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[实用新型]一种用离子束加工样品界面实现背散射表征的装置-CN200620093922.2无效
发明人：谭军;张磊;张广平;谢天生 -专利权人：中国科学院金属研究所
申请日： 2006-11-03 - 公布日： 2007-11-28 - 主分类号： G01N1/32 文献下载
摘要：本实用新型属于样品表征界面的制备和成像技术，具体为一种用离子束加工样品界面实现背散射表征的装置，利用双束聚焦离子束系统加工样品界面从而实现背散射成像，采用双倾转样品台固定表征样品进行离子束制备表征界面和实现背散射成像采用本实用新型装置可以制备出符合扫描电镜需求的背散射表征样品，减少样品的腐蚀、氧化和表面划痕等因素的影响和干扰，较好反映需要分析的样品表面特征，为实现高分辨分析表征样品创造条件。
一种离子束加工样品界面实现散射表征装置

[发明专利]背散射检查系统-CN202010954645.4在审
发明人：陈志强;李元景;唐晓;吴万龙;唐乐;桑斌;孙秀平 -专利权人：同方威视技术股份有限公司;清华大学
申请日： 2020-09-11 - 公布日： 2022-03-11 - 主分类号： G01N23/203 文献下载
摘要：本发明涉及背散射检查系统。公开了一种背散射检查系统，包括：X射线源，用于生成X射线；笔束形成装置，用于将X射线源生成的X射线调制成X射线笔束；两个探测器，用于接收在调制的X射线笔束照射到待检查物体后背散射的X射线，两个探测器间隔开布置以形成缝隙，探测器包括用于朝向待检查物体的接收面；和屏蔽装置，位于邻近两个探测器之间的缝隙和/或探测器的接收面处，用于降低在X射线笔束到达待检查物体之前引起的散射对探测器的影响。
散射检查系统

[发明专利]用于防止X射线背散射的轻质铅复合材料及其制备方法-CN201810836069.6在审
发明人：赵文骏 -专利权人：上海珑原精密材料有限公司
申请日： 2018-07-26 - 公布日： 2018-11-06 - 主分类号： G21F1/08 文献下载
摘要：本发明提出了一种用于防止X射线背散射的轻质铅复合材料及其制备方法，所述复合材料自下而上依次包括：薄膜层、泡棉材料层、铅箔层、导电粘合剂层和防粘衬里层。本发明的用于防止X射线背散射的轻质铅复合材料，可以起到对散射线的吸收和屏蔽的作用，从而消除x射线的散射线，提高X射线成像时的图像质量，其中的软质部分可以用于保护x射线成像核心器件，泡棉材料提高了平整度和保护能力另外，本发明的用于防止X射线背散射的轻质铅复合材料采用轻量化设计，可以整体减轻x射线整机的重量，且施工和装配方便，具有很好的商业前景。
复合材料背散射轻质散射线泡棉制备导电粘合剂层保护能力核心器件装配方便薄膜层材料层衬里层平整度轻量化防粘屏蔽铅箔软质整机图像施工吸收

[发明专利]背散射X射线系统-CN201880098899.1在审
发明人：曹培炎;刘雨润 -专利权人：深圳帧观德芯科技有限公司
申请日： 2018-11-06 - 公布日： 2021-06-04 - 主分类号： G01N23/203 文献下载
摘要：本文公开了一种背散射X射线系统，该系统包括：X射线源，被配置为横跨对象扫描X射线片，其中所述X射线片照射所述对象的表面上的一条线；传感器，被配置为区分从沿着所述线的不同点背散射的X射线。
散射射线系统

[发明专利]L形结构的单源X射线透射与康普顿散射安检装置-CN201210467904.6有效
发明人：周永;黄宁;丁厚本;安竹;吴庆星;陈旭;吴章文;邓伟成;张珍;王鹏;范轶翔;李彩袖 -专利权人：四川大学
申请日： 2012-11-19 - 公布日： 2013-02-06 - 主分类号： G01N23/04 文献下载
摘要：L形结构的单源X射线透射与康普顿散射安检装置。透射测量与康普顿散射测量共用一台X射线源。测量控制共用一台工控机。在康普顿散射探测器与L形透射探测器之间设置较厚的辐射屏蔽层。由X射线源与L形结构透射探测器阵列构成透射测量及成像的几何学结构；由扇形透射光子束在经过被测物而射出的经后准直器的背散射平行光子束与康普顿背散射探测器阵列构成背散射测量及成像的几何学结构；由扇形透射光子束在经过被测物而射出的经后准直器的前散射平行光子束与康普顿前散射探测器阵列构成前散射测量及成像的几何学结构
结构射线透射康普顿散射安检装置

