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[发明专利]一种磁控溅射源及磁控溅射设备-CN201210038271.7有效
发明人：李杨超;刘旭 -专利权人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请日： 2012-02-20 - 公布日： 2013-08-21 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明提供一种磁控溅射源及磁控溅射设备，磁控溅射源包括靶材、固定件、磁控管以及驱动机构，靶材和驱动机构固定在固定件上，磁控管与驱动机构连接，而且磁控管紧靠靶材的表面，在驱动机构的驱动下磁控管对靶材的表面进行扫描，驱动机构包括旋转驱动机构和直线驱动机构，其中：旋转驱动机构用于驱动磁控管在靶材的表面作旋转运动，直线驱动机构用于驱动磁控管在靶材的表面作直线往复运动；在旋转驱动机构和直线驱动机构的共同作用下，磁控管在靶材的表面进行旋转运动的同时作直线往复运动该磁控溅射源可以准确地控制磁控管的扫描轨迹以及在不同位置的停留时间，从而使靶材均匀腐蚀，提高靶材的利用率。
一种磁控溅射设备

[发明专利]一种可实现微波设备小型化的磁控管-CN201110220452.7有效
发明人：王彩育;钟立松;陈庆华;王贤友 -专利权人：广东威特真空电子制造有限公司
申请日： 2011-08-03 - 公布日： 2012-02-01 - 主分类号： H01J25/50 文献下载
摘要：本发明是一种可实现微波设备小型化的磁控管，包括阳极部件、阴极部件、输出部件以及磁回路部件，所述输出部件包括天线、金属管壳、输出陶瓷、排气管以及天线帽，排气管下端连接有阶梯状金属薄壳结构体，该结构体由沿薄壳外壁面的有效电长度为L的至少两段不同直径和高度的圆筒连接构成，有效电长度L在0.10λ~0.2λ范围内，λ为磁控管π模振荡波长。本发明可使磁控管的输出部件总长度大大缩小，并使得磁控管到波导的阻抗实现匹配过渡，有效地将磁控管产生的微波功率耦合到波导中，磁控管工作稳定，输出效率高；磁控管输出部件在不影响磁控管输出效率和稳定性的基础上
一种实现微波设备小型化磁控管

[发明专利]用于微波烘干设备的滚筒及磁控管安装腔体-CN201210046170.4有效
发明人：李富旗 -专利权人：李富旗
申请日： 2012-02-27 - 公布日： 2012-07-18 - 主分类号： D06F58/26 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于微波烘干设备的滚筒及磁控管安装腔体，它包括：一滚筒，所述滚筒包括一圆柱形筒状的骨架及承载网；所述骨架的圆柱面设置有一送料取料进出口，所述承载网安装于所述滚筒骨架的侧面及两个底面；一磁控管安装腔体，所述磁控管安装腔体由五面多边形的磁控管安装面板围绕所述滚筒外表面一周形成；所述滚筒设置于所述磁控管安装腔体内；所述磁控管安装腔体上安装有波导，所述磁控管安装于波导，所述磁控管的波导发射窗口朝向所述滚筒
用于微波烘干设备滚筒磁控管安装腔

[发明专利]一种磁控管、磁控管的制造方法及物理沉积室-CN201110128880.7有效
发明人：耿波;李杨超;武学伟;丁培军 -专利权人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请日： 2011-05-18 - 公布日： 2012-11-21 - 主分类号： H01J25/50 文献下载
摘要：本发明提供一种磁控管、磁控管的制造方法及物理沉积室。其中，磁控管包括可绕靶材中心轴旋转的极性方向相反的内磁极和外磁极，内磁极为螺旋线形且设置于外磁极的内部，在内、外磁极之间形成包围内磁极的磁场轨道，由中心轴发射出去的任一角度的半径与磁场轨道相交一次或两次；磁控管绕中心轴旋转过程中，磁场轨道使靶材表面任一单位面积所获得的磁场扫描强度大致相等。利用上述磁控管进行磁控溅射工艺时，可实现对靶材径向的均匀腐蚀，从而可有效提高靶材的利用率及相关工艺的均匀性。此外，利用本发明提供的磁控管制造方法所获得的磁控管以及本发明提供的物理沉积室具有与上述磁控管相同或类似的优点。
一种磁控管制造方法物理沉积

