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- [实用新型]多腔导管用腔头-CN200520110517.2无效
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罗金伍
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北京博医康技术有限责任公司
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2005-06-28
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2006-07-26
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A61M39/00
- 本实用新型多腔导管用腔头,为解决现有技术中多腔导管生产效率低的问题而发明。包括带有一个天线腔头,一个气囊腔头和一个循不水腔头的腔头本体,其中气囊腔头和循环水腔头的下端与天线腔头的下端集中成一体,气囊腔头和循环水腔头另一端各自独立于天线腔头,在所述的腔头本体上还连接有一个测温腔头采用上述结构后,由于测温腔头是连接在腔头本体上,在制造过程中则于其它腔头可一次制造而成,在整个多腔导管的制造过程中,仅需将腔头和导管一次连接即可,因此大大地增加了多腔导管的工作效率。
- 导管用腔头
- [发明专利]腔室的内衬和腔室-CN201710357147.X有效
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张军
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北京北方华创微电子装备有限公司
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2017-05-19
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2021-03-02
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C23C16/455
- 本发明属于半导体加工技术领域,具体涉及一种腔室的内衬和腔室。该腔室的内衬包括抽气内衬和均流内衬,所述均流内衬环绕设置于所述抽气内衬的内侧,所述均流内衬至少包括本体和隔离部,所述隔离部上开设有至少两个孔洞,以将所述均流内衬与所述抽气内衬之间的间隙隔离为连通的进气区域与出气区域;所述腔室内的气体经所述进气区域进入所述孔洞进行均流后,进一步通过所述抽气区域连通的排气口排出至所述抽气内衬的外部。该腔室的内衬,实现了对出气口与进气口之间的空间区域的划分,实现了工艺气体及副产物经过匀流后被真空抽走,实现了气体分布的均匀性。
- 内衬
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