专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]直条黑体-CN91204919.7无效
  • 窦方亮;申为群;汤大新 - 吉林大学
  • 1991-04-02 - 1992-05-27 - G01J3/10
  • 本实用新型属于与红外分光光谱仪配套使用的双黑体,其结构为标准黑体和样品炉为同样的圆柱体,两圆柱型腔体的侧面开有直条形口,在双黑体的外侧喷涂氧化物绝缘层和使用熔铸云母骨架缠绕电炉丝。本实用新型辐射率大于0.99,加热均匀,双温度相同,电绝缘性能好,可提高对样品的检测精度。同时具有结构紧凑,制造简便,易于缠绕电炉丝等优点。
  • 直条腔双腔黑体
  • [实用新型]导管用-CN200520110517.2无效
  • 罗金伍 - 北京博医康技术有限责任公司
  • 2005-06-28 - 2006-07-26 - A61M39/00
  • 本实用新型多导管用头,为解决现有技术中多导管生产效率低的问题而发明。包括带有一个天线头,一个气囊头和一个循不水头的头本体,其中气囊头和循环水头的下端与天线头的下端集中成一体,气囊头和循环水头另一端各自独立于天线头,在所述的头本体上还连接有一个测温头采用上述结构后,由于测温头是连接在头本体上,在制造过程中则于其它头可一次制造而成,在整个多导管的制造过程中,仅需将头和导管一次连接即可,因此大大地增加了多导管的工作效率。
  • 导管用腔头
  • [发明专利]激光谐振的调系统及其调方法-CN200910227057.4有效
  • 刘文广;陈星;靳冬欢;王怀琛;袁圣付;华卫红;陈金宝;姜宗福 - 中国人民解放军国防科学技术大学
  • 2009-11-30 - 2011-09-28 - H01S3/02
  • 本发明公开了一种激光谐振的调系统,该调系统包括输出导引光的激光器、激光谐振和辅助装调设备,辅助装调设备包括CCD摄像机、图像采集处理系统和数据显示设备,图像采集处理系统包括采集单元和图像处理单元,CCD摄像机、采集单元、图像处理单元和数据显示设备通过数据线依次连接,激光器、激光谐振和辅助装调设备的CCD摄像机沿光路方向依次布设。调时激光器发出的导引光经衰减片衰减后进入激光谐振,多次往返后输出的光束经缩束后入射到CCD摄像机的光敏面上形成干涉条纹图像信息,该图像信息由图像采集处理系统进行采集和处理后得到对称度数据,最后根据获取的对称度数据对激光谐振中的镜进行调节
  • 激光谐振腔系统及其方法
  • [发明专利]室的内衬和-CN201710357147.X有效
  • 张军 - 北京北方华创微电子装备有限公司
  • 2017-05-19 - 2021-03-02 - C23C16/455
  • 本发明属于半导体加工技术领域,具体涉及一种室的内衬和室。该室的内衬包括抽气内衬和均流内衬,所述均流内衬环绕设置于所述抽气内衬的内侧,所述均流内衬至少包括本体和隔离部,所述隔离部上开设有至少两个孔洞,以将所述均流内衬与所述抽气内衬之间的间隙隔离为连通的进气区域与出气区域;所述室内的气体经所述进气区域进入所述孔洞进行均流后,进一步通过所述抽气区域连通的排气口排出至所述抽气内衬的外部。该室的内衬,实现了对出气口与进气口之间的空间区域的划分,实现了工艺气体及副产物经过匀流后被真空抽走,实现了气体分布的均匀性。
  • 内衬
  • [发明专利]室内衬及反应-CN200710120745.1有效
  • 管长乐 - 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
  • 2007-08-24 - 2009-02-25 - H01L21/00
  • 本发明公开了一种室内衬及反应室,包括外层内衬和里层内衬,外层内衬与里层内衬之间留有间隙,里层内衬上开有多个通孔,外层内衬上开有与反应室外部相通的进气口,里层内衬上开有与反应室外部相通的排气口。工艺气体可以通过进气口进入外层内衬与里层内衬之间的间隙,再由里层内衬上的多个通孔进入反应室内部,对工艺气体起到一定的缓冲作用,既能起到保护反应室的侧壁的作用,又能起到提高反应室内等离子体的均匀性的作用
  • 内衬反应
  • [发明专利]室组件及反应-CN201811511088.8有效
  • 王帅伟;兰云峰;王勇飞 - 北京北方华创微电子装备有限公司
  • 2018-12-11 - 2022-07-22 - C23C16/455
  • 本发明提供一种室组件,包括腔体、室盖,其特征在于,还包括铰接模块,所述铰接模块设置在所述腔体与所述室盖之间,用于实现所述室盖的开合,且在所述铰接模块内设有气体通路,所述气体通路用于将外部气源提供的工艺气体经所述腔体和所述室盖通入所述腔体的内部即使室盖处于开启状态,气体通路仍然处于封闭状态,而不会暴露在大气环境中,从而避免了在开启室盖,以取放衬底或者维护室时,因人为操作导致的颗粒掉落进气体通路,进而可以保证室的洁净度,降低薄膜的颗粒缺陷
  • 组件反应

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