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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]终点检测系统及其运行状态监测方法-CN201410231985.9有效
发明人：陈国动 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2014-05-28 - 公布日： 2019-03-12 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明公开了一种终点检测系统及其运行状态监测方法，其中方法包括如下步骤：读取参照样本中的第一工艺信号曲线，并实时监测设置有终点检测系统的工艺机台进行工艺时的第二工艺信号曲线；比对第一工艺信号曲线和第二工艺信号曲线，判断终点检测系统运行状态；当终点检测系统运行状态正常时，控制工艺机台继续进行工艺；当终点检测系统运行状态异常时，控制工艺机台停止当前工艺。其通过实时监测到的第二工艺信号曲线与参照样本的第一工艺信号曲线进行对比，判断终点检测系统运行状态，有效解决了现有终点检测系统工作状态判断方法不能实时体现当前终点检测系统运行状态，导致对工艺机台状态的判断滞后或错误的问题
终点检测系统及其运行状态监测方法

[发明专利]语音终点检测装置、系统和方法-CN201711162710.4有效
发明人：李京澈;赵在珉 -专利权人：现代自动车株式会社;起亚自动车株式会社
申请日： 2017-11-21 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G10L25/78 文献下载
摘要：本发明提供一种语音终点检测装置、系统和方法。该语音终点检测系统包括：处理器，被配置成确定用于检测针对每个用户和针对每个域不同的用户讲话的终点的终点检测时间。语音终点检测系统被配置成执行语音识别，并且数据库(DB)被配置成存储用于由处理器进行的语音识别的数据。
语音终点检测装置系统方法

[实用新型]终点检测装置和终点检测系统-CN202020137122.6有效
发明人：刘昕;董伯辉;孙启磊;王玉;王立 -专利权人：中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2020-01-21 - 公布日： 2020-08-11 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：公开了一种终点检测装置和终点检测系统，用于检测刻蚀腔内的全光谱信号，终点检测装置包括传输组件、信号收集器和光谱收集器，传输组件与刻蚀腔连接，所述传输组件具有传输通道，信号收集器设置于传输通道内，光谱收集器与信号收集器连接
终点检测装置系统

[发明专利]光学终点检测系统-CN201280019970.5有效
发明人：巴拉苏布拉马尼恩·拉马钱德雷;石井雅人;阿伦·缪尔·亨特 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2012-04-27 - 公布日： 2014-01-01 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明提供用于确定处理腔室清洁工艺的终点的方法及设备。在一些实施方式中，具有终点检测系统的处理系统可包括：处理腔室，所述处理腔室具有内表面，所述内表面由于在处理腔室中执行的工艺而需要定期清洁；及终点检测系统，所述终点检测系统包括光检测器，所述光检测器被定位以检测反射离开所述处理腔室的第一内表面的光；及控制器，所述控制器耦接至所述光检测器并且被设置以基于检测的反射光来确定清洁工艺的终点。
光学终点检测系统

[发明专利]化学机械平坦化终点检测方法-CN200610029920.1有效
发明人：邓永平 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2006-08-10 - 公布日： 2008-02-13 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：一种化学机械平坦化终点检测方法，包括：利用样片，以单一平坦化速率进行基础终点检测；根据基础终点检测结果将实际终点检测过程分为第一步骤及第二步骤；在实际终点检测过程中设定第一平坦化速率及第二平坦化速率；以所述第一平坦化速率进行第一步骤；以所述第二平坦化速率进行第二步骤；顺序进行第一步骤及第二步骤，完成实际终点检测。应用此终点检测方法，既可保证终点检测的可靠性，又能缩短终点检测耗用时间，同时具有广泛的适用范围。
化学机械平坦终点检测方法

[发明专利]刻蚀终点检测方法-CN201410652851.4在审
发明人：罗永坚;张颂周;任昱;朱骏;吕煜坤;张旭升 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2014-11-17 - 公布日： 2015-03-04 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明提供了一种刻蚀终点检测方法，在具有射频电源适配器的刻蚀反应腔中进行，其在刻蚀过程中采用适配器来进行终点检测，包括以下步骤：将衬底放入刻蚀反应腔中，并采用适配器的参数来监测刻蚀反应腔内的阻抗；对衬底进行刻蚀工艺本发明的刻蚀终点检测方法，通过射频电源适配器的参数变化来监测刻蚀是否达终点，从而在无需另外安装终点检测系统的条件下，利用刻蚀反应腔自身具有的射频电源适配器就可以进行有效地终点检测，简化了操作步骤，节约了成本
刻蚀终点检测方法

