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[发明专利]等离子体处理方法-CN202110189883.5在审
发明人：中谷理子;箕浦佑也;后平拓 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2021-02-18 - 公布日： 2021-09-10 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明涉及等离子体处理方法。[课题]抑制腔室内的部件的消耗、且实现工艺的稳定化。[解决方案]一种等离子体处理方法，其为对基板进行等离子体处理的等离子体处理方法，所述等离子体处理方法包括如下工序：在腔室内将含有碳和氢的第1气体等离子体化，从而用具有导电性的膜涂覆腔室内的部件的表面的工序；向腔室内搬入基板的工序；和，在腔室内的部件的表面用具有导电性的膜涂覆了的状态下，在腔室内将第2气体等离子体化，从而对基板进行处理的工序。
等离子体处理方法

[发明专利]超声空化等离子体水处理装置及其处理方法-CN201510940724.9在审
发明人：赵赫;李芳 -专利权人：赵赫;李芳
申请日： 2015-12-16 - 公布日： 2016-05-04 - 主分类号： C02F1/30 文献下载
摘要：本发明涉及一种超声空化等离子体水处理装置及其处理方法，所述装置包括水箱（1），所述水箱（1）内设置有水体（2），所述水体（2）内设置有左右两个等离子体发生器（3），所述左右两个离子体发生器（3）下方均设置有超声空化换能件（5），所述超声空化换能件（5）外侧设置有防护罩壳（6）所述水箱（1）外侧设置有进水阀（10）和排水阀（4）。本发明一种超声空化等离子体水处理装置及其处理方法，在水体反应介质中超声空化和等离子体共同存，相互作用，显著加快了等离子体的与介质的相互作用速度，可实现规模化等离子体作用效果，能量利用率大为提高，克服了反应死区问题
超声等离子体水处理装置及其处理方法

[发明专利]等离子体处理水无害化装置及等离子体处理水无害化方法-CN201610238148.8在审
发明人：藤金正树;小野寺真里;井关正博 -专利权人：松下知识产权经营株式会社
申请日： 2016-04-18 - 公布日： 2016-11-23 - 主分类号： C02F9/08 文献下载
摘要：本发明提供能够除去等离子体处理水中所含的过氧化氢的等离子体处理水无害化装置及等离子体处理水无害化方法。本发明的一方式的等离子体处理水无害化方法包括以下工序：将在水中或水附近产生等离子体而得到的含有过氧化氢的等离子体处理水通过活性炭进行过滤的工序、和对在过滤的工序中过滤而得到的等离子体处理水施加超声波的工序
等离子体处理无害化装置方法

[发明专利]基板处理方法及基板处理装置-CN202210374758.6在审
发明人：李城吉;卢明燮;金东勋;严永堤;吴东燮;丘峻宅;朴玩哉 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2022-04-11 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：该基材处理方法包括：用于将基板的温度稳定至用于处理基板的处理空间中的工艺温度的温度稳定化步骤；用于将产生等离子体的等离子体空间的压力和处理空间的压力稳定至工艺压力的压力稳定化步骤，等离子体空间与处理空间流体连通；以及用于在等离子体空间产生等离子体并使用等离子体处理基板的处理步骤。
处理方法装置

[发明专利]一种难熔金属表面抗烧蚀涂层及其制备方法-CN201910153189.0有效
发明人：马康智;倪立勇;杨震晓;文波;曲栋;曾一兵 -专利权人：航天材料及工艺研究所;中国运载火箭技术研究院
申请日： 2019-02-28 - 公布日： 2021-04-13 - 主分类号： C23C4/134 文献下载
摘要：所述方法包括：将钨粉和稀土碳化物粉末混合，喷雾造粒；将造粒得到的粉体经等离子球化后制成适包覆型粉体；采用可控气氛等离子喷涂工艺将所述包覆型粉体喷涂在难熔金属表面，得到抗烧蚀涂层。
一种金属表面抗烧蚀涂层及其制备方法

[发明专利]用于热的和非热的组织效应的可变频率激励等离子体设备-CN201410838378.9在审
发明人： J·E·汤普森;D·A·弗里克里克斯 -专利权人：柯惠有限合伙公司
申请日： 2014-12-30 - 公布日： 2015-08-26 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：公开了一种用于热的和非热的组织效应的可变频率激励等离子体设备和等离子体系统。该等离子体系统包括：等离子体仪器，其具有限定在其中通过的管腔的细长主体以及第一电极和第二电极；与管腔流体地连通并被配置为向管腔提供可离子化介质的可离子化介质源；以及适于耦接至第一电极和第二电极的可变频率能量源，该可变频率能量源被配置为向第一电极和第二电极供应足以激发由可离子化介质源供应的可离子化介质的能量以生成等离子体流出物，其中能量的频率能够被调整以修改等离子体流出物的至少一个属性。
用于组织效应可变频率激励等离子体设备

