀源的一侧，基板主体靠近掩膜板的一侧包括第一空白区和覆盖区，第一空白区至少设于覆盖区的一侧；导电图案层，导电图案层设于覆盖区内，导电图案层与掩膜板抵接本方案通过在基板主体上增设导电图案层可以降低测试承载基板和掩膜板之间的静电，保证掩膜板的正常工作状态。
测试承载监控装置

[实用新型]一种用于蒸镀OLED显示面板色彩的金属掩膜板结构-CN201020167949.8无效
发明人：潘宇强;徐智;陈孟财;王栩 -专利权人：潘宇强
申请日： 2010-04-19 - 公布日： 2011-06-15 - 主分类号： C23C14/02 文献下载
摘要：一种用于蒸镀OLED显示面板色彩的金属掩膜板结构，涉及显示器技术领域，尤其涉及一种用于蒸镀OLED显示面板色彩的金属掩膜板结构；包括掩膜板，掩膜板上设有色彩蒸镀区及定位孔；色彩蒸镀区为空格状，在色彩蒸镀区内有相互平行、均匀分布的栅线；所述的栅线为不规则圆柱体，其直径大于或等于0.05mm；其有益效果是：其一、栅线其直径为0.05mm，如此，则蒸镀的色彩将更均匀、蒸镀效果更好；其二、栅线其表面粗糙度为0.4μm，表面光滑有利于色彩蒸镀干燥后脱模；其三、掩膜板由镍合金材料制成，其可控硬度为400-560HV，如此，则掩膜板经久耐用，不易变形，便于大批量生产，节约生产成本，提高生产效率。
一种用于 oled 显示面板色彩金属板结

[实用新型]一种掩膜板-CN202120477570.5有效
发明人：沈志昇 -专利权人：福建华佳彩有限公司
申请日： 2021-03-05 - 公布日： 2021-12-03 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种掩膜板，所述掩膜板上设置有多个蒸镀通孔，且多个蒸镀通孔阵列排布于所述掩膜板上；颜色相同的相邻的多个子像素共用一个所述蒸镀通孔，且每个所述蒸镀通孔的形状与多个相同颜色子像素形成的形状相适配；所述蒸镀通孔用于供蒸镀材料穿过并沉积在子像素上，形成在多个颜色相同的所述子像素。区别于现有技术，上述技术方案将所述子像素的位置进行调换，在数量不变的情况下，可将相同颜色的所述子像素合并，此时可将所述掩膜板(FMM)上的所述蒸镀孔洞扩大，降低张网难度，且通过本所述掩膜板(FMM)通用的效果，可实现蒸镀工艺时R/G/B互相备份使用。
一种掩膜板

[发明专利]一种蒸镀机构及其工作方法-CN202011119934.9在审
发明人：兰兰;曲毅;董晴晴;冯丹丹;康梦华;邱少亚 -专利权人：合肥维信诺科技有限公司
申请日： 2020-10-19 - 公布日： 2020-12-04 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：一种蒸镀机构及其工作方法，蒸镀机构包括：温控板，所述温控板具有制热功能；掩膜板，适于位于所述温控板的下方，所述掩膜板和所述温控板之间适于放置基板；所述温控板适于在像素位置蒸镀精度的调试过程中模拟基板的蒸镀温度环境；对位检测单元，所述对位检测单元适于在所述温控板制热时获取所述掩膜板的蒸镀开口和所述基板的蒸镀图形区之间的对位偏差。所述蒸镀机构能够提高像素位置蒸镀精度的调试效率且降低成本。
一种机构及其工作方法