专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种边缘的结构滑部件及其制作方法、组件-CN202211586865.1在审
  • 聂锦辉;庄树强;黄轩宇;郑泉水 - 深圳清华大学研究院;清华大学
  • 2022-12-09 - 2023-03-14 - F16S1/00
  • 本申请涉及结构滑领域,公开了一种边缘的结构滑部件及其制作方法、组件,包括在滑岛的上表面形成金属层;滑岛内具有滑界面,金属层具有用于使滑片的边缘向远离滑界面的方向的内应力;沿着滑界面分离滑岛,滑片位于滑界面上方,滑片和金属层的边缘向远离滑界面的方向,得到边缘的结构滑部件。本申请中通过制备具有内应力的金属层以及分离滑岛的方式使得边缘的结构滑部件可以实现大规模制备,使得边缘的结构滑部件更容易得到,同时,由于边缘的结构滑部件包括金属层,具有优良的导电性能,可以拓宽边缘的结构滑部件的应用领域。
  • 一种边缘结构部件及其制作方法组件
  • [发明专利]热轧开平板变形的控制方法-CN201310520262.6有效
  • 王文广;吕利鸽;楚洪超;赵运堂;艾矫健;张镇;郑伟 - 首钢总公司
  • 2013-10-29 - 2014-01-29 - B21B37/28
  • 本发明提供了一种热轧开平板变形的控制方法,包括:设定温度阈值条件,并根据温度阈值条件判断带钢进入矫直机进行矫直;带钢的头部经过矫直机出口后,测量带钢头部D0;设定第一阈值条件,并将带钢头部D0与第一阈值条件进行比较,根据比较结果判断带钢横切制作成开平板;测量开平板的头部D1和尾部D2,并根据公式计算开平板的平均D;设定第二阈值条件,并将平均D与第二阈值条件进行比较,根据比较结果设定矫直机的工艺参数;本发明有效的控制了开平板变形,进而达到生产合格开平板产品的目的。
  • 热轧开平板翘曲变形控制方法
  • [发明专利]一种改善因晶圆形变引起的套刻精度变差的曝光方法-CN202111417575.X在审
  • 王建涛;郭晓波 - 上海华力集成电路制造有限公司
  • 2021-11-26 - 2022-02-22 - G03F7/20
  • 本发明提供一种改善因晶圆形变引起的套刻精度变差的曝光方法,对不同值的标准晶圆进行曝光,测并获得整片标准晶圆上的套刻精度并对其进行分析和拟合,生成不同的套刻精度高阶补正子程式;建立值与套刻精度高阶补正子程式的关系;将值与套刻精度高阶补正子程式的关系输入至生产系统;曝光前测晶圆的值,并将测的值送入生产系统;通过生产系统中所述值与套刻精度高阶补正子程式的关系,调用与所测的值匹配的套刻精度高阶补正子程式;利用所调用的与所测的值匹配的套刻精度高阶补正子程式对所述晶圆进行曝光,并对其进行套刻精度量测,根据测结果拟合出套刻精度与值的对应关系,并反馈给所述生产系统。
  • 一种改善圆形引起精度曝光方法
  • [发明专利]估计装置和估计方法-CN202180070866.8在审
  • 清富晶子 - 东京毅力科创株式会社
  • 2021-10-13 - 2023-06-23 - G01B11/24
  • 一种估计装置,估计基板的,所述估计装置具备:获取部,其获取估计对象基板的一个表面的摄像图像;计算部,其进行所述估计对象基板的所述一个表面的摄像图像中的、关于基板径向的像素值的变化率的计算;以及估计部,其基于预先求出的、基板的所述一个表面的摄像图像中的关于基板径向的像素值的变化率与基板的之间的相关关系、以及所述计算部的计算结果,来进行所述估计对象基板的的估计。
  • 翘曲量估计装置方法
  • [发明专利]磨削装置-CN202210660747.4在审
  • 梅田桂男;E·贾拉里 - 株式会社迪思科
  • 2022-06-13 - 2022-12-20 - B24B7/22
  • 本发明提供磨削装置,其能够高效地磨削存在大幅的可能性的板状的被加工物。该磨削装置包含对搬送机构、测量器以及矫正单元进行控制的控制单元,控制单元具有:存储部,其存储规定的范围的第1阈值;以及判定部,其对通过测量器测量的被加工物的与存储于存储部的第1阈值进行比较,判定是否能够利用卡盘工作台保持被加工物,在利用测量器测量了被加工物的之后,在由判定部判定为能够利用卡盘工作台保持被加工物的情况下,利用搬送机构将被加工物搬送至卡盘工作台,在由判定部判定为无法利用卡盘工作台保持被加工物的情况下
  • 磨削装置
  • [发明专利]蒸镀掩模的制造方法-CN202211373669.6在审
  • 福田加一 - 株式会社日本显示器
  • 2022-11-03 - 2023-05-12 - C25D1/10
  • 蒸镀掩模的制造方法中,在支承基板上隔着基底金属层形成具有规定的图案的光致抗蚀剂层,以支承基板的第一面与水平面垂直的方式配置支承基板,测量支承基板的第一,在基底金属层中的没有形成光致抗蚀剂层的区域,通过电铸使金属析出而形成掩模主体,以支承基板的第一面与水平面垂直的方式配置支承基板,测量支承基板的第二,根据基于第一和第二量计算的的变化与基于的变化量计算的支承基板的内部应力
  • 蒸镀掩模制造方法

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