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[发明专利]一种远程等离子体输送管以及远程等离子体处理设备-CN202010991834.9在审
发明人：金暻台;白国斌;高建峰;王桂磊;崔恒玮;丁云凌 -专利权人：中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司
申请日： 2020-09-18 - 公布日： 2021-01-22 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明公开一种远程等离子体输送管以及远程等离子体处理设备，涉及等离子体处理技术领域，以解决远程等离子体容易与等离子体输送管发生反应，产生副产物，从而导致最终的硅片成品率降低的技术问题。该远程等离子体输送管用于向工艺腔输送远程等离子体，远程等离子体输送管包括金属管，以及形成在所述金属管内壁的陶瓷结构，所述陶瓷结构用于隔离所述金属管与远程等离子体。远程等离子体处理设备包括上述技术方案所提供的远程等离子体输送管。
一种远程等离子体输送以及处理设备

[发明专利]等离子体发生装置和等离子体头冷却方法-CN201880096922.3有效
发明人：泷川慎二;丹羽伦子;神藤高广 -专利权人：株式会社富士
申请日： 2018-08-28 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： H05H1/28 文献下载
摘要：等离子体发生装置具备：等离子体头，放出被等离子体化的等离子体气体；气体供给装置，将成为等离子体气体的气体供给至等离子体头；一对电极，设置于等离子体头，对从气体供给装置供给的气体的一部分进行放电而成为等离子体气体；温度传感器，设置于等离子体头，对等离子体头的温度进行计测；及控制装置，控制装置执行如下冷却处理：在使一对电极的放电停止之后，使气体供给装置持续供给气体来进行等离子体头的冷却，直至温度传感器计测到预定值以下的温度为止
等离子体发生装置冷却方法

[发明专利]高频等离子体射束源及喷射表面的方法-CN200480015920.5有效
发明人： R·贝克曼 -专利权人：莱博德光学有限责任公司
申请日： 2004-04-08 - 公布日： 2006-07-12 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明涉及高频等离子体射束源(1)，带有：等离子体室(3)；电气装置(8、9)，将电压施加在该高频等离子体射束源(1)上，以激发和维持该等离子体；从等离子体空间(3)引出等离子体射束(I)的装置(4)；等离子体射束(I)从高频等离子体射束源(1)产生，基本上呈发散的喷射特性。本发明还涉及用高频等离子体射束源的等离子体射束(I)喷射一个表面的方法，其中所述等离子体射束(I)是发散的。
高频等离子体射束源喷射表面方法

[发明专利]使用高中性密度等离子体植入的共形掺杂-CN200880100529.3无效
发明人：史帝文·R·沃特 -专利权人：瓦里安半导体设备公司
申请日： 2008-06-20 - 公布日： 2010-06-30 - 主分类号： C23C16/00 文献下载
摘要：一种等离子体掺杂设备包括等离子体源，所述等离子体源产生脉冲的等离子体。压板接近等离子体源而支撑基板以供等离子体掺杂。结构吸附薄膜，所述薄膜在被解吸附时提供多个中性。偏压电源产生偏压波形，所述偏压波形具有将等离子体中的离子吸引至基板以供等离子体掺杂的负电位。辐射源照射吸附在结构上的薄膜，藉此解吸附薄膜且产生多个中性，所述多个中性在来自等离子体的离子被吸引至基板时使离子散射，藉此执行共形等离子体掺杂。
使用中性密度等离子体植入掺杂

[发明专利]一种环保空气净化机-CN201811082599.2在审
发明人：周毅;周开毓;周颖雯;欧阳婷 -专利权人：湖南凯誉电气科技有限公司
申请日： 2018-09-17 - 公布日： 2019-01-15 - 主分类号： B01D50/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种环保空气净化机，包括空气过滤装置、等离子体分解室、催化反应室、吸附室和等离子体发生器；通过多层次结构设计，有效地清洁了空气中的固定和液体污染物以及病菌，同时还给清洁后的空气添加了负离子，
空气净化机等离子体发生器等离子体分解空气过滤装置催化反应室多层次结构液体污染物清洁负离子吸附室有效地病菌环保生态