[发明专利]一种基于惰性气氛的钛合金自耗电极凝壳熔炼铸造工艺-CN201410758716.8在审
发明人：娄延春;赵军;刘时兵;史昆;刘宏宇;刘鸿羽;张有为;陈晓明 -专利权人：沈阳铸造研究所
申请日： 2014-12-10 - 公布日： 2016-06-01 - 主分类号： B22D35/06 文献下载
摘要：其特征在于：在正压惰性气氛下采用真空自耗钛合金电极熔炼钛合金，并浇注于特种耐火氧化物等离子喷涂的铸型中，所述特种耐火氧化物等离子喷涂的铸型的制备方法为：取质量百分比为20％的氧化钇粉，75％的氧化锆粉和5％的氧化钙粉混合在一起后进行球磨，并采用高温电弧熔炼方法进行高温烧结，然后经过球化造粒筛分制得350目粉料，利用等离子喷涂设备将制得的粉料喷涂于铸型表面即得。
一种基于惰性气氛钛合金电极熔炼铸造工艺

[实用新型]一种立式复合废气净化塔-CN201820084917.8有效
发明人：金李杰 -专利权人：成都市鑫利环保设备有限公司
申请日： 2018-01-18 - 公布日： 2018-09-14 - 主分类号： B01D50/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种立式复合废气净化塔，包括：塔体，废气经进风口进入后依次经过预处理填料室、喷淋室、储水室、脱水层、除尘室、光氧化室和等离子处理室；所述预处理填料室内装有空心球，所述脱水层内设置有牛皮纸，除尘室内并列安装有若干布袋，所述光氧化室底部安装有UV灯管，所述等离子处理室内设置有等离子发生器；通过该立式复合废气净化塔，可彻底分解有机废气，并能达到完美的脱臭、净化效果，经分解后的有机废气可完全达到无害化排放，同时达到高效消毒杀菌的作用；无需专人管理和日常维护，只需作定期检查，本设备能耗低，设备风阻低，可节约大量排风动力能耗；该设备结构简单，操作简便自动化，易于维修管理。
废气净化塔预处理填料有机废气光氧化脱水层复合室内等离子处理室等离子发生器分解本实用新型等离子处理牛皮纸并列安装定期检查动力能耗净化效果日常维护设备结构设备能耗维修管理消毒杀菌专人管理灯管除尘室储水室进风口空心球喷淋室无害化除尘布袋风阻排风塔体脱臭废气自动化节约排放

[实用新型]电子垃圾等离子气化熔炼处理系统-CN201721090696.7有效
发明人：刘静欣 -专利权人：武汉凯迪工程技术研究总院有限公司
申请日： 2017-08-29 - 公布日： 2018-06-05 - 主分类号： B09B3/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种电子垃圾等离子气化熔炼处理系统，该系统包括预处理装置、等离子气化熔炼装置、烟气资源化装置、以及有价金属提取装置；所述预处理装置的出气口与等离子气化熔炼装置的鼓风口相连，所述预处理装置的出料口与等离子气化熔炼装置的进料口相连；所述等离子气化熔炼装置的烟气出口与烟气资源化装置的进气口相连，所述等离子气化熔炼装置的熔液出口与有价金属提取装置的进液口相连。本实用新型在较短的工艺流程内设置了烧结气无害化、熔炼烟气余热回收与无害化、尾气资源化、金属综合回收等装置，实现了电子废弃物的充分无害化、减量化、资源化利用。
等离子气化熔炼装置预处理装置熔炼无害化本实用新型资源化装置处理系统电子垃圾提取装置有价金属烟气进气口烟气余热回收电子废弃物资源化利用熔液出口烟气出口综合回收工艺流程出料口出气口鼓风口减量化进料口进液口烧结气资源化尾气金属

[发明专利]等离子体处理装置-CN201410081006.6有效
发明人：松浦广行;高桥俊树;福岛讲平 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2008-08-29 - 公布日： 2014-09-17 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供一种等离子体处理装置，对被处理体实施等离子体处理，其包括：能够抽真空的圆筒状的处理容器；保持多个被处理体向处理容器内插拔的保持单元；向处理容器内供给气体的气体供给单元；和利用等离子体使气体活性化的活性化单元，其中，活性化单元由沿处理容器长边方向配设的等离子体生成箱、沿等离子体生成箱配设的电感耦合型电极和连接到电感耦合型电极的高频电源构成，电感耦合型电极在等离子体生成箱的一端折返，沿等离子体生成箱的两侧壁配设，等离子体生成箱由截面“コ”状的等离子体区分壁区分形成，该等离子体区分壁由相对的一对侧壁和连接该侧壁的一端侧的背面壁构成，串联连接成为一部分被切去的状态的多个环状电极而形成电极。
等离子体处理装置