[发明专利]具有反射终点检测的蚀刻处理系统-CN201880015447.2有效
发明人： M·N·格芮姆比戈安;K·K·恩古耶 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2018-03-06 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：在此描述蚀刻处理系统，所述蚀刻处理系统包括终点检测系统，所述终点检测系统具有光源和光检测器。在一个示例中，光源朝向蚀刻腔室的基板支撑构件之上的对准区域发射光，且光检测器接收来自对准区域的光反射。对终点和工艺控制监测反射。第二光源朝向对准区域发射光，且相机接收光以将对准区域成像。所述图像可用于将终点检测系统发射的光对准到在对准区域内的点位置，例如在安装在基板支撑构件上的基板的对准开口内。
具有反射终点检测蚀刻处理系统

[实用新型]跑步检测仪-CN200420071104.3无效
发明人：张家祥;张文翔 -专利权人：深圳市好家庭实业有限公司
申请日： 2004-06-28 - 公布日： 2005-11-02 - 主分类号： G07C1/24 文献下载
摘要：一种跑步检测仪，包括终点检测传感器、终点无线传输装置、无线接收器和计算机处理设备；终点检测传感器架设于跑道终点线上，检测人跑步到终点的信号，终点检测传感器与终点无线传输装置连接，由无线传输装置将终点检测信号进行无线传输；无线接收器和计算机处理设备相连，无线接收器接收终点检测信号，并传送到计算机处理设备；计算机处理设备内设有计时器，计时器上连接有计时触发开关，计时器由触发开关触发计时，接收到终点检测信号时停止计时，并将计时结果对应终点检测信号的编码或频率保存在计算机处理设备中
跑步检测

[发明专利]对终点检测状态的监控方法-CN200610029247.1有效
发明人：王海军;王贝易;程晓华;赵正元 -专利权人：上海华虹NEC电子有限公司
申请日： 2006-07-21 - 公布日： 2008-01-23 - 主分类号： B24B49/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种对终点检测状态的监控方法，通过预先生成与需要生产的产品有相同结构的光片作为测试片，在生产需要终点检测的研磨工艺产品之前，利用与产品一样的终点检测程序来检知该光片的终点，从而达到监控终点检测是否处于正常状态的目的本发明可以正确的检知到研磨终点，保证产品的合格率。本发明不仅可以用于监控利用光学原理的终点检测方法，还可以用于监控利用温度变化、电流强度变化的终点检测方法。
终点检测状态监控方法

[实用新型]终点检测装置及刻蚀设备-CN202220981377.X有效
发明人：吕吉庆;郭享;邱志鸿;王玉莹 -专利权人：芯恩（青岛）集成电路有限公司
申请日： 2022-04-15 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本实用新型提供一种终点检测装置，所述终点检测装置包括：至少两个信号探测器及一个信号转换器；其中，各所述信号探测器设于不同设定高度刻蚀面的上方，用于探测相应设定高度刻蚀面的刻蚀信息；所述信号转换器与各所述信号探测器信号连接通过本实用新型提供的终点检测装置，解决了现有刻蚀设备应用的终点检测系统无法及时并准确地检测刻蚀终点的问题。
终点检测装置刻蚀设备

[发明专利]研磨垫-CN202280015016.2在审
发明人：立野哲平;糸山光纪;関谷仁志;小池坚一;高见沢大和 -专利权人：富士纺控股株式会社
申请日： 2022-02-18 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： B24B37/26 文献下载
摘要：本发明可抑制对研磨性能的影响，并且防止由终点检测用窗所得的终点检测精度的降低。研磨垫3包括检查光L1可透过的终点检测用窗12，在研磨垫3的研磨面3A形成有多个同心圆状的环状槽11。所述终点检测用窗12的表面形成于与所述研磨面3A相同的高度，所述环状槽11中，形成于与形成有所述终点检测用窗12的位置相同的半径位置的多个环状槽11A在所述终点检测用窗12的表面未形成有槽，而在所述终点检测用窗进而，通过连结槽13将形成于与所述终点检测用窗12相同的半径位置的多个环状槽11A的端部11a与端部11a连接。
研磨