[发明专利]一种空气净化机-CN201811084293.0在审
发明人：周毅;周开毓;周颖雯;欧阳婷 -专利权人：湖南凯誉电气科技有限公司
申请日： 2018-09-17 - 公布日： 2019-01-25 - 主分类号： F24F3/16 文献下载
摘要：本发明公开了一种空气净化机，包括紫外分解室、等离子体分解室、催化反应室、吸附室和等离子体发生器；通过多层次结构设计，有效地清洁了空气中的固定和液体污染物以及病菌，同时还给清洁后的空气添加了负离子，使空气达到生态级的清新舒适
空气净化机等离子体发生器等离子体分解催化反应室多层次结构液体污染物紫外分解清洁负离子吸附室有效地病菌生态

[发明专利]等离子体起辉状态监测方法及监测装置和半导体处理设备-CN201710561903.0有效
发明人：范光涛 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2017-07-11 - 公布日： 2020-10-13 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供一种等离子体起辉状态监测方法及监测装置和半导体处理设备。该等离子体起辉状态监测方法包括：在等离子体开始起辉时，采集形成在基片表面的等离子体鞘层的对地交流电压信号；对等离子体鞘层的对地交流电压信号进行处理，以获得等离子体鞘层的对地交流电压信号的最大峰值电压；判断等离子体鞘层的对地交流电压信号的最大峰值电压是否达到了等离子体的起辉成功电压，以确定等离子体是否起辉。该等离子体起辉状态监测方法通过对等离子体鞘层的对地交流电压信号进行监测，能够判断等离子体的起辉状态是否正常，无需再采用等离子体光谱监测方法，从而不仅能够有效地监测等离子体辉光放电状态，而且有效地降低了等离子体起辉状态的监测成本
等离子体状态监测方法装置半导体处理设备

[发明专利]等离子体处理装置-CN201180037725.2有效
发明人：节原裕一;江部明宪 -专利权人：国立大学法人大阪大学;EMD株式会社
申请日： 2011-08-02 - 公布日： 2013-06-12 - 主分类号： H01L21/205 文献下载
摘要：本发明的课题在于提供一种能够根据离解的气体分子的种类或其离解能来容易地控制等离子体中的电子的能量分布的等离子体处理装置。本发明的等离子体处理装置(10)具备：等离子体处理室(11)；与等离子体处理室(11)连通的等离子体生成室(12)；用于生成等离子体的高频天线(16)；用于控制等离子体中的电子的能量的等离子体控制板(17)；用于调整等离子体控制板(17)的位置的操作棒(171)及移动机构(172)。在该等离子体处理装置(10)中，仅通过利用移动机构(172)使操作棒(171)沿着长度方向移动来调整高频天线(16)与等离子体控制板(17)之间的距离，就能够控制在等离子体生成室(12)内生成的等离子体的电子的能量分布，因此能够容易地进行与离解的气体分子的种类或其离解能对应的等离子体处理。
等离子体处理装置

[发明专利]等离子体灭菌装置和等离子体灭菌方法-CN202111676451.3在审
发明人：李华;杨象添;陈星妤;朱鸿成;李明磊;杜晓霞 -专利权人：桂林电子科技大学
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2022-04-15 - 主分类号： A61L2/14 文献下载
摘要：本申请公开了一种等离子体灭菌装置和等离子体灭菌方法。该等离子体灭菌装置包括位置采集单元、等离子体发生单元和驱动单元，位置采集单元用于获取待灭菌物体的位置信息；等离子体发生单元用于产生等离子体射流；驱动单元与所述位置采集单元信号连接，所述驱动单元用于驱动所述等离子体发生单元移动，以使所述等离子体发生单元产生的等离子体射流作用于待灭菌物体上。本申请公开的等离子体灭菌装置可对待灭菌物体进行精准灭菌。
等离子体灭菌装置方法

[发明专利]边缘等离子体密度倾斜控制的可调谐性-CN202180013570.2在审
发明人：约翰·霍兰德;斯蒂芬·K·皮奥特罗斯基;金宰元;普拉蒂克·曼克迪;柳川拓海;吴东骏;安东尼·德拉列拉;金泽华 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2021-02-02 - 公布日： 2022-09-16 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种等离子体衬套结构，其在处理室中使用以阻挡其中所产生的等离子体直接直射至接地表面。等离子体衬套结构包括多个区段，以覆盖设置在处理室中的等离子体约束结构的内侧表面的至少一个或更多部分。当等离子体衬套结构及等离子体约束结构被设置在处理室中时，等离子体衬套结构的区段被定位在等离子体区域与等离子体约束结构的侧壁之间，使得这些区段直接面对等离子体区域。
边缘等离子体密度倾斜控制调谐

