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- [发明专利]复合衬底及其制备方法-CN202110858367.7在审
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徐琳;金超;赵毛毛
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苏州纳维科技有限公司
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2021-07-28
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2021-11-12
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H01L29/10
- 本发明提供了一种复合衬底及其制备方法,包括:III‑V族衬底,所述III‑V族衬底具有III族极性面和V族极性面;欧姆接触层,所述欧姆接触层位于所述III‑V族衬底的V族极性面上。制备方法包括:提供一III‑V族衬底,所述III‑V族衬底具有III族极性面和V族极性面;在所述III‑V族衬底的V族极性面上形成欧姆接触层。本发明提供的另一种制备方法包括:提供一支撑衬底;在所述支撑衬底的表面形成欧姆接触层;在所述欧姆接触层表面形成III‑V族衬底,所述III‑V族衬底具有III族极性面和V族极性面,且所述V族极性面与所述欧姆接触层直接接触
- 复合衬底及其制备方法
- [发明专利]Ⅲ-Ⅴ/Ⅱ-Ⅵ族半导体界面的制备方法-CN96198955.6无效
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J·M·德皮特;S·古哈;M·A·哈泽;K·-K·劳;T·J·米勒;B·-J·武;J·M·杰尼斯
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美国3M公司;菲利浦电子股份有限公司
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1996-12-05
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1999-02-24
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H01L33/00
- 一种在诸如激光二极管的Ⅱ-Ⅵ族半导体器件中重复制备具有较低堆垛层错密度的GaAs/ZnSe和其它Ⅲ-Ⅴ/Ⅱ-Ⅵ族半导体界面的方法。该方法包括提供至少包括Ⅲ族元素源(68,170)、Ⅱ族元素源(72,92’)、Ⅴ族元素源(70,172)和Ⅵ族元素源(74,98’)的分子束外延(MBE)系统(50,150)。然后,将衬底(12)加热到适合Ⅲ-Ⅴ族半导体生长的温度,并在衬底的Ⅲ-Ⅴ半导体表面上生长晶状Ⅲ-Ⅴ族半导体缓冲层。然后,将半导体衬底的温度调节到适合Ⅱ-Ⅵ族半导体生长的温度,并通过交替束外延在Ⅲ-Ⅴ族缓冲层上生长晶状Ⅱ-Ⅵ族半导体缓冲层。操作Ⅱ族源和Ⅵ族源,使Ⅲ-Ⅴ族缓冲层暴露于Ⅵ族元素束流之前暴露于Ⅱ族元素束流。
- 半导体界面制备方法
- [发明专利]复合衬底的制备方法及复合衬底-CN202110850235.X在审
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陈吉湖;聂恒亮;苏克勇
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苏州纳维科技有限公司
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2021-07-27
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2021-11-12
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H01L21/335
- 本发明提供了一种复合衬底的制备方法及复合衬底,所述制备方法包括:提供一III‑V族单晶衬底,所述III‑V族单晶衬底具有III族极性面和V族极性面;在所述III‑V族单晶衬底的V族极性面上形成纳米线层。所述复合衬底包括:III‑V族单晶衬底,所述III‑V族单晶衬底具有III族极性面和V族极性面;纳米线层,所述纳米线层设置在所述III‑V族单晶衬底的V族极性面上。本发明通过在III‑V族单晶衬底的V族极性面上设置纳米线层,有效地缓解GaN衬底的N极性面欧姆接触差问题,降低接触电阻,提高N极性面欧姆接触的热稳定性,提高了器件的可靠性。
- 复合衬底制备方法
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