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- [发明专利]双模逐层测量系统-CN201710596413.4有效
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刘胜;李辉;张国庆;申胜男
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武汉大学
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2017-07-20
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2019-12-20
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G01N23/20058
- 提供一种双模逐层测量系统,包括真空样品室,真空样品室内设置有样品台,还包括电子脉冲控制单元、缺陷调控光路以及处理单元,缺陷调控光路上设置有激光脉冲能量调节装置以及激光脉冲扫描装置,处理单元包括用于接收电子背散射花样的第一接收组件、用于接收衍射图像的第二接收组件以及分析接收后衍射图像与电子背散射花样以控制激光脉冲能量调节装置与激光脉冲扫描装置的控制中心。本发明的测量系统可对微纳制造过程原位实时无损测量,实现边生长、边检测,且通过对衍射图像以及背散射花样处理获得样品表面缺陷信息,并根据此信息反馈调节飞秒激光脉冲能量及扫描位置,进行缺陷的修复,实现边检测、
- 双模测量系统
- [实用新型]磁性液体磁致小角背散射光变化测量仪-CN201120165845.8有效
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黄彦;王庆;谢宇
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南昌航空大学
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2011-05-24
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2012-03-07
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G01N21/49
- 一种磁性液体磁致小角背散射光变化测量仪,光源L产生的一束光通过起偏器P后由分光镜S将其分为测试光束和参考光束,测试光束器件依入射方向排列为检偏器A1、1/2波片W21、偏振耦合镜C1、1/4波片W41、电磁铁、测试样品TS,光电探头D1对准小角背散射光在偏振耦合镜C1上的反射方向,参考光束器件依入射方向排列为检偏器A2、1/2波片W22、偏振耦合镜C2、1/4波片W42、参考样品RS,光电探头D2对准小角背散射光在偏振耦合镜本实用新型的优点是:小角背散射光损失小,磁场控制精确并能提供丰富的磁场变化模式,测量精确抗干扰能力强、稳定性好、灵敏度高,能准确反映被测对象因为磁场作用带来的细微物理变化。
- 磁性液体小角散射变化测量仪
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