[实用新型]L形结构的单源X射线透射与康普顿散射安检装置-CN201220612448.5有效
发明人：周永;黄宁;丁厚本;安竹;吴庆新;陈旭;吴章文;邓伟成;张珍;王鹏;范轶翔;李彩袖 -专利权人：四川大学
申请日： 2012-11-19 - 公布日： 2013-06-12 - 主分类号： G01N23/04 文献下载
摘要：L形结构的单源X射线透射与康普顿散射安检装置。透射测量与康普顿散射测量共用一台X射线源。测量控制共用一台工控机。在康普顿散射探测器与L形透射探测器之间设置较厚的辐射屏蔽层。由X射线源与L形结构透射探测器阵列构成透射测量及成像的几何学结构；由扇形透射光子束在经过被测物而射出的经后准直器的背散射平行光子束与康普顿背散射探测器阵列构成背散射测量及成像的几何学结构；由扇形透射光子束在经过被测物而射出的经后准直器的前散射平行光子束与康普顿前散射探测器阵列构成前散射测量及成像的几何学结构
结构射线透射康普顿散射安检装置

[发明专利]融合二次电子和背散射电子图像的区域生长孔隙识别方法-CN202110582111.8在审
发明人：郭伟;何法;王诗玉;雷湘湘;张昊天;刘茂鑫 -专利权人：宜宾学院
申请日： 2021-05-27 - 公布日： 2021-07-30 - 主分类号： G06K9/00 文献下载
摘要：本发明公开了融合二次电子和背散射电子图像的区域生长孔隙识别方法，包括以下步骤，图像采集：分别采集选定分析区域的背散射图像和二次电子图像；图像预处理：分别对背散射图像和二次电子图像进行灰度校正；孔隙识别：根据二次电子图像和或背散射电子图像成像响应差异构建区域生长算法的停止生长模型；在二维平面上分别判断各个像素点与周围像素点的连通性，归并区块完成分析区域孔隙识别；通过构建区域生长算法停止生长的数学模型，提高区域生长算法孔隙识别的精度
融合二次电子散射电子图像区域生长孔隙识别方法

[发明专利]一种基于扫描电镜多特征灰度图像的孔隙识别方法-CN202010970397.2在审
发明人：张昊天;黄飞;曹茜;张烨毓;金文辉 -专利权人：宜宾学院
申请日： 2020-09-16 - 公布日： 2021-02-02 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于扫描电镜多特征灰度图像的孔隙识别方法，包括以下步骤：图像采集：在扫描电镜设备下，分别采集选定分析区域的背散射图像和二次电子图像；图像预处理：分别对背散射图像和二次电子图像进行灰度校正；孔隙识别：以背散射电子图像和二次电子图像像素点的灰度值为基础，根据典型样本点建立识别函数，对每一个像素点所属组分类型进行区分，再归并区块。本发明以扫描电镜下二次电子图像和背散射电子图像的像素点灰度值为基础，建立基于二维数据的孔隙识别的数学模型，来区分目标区的属性，该方法实现了扫描电镜页岩孔隙的高精度识别，在区分孔隙(有机质孔隙、无机孔隙)
一种基于扫描电镜特征灰度图像孔隙识别方法

[发明专利]一种用于X射线背散射成像系统的扫描装置-CN201810107243.3有效
发明人：王强;张炜;郑玉来;李永;田利军;郭凤美;杨璐;刘超;颜静儒;田星皓;王国宝 -专利权人：中国原子能科学研究院
申请日： 2018-02-02 - 公布日： 2020-10-09 - 主分类号： G01N23/203 文献下载
摘要：本发明属于辐射成像检测设备领域，具体涉及一种用于X射线背散射成像系统的扫描装置，设置在背散射成像设备台架上，包括内侧一端相对设置的、同轴的、中空的固定外壳和旋转外壳，固定外壳的外侧一端固定设置在背散射成像设备台架上，旋转外壳的外侧一端通过轴承设置在背散射成像设备台架上；固定外壳、旋转外壳相对设置的内侧一端的内部共同形成能够容纳设有准直器的X光管的空间，旋转外壳设有出射小孔，随着旋转外壳绕轴线转动X光管产生的射线束能够通过准直器经出射小孔射出
一种用于射线散射成像系统扫描装置

[发明专利]低能扫描电子显微镜系统、扫描电子显微镜系统及样品探测方法-CN201811250972.0有效
发明人：李帅;何伟 -专利权人：聚束科技（北京）有限公司
申请日： 2018-10-25 - 公布日： 2020-07-31 - 主分类号： H01J37/145 文献下载
摘要：用于产生电子束；电子加速结构，用于增加所述电子束的运动速度；复合物镜，用于对经所述电子加速结构加速的电子束进行汇聚；偏转装置，用于改变所述电子束的运动方向；探测装置，包括用于接收电子束作用于样品上产生的二次电子和背散射电子的第一子探测装置、用于接收所述背散射电子的第二子探测装置、以及用于改变所述二次电子和所述背散射电子的运动方向的控制装置；电透镜，包括第二子探测装置、样品台和控制电极，用于减小所述电子束的运动速度，并改变所述二次电子和所述背散射电子的运动方向
低能扫描电子显微镜系统样品探测方法