[发明专利]铜转炉吹炼控制系统-CN201310682988.X有效
发明人：吴华峰;张玉钧;高闽光;何莹;徐金凤;刘建国;尤坤;蔡永厚;宋修明;黄永峰;盛放;魏庆农 -专利权人：合肥金星机电科技发展有限公司
申请日： 2013-12-13 - 公布日： 2014-03-26 - 主分类号： C22B15/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种铜转炉吹炼控制系统，其包括在造渣期在线对铜转炉内熔体中PbO和PbS特征光谱发射强度信号进行采集的造渣终点检测单元以及在造铜期在线对铜转炉烟道A烟气中的SO2气体浓度信号进行采集的造铜终点检测单元，数据处理单元分析处理造渣、造铜终点检测单元采集的信号判断是否到达造渣、造铜终点并调控是否停风吹炼。上述控制系统可实现对铜转炉吹炼过程中造渣终点、造铜终点的精确判断，避免出现过吹、欠吹等现象，保证铜转炉吹炼的安全生产，提高铜冶炼的效率。
转炉吹炼控制系统

[发明专利]铜转炉吹炼自动控制系统-CN201310682945.1有效
发明人：宋修明;吴华峰;盛放;魏庆农;黄永峰 -专利权人：金隆铜业有限公司;合肥金星机电科技发展有限公司
申请日： 2013-12-13 - 公布日： 2014-03-26 - 主分类号： C22B15/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种铜转炉吹炼的控制系统，其包括在造渣期在线对铜转炉内熔体中PbO和PbS特征光谱发射强度信号进行采集的造渣终点检测单元以及在造铜期在线对铜转炉烟道烟气中的SO2气体浓度信号进行采集的造铜终点检测单元，数据处理单元分析处理造渣、造铜终点检测单元采集的信号判断是否到达造渣、造铜终点并调控是否停风吹炼。上述控制系统可实现对铜转炉吹炼过程中造渣终点、造铜终点的精确判断，避免出现过吹、欠吹等现象，保证铜转炉吹炼的安全生产，提高铜冶炼的效率。
转炉吹炼自动控制系统

[发明专利]用于铜转炉吹炼的控制系统-CN201310682923.5有效
发明人：吴华峰;高闽光;王锋平;张玉钧;李相贤;刘文清;常国涛;宋修明;吴文明;盛放;魏庆农;黄永峰 -专利权人：合肥金星机电科技发展有限公司
申请日： 2013-12-13 - 公布日： 2014-03-26 - 主分类号： C22B15/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种铜转炉吹炼的控制系统，其包括在造渣期在线对铜转炉内熔体中PbO和PbS特征光谱发射强度信号进行采集的造渣终点检测单元以及在造铜期在线对铜转炉烟道烟气中的SO2气体浓度信号进行采集的造铜终点检测单元，数据处理单元分析处理造渣、造铜终点检测单元采集的信号判断是否到达造渣、造铜终点并调控是否停风吹炼。上述控制系统可实现对铜转炉吹炼过程中造渣终点、造铜终点的精确判断，避免出现过吹、欠吹等现象，保证铜转炉吹炼的安全生产，提高铜冶炼的效率。
用于转炉吹炼控制系统

[实用新型]铜转炉吹炼控制系统-CN201320823922.3有效
发明人：吴华峰;张玉钧;高闽光;何莹;徐金凤;刘建国;尤坤;蔡永厚;宋修明;黄永峰;盛放;魏庆农 -专利权人：合肥金星机电科技发展有限公司
申请日： 2013-12-13 - 公布日： 2014-09-10 - 主分类号： C22B15/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种铜转炉吹炼控制系统，其包括在造渣期在线对铜转炉内熔体中PbO和PbS特征光谱发射强度信号进行采集的造渣终点检测单元以及在造铜期在线对铜转炉烟道A烟气中的SO₂气体浓度信号进行采集的造铜终点检测单元，数据处理单元分析处理造渣、造铜终点检测单元采集的信号判断是否到达造渣、造铜终点并调控是否停风吹炼。上述控制系统可实现对铜转炉吹炼过程中造渣终点、造铜终点的精确判断，避免出现过吹、欠吹等现象，保证铜转炉吹炼的安全生产，提高铜冶炼的效率。
转炉吹炼控制系统

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