专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]复合衬底及其制备方法-CN202110858367.7在审
  • 徐琳;金超;赵毛毛 - 苏州纳维科技有限公司
  • 2021-07-28 - 2021-11-12 - H01L29/10
  • 本发明提供了一种复合衬底及其制备方法,包括:III‑V衬底,所述III‑V衬底具有III极性面和V极性面;欧姆接触层,所述欧姆接触层位于所述III‑V衬底的V极性面上。制备方法包括:提供一III‑V衬底,所述III‑V衬底具有III极性面和V极性面;在所述III‑V衬底的V极性面上形成欧姆接触层。本发明提供的另一种制备方法包括:提供一支撑衬底;在所述支撑衬底的表面形成欧姆接触层;在所述欧姆接触层表面形成III‑V衬底,所述III‑V衬底具有III极性面和V极性面,且所述V极性面与所述欧姆接触层直接接触
  • 复合衬底及其制备方法
  • [发明专利]复合衬底的制备方法及复合衬底-CN202110850235.X在审
  • 陈吉湖;聂恒亮;苏克勇 - 苏州纳维科技有限公司
  • 2021-07-27 - 2021-11-12 - H01L21/335
  • 本发明提供了一种复合衬底的制备方法及复合衬底,所述制备方法包括:提供一III‑V单晶衬底,所述III‑V单晶衬底具有III极性面和V极性面;在所述III‑V单晶衬底的V极性面上形成纳米线层。所述复合衬底包括:III‑V单晶衬底,所述III‑V单晶衬底具有III极性面和V极性面;纳米线层,所述纳米线层设置在所述III‑V单晶衬底的V极性面上。本发明通过在III‑V单晶衬底的V极性面上设置纳米线层,有效地缓解GaN衬底的N极性面欧姆接触差问题,降低接触电阻,提高N极性面欧姆接触的热稳定性,提高了器件的可靠性。
  • 复合衬底制备方法

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