[发明专利]工件形貌的监控系统及相关方法-CN202210552624.9有效
发明人：房卫萍;张伟;易耀勇;孔令其;罗兵兵;黄俊媛;彭翰林 -专利权人：广东省科学院中乌焊接研究所;北京航空航天大学
申请日： 2022-05-19 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： B22F12/49 文献下载
摘要：电子枪用于基于蛇形扫描顺序，针对每个扫描点，根据该扫描点的聚焦线圈驱动电流数据和扫描偏转线圈驱动电流数据，控制电子束进行扫描；以及采集并发送背散射电子信号。其中，背散射电子信号为电子束经过工件反射回电子枪时产生的信号；工控机还用于根据背散射电子信号，生成工件的形貌图像。如此，在整个扫描过程中，精准控制电子束，以使通过采集背散射电子信号而生成的工件的形貌图像更加准确。
工件形貌监控系统相关方法

[实用新型]一种低能扫描电子显微镜系统-CN201721565080.0有效
发明人：李帅;何伟 -专利权人：聚束科技（北京）有限公司
申请日： 2017-11-21 - 公布日： 2018-05-29 - 主分类号： H01J37/145 文献下载
摘要：用于增加所述电子束的运动速度；复合物镜，用于对经所述电子加速结构加速的电子束进行汇聚；偏转装置，位于所述磁透镜的内壁与所述电子束的光轴之间，用于改变所述电子束的运动方向；探测装置，包括用于接收电子束作用于样品上产生的二次电子和背散射电子的第一子探测装置、用于接收所述背散射电子的第二子探测装置、以及用于改变所述二次电子和所述背散射电子的运动方向的控制装置；电透镜，包括第二子探测装置、样品台和控制电极，用于减小所述电子束的运动速度，并改变所述二次电子和所述背散射电子的运动方向
电子束探测装置背散射二次电子扫描电子显微镜系统电子加速透镜本实用新型电子束作用复合物镜控制电极控制装置偏转装置磁透镜电子源样品台光轴减小内壁汇聚

[发明专利]用于检测m层结构被检物的背散射检查装置-CN202310112882.X有效
发明人：迟豪杰;宗春光;刘必成;郭俊伟;曹金国;刘磊;季峥;王伟珍 -专利权人：同方威视技术股份有限公司
申请日： 2023-02-15 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： G01N23/20008 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于检测m层结构被检物的背散射检查装置，应用于探测技术领域，m层结构被检物至少包括外层结构体和内层结构体，m为大于等于2的整数，背散射检查装置包括射线发生器、n个探测器和屏蔽组件，射线发生器设于外层结构体的上方，被构造为向m层结构被检物发射入射射线；n个探测器设于外层结构体的上方，且位于入射射线的周向方向上，以接收入射射线射在内层结构体上散射的内层散射射线，n为大于等于1的整数；屏蔽组件被构造为至少部分包围探测器，以遮挡部分入射射线射至探测器，和遮挡入射射线射在外层结构体上散射的外层散射射线射至探测器。背散射检查装置具有防干扰能力强，可以实现精准检查的优点。
用于检测结构被检物散射检查装置

[发明专利]金刚石电子背散射衍射分析样品的制备方法-CN201810963084.7在审
发明人：郭建超;蔚翠;冯志红;刘艳青;房玉龙;何泽召;刘庆彬;周闯杰;高学栋 -专利权人：中国电子科技集团公司第十三研究所
申请日： 2018-08-22 - 公布日： 2018-11-06 - 主分类号： G01N23/20008 文献下载
摘要：本发明适用于半导体技术领域，提供了一种金刚石电子背散射衍射分析样品的制备方法，该方法包括：将金刚石样品进行抛光处理；将抛光处理后的金刚石样品进行氢等离子体处理。本发明通过对金刚石样品抛光处理，使金刚石样品表面平整，通过对金刚石样品进行氢等离子体处理，能够降低金刚石表面残余应力，并能形成稳定的导电性氢终端，从而制备出表面平整、残余应力低、导电性良好的金刚石电子背散射衍射分析样品，能够满足电子背散射衍射分析的需求。
金刚石样品电子背散射衍射分析样品抛光处理金刚石制备氢等离子体处理导电性表面平整残余应力半导体技术领域金刚石表面氢终端分析

[发明专利]背散射机器人的防误触发方法、背散射机器人及路径规划方法-CN202010479349.3在审
发明人：陈志强;崔锦;林东;胡斌;吴华威 -专利权人：清华大学;同方威视技术股份有限公司
申请日： 2020-05-29 - 公布日： 2021-12-17 - 主分类号： G01S17/89 文献下载
摘要：本申请公开了一种背散射机器人的防误触发方法、背散射机器人及路径规划方法，该防误触发方法包括：在背散射机器人上设置测距单元；当所述测距单元检测到的距离值进入预设距离范围内时，开始第一时长延时，延时结束后，
散射机器人触发方法路径规划

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