[发明专利]速率增强的脉冲DC溅射系统-CN201610490917.3有效
发明人： D·派莱利芒特 -专利权人：先进工程解决方案全球控股私人有限公司
申请日： 2016-04-27 - 公布日： 2021-07-13 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：该系统具有等离子体腔室、第一电源和第二电源，该等离子体腔室具有两个靶、两个磁控管和一个阳极。第一电源耦合到第一磁控管和阳极，并且在每个周期期间在阳极与第一磁控管之间提供具有正电势和负电势的周期性的第一电源电压。第二电源耦合到第二磁控管和阳极，并且提供周期性的第二电源电压。控制器对第一电源电压和第二电源电压进行相位同步和控制以施加组合阳极电压，并且使第一磁控管电压与第二磁控管电压相位同步，其中，被施加到阳极的组合阳极电压的幅值为第一磁控管电压和第二磁控管电压的总和的幅值的至少
速率增强脉冲 dc 溅射系统

[发明专利]一种小型化磁控管结构-CN202010588663.5有效
发明人：李海龙;何其伟;殷勇;王彬;蒙林;朱逸政 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2020-06-24 - 公布日： 2021-12-03 - 主分类号： H01J23/087 文献下载
摘要：本发明属于真空电子器件领域，具体提供一种小型化磁控管结构，采用放置于磁控管外部支架上的钕铁硼或钐钴永磁材料取代原有的铁氧体磁环，保证互作用空间内部的磁场强度。本发明磁控管结构中无需铁氧体磁环、且钕铁硼或钐钴永磁体放置于磁控管外部支架上的设计，使得磁控管在高度与宽度上尺寸能够大大减小，进而使得磁控管结构呈长方体状，故本发明同步匹配散热片与滤波组件的形状与结构；综上，本发明提供一下新型的磁控管结构，进一步实现磁控管结构的小型化设计。
一种小型化磁控管结构

[发明专利]用于磁控溅射设备的磁控溅射方法、控制模块和设备-CN201811067827.9有效
发明人：李晓强;侯珏;兰玥;张瑶 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2018-09-13 - 公布日： 2021-08-13 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于磁控溅射设备的磁控溅射方法，磁控溅射设备包括驱动装置和磁控管组件，磁控管组件包括公转轴、自转轴和磁控管，驱动装置能驱动磁控管绕自转轴自转和/或驱动磁控管绕公转轴公转，其中，磁控溅射方法包括：步骤S1、驱动装置驱动磁控管旋转至预设初始位置；步骤S2、驱动装置驱动磁控管继续绕公转轴旋转，同时或间隔预设时间对当前晶片执行沉积步骤；步骤S3、当前晶片沉积步骤结束后，下一个晶片作为当前晶片，重复执行步骤本发明还提供用于磁控溅射设备的控制模块以及包括控制模块的磁控溅射设备，磁控溅射方法可以提高了靶材利用率，保证了晶片薄膜沉积的一致性，而且能保证很高的可重复性，降低磁控管误差累积。
用于磁控溅射设备方法控制模块

[实用新型]用于微波烘干设备的滚筒及磁控管安装腔体-CN201220066447.5有效
发明人：李富旗 -专利权人：李富旗
申请日： 2012-02-27 - 公布日： 2012-10-17 - 主分类号： D06F58/26 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种用于微波烘干设备的滚筒及磁控管安装腔体，它包括：一滚筒，所述滚筒包括一圆柱形筒状的骨架及承载网；所述骨架的圆柱面设置有一送料取料进出口，所述承载网安装于所述滚筒骨架的侧面及两个底面；一磁控管安装腔体，所述磁控管安装腔体由五面多边形的磁控管安装面板围绕所述滚筒外表面一周形成；所述滚筒设置于所述磁控管安装腔体内；所述磁控管安装腔体上安装有波导，所述磁控管安装于波导，所述磁控管的波导发射窗口朝向所述滚筒
用于微波烘干设备滚筒磁控管安装腔

[实用新型]一种可实现微波设备小型化的磁控管-CN201120279167.8有效
发明人：王彩育;钟立松;陈庆华;王贤友 -专利权人：广东威特真空电子制造有限公司
申请日： 2011-08-03 - 公布日： 2012-04-25 - 主分类号： H01J23/36 文献下载
摘要：本实用新型是一种可实现微波设备小型化的磁控管，包括阳极部件、阴极部件、输出部件以及磁回路部件，所述输出部件包括天线、金属管壳、输出陶瓷、排气管以及天线帽，排气管下端连接有阶梯状金属薄壳结构体，该结构体由沿薄壳外壁面的有效电长度为L的至少两段不同直径和高度的圆筒连接构成，有效电长度L在0.10λ~0.2λ范围内，λ为磁控管π模振荡波长。本实用新型可使磁控管的输出部件总长度大大缩小，并使得磁控管到波导的阻抗实现匹配过渡，有效地将磁控管产生的微波功率耦合到波导中，磁控管工作稳定，输出效率高；磁控管输出部件在不影响磁控管输出效率和稳定性的基础上
一种实现微波设备小型化磁控管