[发明专利]用于生成等离子体的方法和装置-CN202080087540.1在审
发明人： S.高特 -专利权人：戴森技术有限公司
申请日： 2020-12-04 - 公布日： 2022-08-05 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：提供了一种等离子体反应器，包括：处理室；等离子体天线组件，被配置为在处理室中生成等离子体；以及一个或多个磁体，被配置为将等离子体限制在处理室中远离等离子体天线组件的位置；其中等离子体天线组件包括：射频(RF)天线，被布置为由电流驱动，从而在等离子体生成区域中生成等离子体；壳体，被布置为将天线与在等离子体生成区域中生成的等离子体分离；以及铁磁或亚铁磁聚焦构件，被布置为部分地围绕天线的长度。
用于生成等离子体方法装置

[发明专利]使用等离子体放电水的防疫系统以及将等离子体放电水雾化成液滴的喷嘴-CN202180021022.4在审
发明人：洪镛澈;李义宰;金刚逸 -专利权人：韩国核融合能源研究院
申请日： 2021-01-29 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： A61L2/22 文献下载
摘要：本发明涉及一种使用等离子体放电水的防疫系统以及喷嘴。使用所述等离子体放电水的防疫系统，包括：等离子体放电水生成装置；被处理水供给部，用于向所述等离子体放电水生成装置供给被处理水；等离子体放电水吐出部，连接于所述等离子体放电水生成装置的一侧；以及喷嘴，与所述等离子体放电水生成装置连接成可互通流体，由所述等离子体放电水吐出部供给等离子体放电水，所述喷嘴将所供给的等离子体放电水雾化成液滴后喷洒。
使用等离子体放电防疫系统以及水雾化成喷嘴

[发明专利]等离子体设备和系统-CN200780043781.0有效
发明人：弗拉基米尔·E·贝拉斯琴科;奥列格·P·索洛伦科;安德里·V·斯米尔诺夫 -专利权人：弗拉基米尔·E·贝拉斯琴科;奥列格·P·索洛伦科;安德里·V·斯米尔诺夫
申请日： 2007-11-27 - 公布日： 2009-12-16 - 主分类号： B23K9/00 文献下载
摘要：一种双等离子体设备，包括阳极等离子体头和阴极等离子体头。每个等离子体头包括电极和等离子体流动通道和在所述等离子体流动通道和所述电极的至少一部分之间的主气体入口。阳极等离子体头和阴极等离子体头定位成朝彼此成一角度。至少一个等离子体流动通道包括三个大体为圆柱形的部分。等离子体流动通道的这三个大体圆柱形部分减少了侧面起弧的发生。
等离子体设备系统

[发明专利]等离子体接力装置-CN200810236906.8有效
发明人：熊青;卢新培;熊紫兰;邹菲 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2008-12-19 - 公布日： 2009-05-20 - 主分类号： H05H1/30 文献下载
摘要：等离子体接力装置，属于等离子体发生装置，解决现有等离子体发生装置强度、温度调节范围过窄，工作气体单一的问题；本发明等离子体射流源的等离子体喷出口处安装有1个或多个管状介质容器，各介质容器的气体输入口与等离子体射流源的工作气体源或者多个单独工作气体源相连通；等离子体射流源喷出的等离子体射流与第一个介质容器表面接触；各介质容器等离子体喷出口喷出的等离子体射流与下一个介质容器表面接触，最后一个介质容器等离子体喷出口输出工作等离子体射流。本发明产生强度、温度均可变化的富含活性成份的等离子体射流，特别是常压下产生接近室温的等离子体射流，同时人体可以与之安全的相接触，并适用于多种气体放电。
等离子体接力装置

[发明专利]复合式等离子体源系统与分体式远程等离子体设备-CN202210688694.7在审
发明人：乐卫平;刘涛;谢幸光 -专利权人：深圳市恒运昌真空技术有限公司
申请日： 2022-06-16 - 公布日： 2022-08-19 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：本申请公开了复合式等离子体源系统与分体式远程等离子体设备，复合式等离子体源系统包括电源装置、等离子体设备、第一分体式等离子体装置与电力分配装置。电源装置用于提供工作电力。第一分体式等离子体装置与等离子体设备连接。电力分配装置用于实现以下两个功能中的至少一个：基于工作电力为等离子体设备提供第一工作电力，以使等离子体设备进行第一等离子体工艺；以及，基于工作电力为第一分体式等离子体装置提供第二工作电力，电源装置与第一分体式等离子体装置形成第一分体式远程等离子体系统，以对等离子体设备进行第二等离子体工艺。
复合等离子体系统体式远程设备