[发明专利]一种高强度TB13钛合金丝材及其制备方法-CN202310896873.4在审
发明人：孙思博;冯兆龙;王泽龙;刘正林 -专利权人：成都先进金属材料产业技术研究院股份有限公司
申请日： 2023-07-21 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： B22F3/105 文献下载
摘要：本发明提供一种高强度TB13钛合金丝材及其制备方法，涉及钛合金材料技术领域，所述方法包括：对TB13球形钛粉进行低温球磨处理，获得粒度为50‑90nm的TB13钛合金粉末；将所述粒度为50‑90nm的TB13钛合金粉末在真空环境中进行放电等离子烧结，制备出块体材料；将所述块体材料在预设温度下热挤压成Φ10.5mm棒材；对所述棒材进行辊磨拉拔，获得高强度TB13钛合金丝材。本发明中的低温球磨降低TB13钛合金活性，避免其与球磨罐发生反应，同时，低温环境也可以增大钛合金脆性，有利于粉末的进一步细化；而且，放电等离子快速烧结避免球磨后的晶粒粗化。
一种强度 tb13 钛合金及其制备方法

[发明专利]一种球形钽粉及其制备和在3D打印中的应用-CN202210326563.4有效
发明人：陈超;张桃梅;周科朝 -专利权人：中南大学
申请日： 2022-03-30 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： B22F9/14 文献下载
摘要：本发明涉及一种球形钽粉的制备方法，将钽粉在包含保护气和辅助气的混合气中进行等离子体球化处理，所述的辅助气为C1～C4的烃类化合物本发明还提供了所述的方法制得的钽球及其在3D打印中的应用。本发明创新地在含有C1～C4的烃类化合物的载气下进行等离子球化处理，进一步配合所述的烃类化合物的成分以及浓度的联合控制，能够意外地实现协同，能够意外地改善制得的颗粒的球化率、粒径分布，并能够实现原位弥散强化，使其更利于3D打印方面的应用需求。
一种球形及其制备打印中的应用

[发明专利]等离子体照射装置-CN201780097654.2在审
发明人：神藤高广;池户俊之;泷川慎二;丹羽阳大 -专利权人：株式会社富士
申请日： 2017-12-20 - 公布日： 2020-07-28 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：等离子体照射装置构成为具备：等离子体头(14)，产生等离子化气体并从喷嘴喷出该等离子化气体；气体供给装置(50)，用于对气体进行流量调节并向等离子体头供给气体；气体管(60)，将该气体供给装置与等离子体头之间连接而成为气体的流路检测向等离子体头供给的气体的压力(PA～PD)，并将该压力利用于各种情况，从而构成实用的等离子体照射装置。具体而言，例如能够基于检测出的压力而简便地判定出气流在等离子体头中的堵塞即头堵塞。
等离子体照射装置

[发明专利]一种沉积金刚石涂层前硬质合金刀具预处理方法及装置-CN201910209901.4有效
发明人：魏秋平;马莉;周科朝;余志明 -专利权人：中南大学
申请日： 2019-03-19 - 公布日： 2020-02-04 - 主分类号： C23C8/36 文献下载
摘要：一种沉积金刚石涂层前硬质合金刀具预处理方法及装置，所述装置包括炉体、炉膛、电加热体、等离子发生电源、样品台。所述预处理方法包括对硬质合金刀具表面进行化学微刻蚀、等离子活化、等离子增强气态硼化、等离子清洗步骤。本发明通过使用把等离子体设备加持在恒温管式炉上，同时又增加了偏压装置改造得到的设备，加上一套合适的工艺解决了现有技术的问题。本发明的设备结构简单、操作方便，对工件实现等离子活化、等离子增强气态硼化、等离子清洗，优化了现有微波等离子体气态渗硼工艺，大幅度降低工艺成本，渗硼效果好，适于规模化工业生产。
预处理硬质合金刀具沉积金刚石涂层等离子活化等离子清洗等离子增强硼化渗硼等离子发生电源等离子体设备微波等离子体炉膛电加热体工艺成本偏压装置设备结构规模化恒温管微刻蚀样品台炉体优化改造

[发明专利]一种水下超亲油的表面功能化涂层及其制备方法和应用-CN202211060365.4在审
发明人：叶羽敏;汪振波 -专利权人：宁波大学
申请日： 2022-08-31 - 公布日： 2023-01-06 - 主分类号： B05D1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种水下超亲油的表面功能化涂层的制备方法，具体包括：S1、将基材悬挂在等离子腔体挂架上；S2、将腔体抽真空后，通入前驱体和氧气，进行等离子沉积反应得到等离子聚合物层；S3、等离子沉积反应结束后，关闭前驱体进气，继续通氧气，采用氧等离子对等离子聚合物层进行活化反应；S4、活化反应结束后，关闭氧气进气和等离子电源，将改性剂通入腔体中对等离子聚合物层进行改性处理得水下超亲油的表面功能化涂层。本发明还公开了一种水下超亲油的表面功能化涂层及其应用。本发明通过采用等离子化学气相沉积反应配合聚合物气相接枝无需后处理，单体利用率高；所得聚合物层拥有更高的接枝密度。
一种水下超亲油表面功能涂层及其制备方法应用