[实用新型]一种管道式微波加热装置-CN201621245330.8有效
发明人：田初明;徐国雄;田发超;李孟超;张伦玮;朱宝坤;赵晨光;余丹 -专利权人：中国海洋石油总公司;中海油能源发展股份有限公司
申请日： 2016-11-17 - 公布日： 2017-07-14 - 主分类号： F24H1/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种管道式微波加热装置，包括设置微波加热腔，所述微波加热腔上端面外部设置有磁控管，所述磁控管的天线伸入至所述微波加热腔内；所述磁控管外壁上设置有降温器；所述磁控管通过电源线连接至电路系统；当所述磁控管设置为多个，所述微波加热腔内、位于相邻两个所述磁控管之间，竖向设置有防止各磁控管所发射微波互相干扰的微波隔离器。本实用新型使管道式微波加热器可采用低价值的微波磁控管达到高功率使用的要求，使微波加热器不用内部流体管道也可实现流体的微波在线连续加热，使微波加热器可实现高温高压作业，拓展了微波管道式加热器的使用范围，简化了微波加热器的结构
一种管道式微加热装置

[实用新型]一种磁控管用支架组件-CN201922083556.2有效
发明人：欧才杰;张明福;王昌胜 -专利权人：广东顺德恒骏朗电子有限公司
申请日： 2019-11-28 - 公布日： 2020-06-02 - 主分类号： H01J25/50 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种磁控管用支架组件，涉及磁控管安装技术领域，包括安装底板，所述安装底板的上部两侧均固定有支撑板，且支撑板靠近安装底板中心线的一侧上端镶嵌有磁控管夹紧机构，所述磁控管夹紧机构的内部包括有固定杆本实用新型中，通过转动压紧螺纹杆可以对夹紧板进行调动，调紧时可以将磁控管主体夹紧，调松时，可以方便将磁控管主体取出，而不需要利用两个相对的支撑板直接将磁控管主体夹紧，避免导致磁控管主体安装和取出比较棘手
一种管用支架组件

[发明专利]新型破冰船-CN201310535877.6无效
发明人：范富仓 -专利权人：范富仓
申请日： 2013-10-28 - 公布日： 2014-04-30 - 主分类号： B63B35/08 文献下载
摘要：一种新型破冰船，它是在破冰船的后面安装发电机，在破冰船的前面安装金属防护外壳，金属防护外壳里面安装高压变压器、高压电容器、高压二极管和磁控管，磁控管上有微波天线，当需要破冰时，开动破冰船，发电机和磁控管就开始工作，使磁控管发出微波，磁控管产生的微波通过微波天线使冰融化，从而完成破冰工作。
新型破冰船

[发明专利]微波破冰船-CN201010261196.1无效
发明人：范福仓 -专利权人：范福仓
申请日： 2010-08-16 - 公布日： 2012-03-14 - 主分类号： B63B35/08 文献下载
摘要：一种微波破冰船，它是在破冰船的后面安装发电机，在破冰船的前面安装金属防护外壳，金属防护外壳里面安装高压变压器、高压电容器、高压二极管和磁控管，磁控管上有微波天线，当需要破冰时，开动破冰船，发电机和磁控管就开始工作，使磁控管发出微波，磁控管产生的微波通过微波天线使冰融化，从而完成破冰工作。
微波破冰船

[实用新型]一种磁控管测试放置架-CN201821591823.6有效
发明人：马志成;王世健;赵云 -专利权人：甘肃虹光电子有限责任公司
申请日： 2018-09-28 - 公布日： 2019-11-22 - 主分类号： G01R1/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种磁控管测试放置架，包括撑板，所述撑板上设有连接口，所述连接口的四周设有连接螺栓，所述撑板下方设有若干支撑腿，所述磁控管安装在连接口上；该磁控管测试放置架方便了磁控管测试高压引线的连接，放置平稳可靠，电接触良好，解决了装配磁钢不易问题，防止夹手，具有较高的机械强度，能够长期承载磁控管的重量，不易变形，不易受损，可重复使用。
磁控管连接口撑板放置架本实用新型测试不易变形测试高压连接螺栓电接触可重复支撑腿磁钢夹手装配承载受损

[实用新型]一种水冷磁控管微波发生器-CN201922382322.8有效
发明人：顾华鑫;马水;潘玉刚 -专利权人：深圳麦格米特电气股份有限公司
申请日： 2019-12-26 - 公布日： 2020-06-19 - 主分类号： H01J25/50 文献下载
摘要：一种水冷磁控管微波发生器，包括水冷磁控管、电源和激励腔，还设有外壳，所述激励腔安装在外壳上，所述水冷磁控管位于外壳内，安装在激励腔上，所述水冷磁控管下设有冷凝水收集结构；所述电源安装在外壳内，并与水冷磁控管相连接
一种水冷磁控管微波发生器