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[发明专利]太阳能硅片的淋浴式湿法制绒设备及方法-CN201510024996.4有效
发明人：左国军 -专利权人：常州捷佳创精密机械有限公司
申请日： 2015-01-19 - 公布日： 2017-06-13 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种太阳能硅片的淋浴式湿法制绒设备，包括用于向前运送硅片的运送组件，设于运送组件上方的喷淋组件，设于运送组件下方的供液组件。间隔向运送组件上放置硅片，运送组件向前运送硅片，喷淋盒向下喷淋药液；运送组件上流下的药液在接液槽内聚合。本发明还提供了一种利用上述淋浴式湿法制绒设备进行太阳能硅片湿法制绒的方法。本发明淋浴的方式将腐蚀液喷洒或滴到硅片上，多余药液及反应生成物流到接液槽，从而保证硅片的腐蚀均匀性。
太阳能硅片淋浴湿法设备方法

[实用新型]一种硅片分拣装置-CN201921525473.8有效
发明人：曾磊;张玉玉;张乃文;纪杨 -专利权人：山东大海新能源发展有限公司
申请日： 2019-09-12 - 公布日： 2020-06-05 - 主分类号： B07C5/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种硅片分拣装置，包括由横向运送装置和纵向运送装置构成的多个分拣单元。硅片经过检测后先进入横向运送装置横向运送，再经过纵向运送装置时，控制系统启动，判断是否将硅片由横向运送转为纵向运送，进行分拣包装，若需分拣则硅片由横向运送转为纵向运送，若不需分拣则继续横向运送至下一单元本实用新型可实现硅片的自动化分拣，无需人工，保证了分拣的准确性，降低了二次损伤增加的次品率，提高了生产效率。
一种硅片分拣装置

[实用新型]一种多晶硅硅片分拣装置-CN201921496174.6有效
发明人：曾磊;张玉玉;张乃文;纪杨 -专利权人：山东大海新能源发展有限公司
申请日： 2019-09-10 - 公布日： 2020-06-05 - 主分类号： B07C5/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种多晶硅硅片分拣装置，包括，横向的运送系统、纵向的分拣系统以及硅片收集系统。多晶硅硅片经过检测后进入横向运送系统，在经过分拣台时，分拣控制系统启动，将硅片由横向运送转为纵向运送，最终将其送入收集装置进行包装。本实用新型公开的一种多晶硅硅片分拣装置可实现多晶硅硅片的自动分拣，保证了分拣的准确率，降低了二次损伤增加的次品率，提高了生产效率。
一种多晶硅片分拣装置

[发明专利]一种硅片自动分拣系统-CN201910861439.6在审
发明人：曾磊;张乃文;张玉玉;纪杨 -专利权人：山东大海新能源发展有限公司
申请日： 2019-09-12 - 公布日： 2019-12-06 - 主分类号： B07C5/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅片自动分拣系统，包括，控制系统(1)和分拣装置(2)；控制系统(1)包括，HMI(101)、PLC控制器(102)和分拣单元组(103)；分拣装置(2)包括，横向运送装置(201)和纵向运送装置(202)；硅片经过检测后进入由控制系统(1)控制的分拣装置(2)，在经过纵向运送装置(202)时，控制系统(1)判断是否需要将硅片分拣包装，若需分拣则硅片由横向运送转为纵向运送，若不需分拣则继续横向运送至下一单元综上所述，本发明可实现硅片的自动化分拣，无需人工，保证了分拣的准确性，降低了二次损伤增加的次品率，提高了生产效率。
硅片分拣控制系统分拣装置纵向运送运送横向运送装置自动分拣系统二次损伤分拣单元生产效率次品率自动化检测保证

[发明专利]一种改善外延片平坦度的硅片衬底传送装置和方法-CN202210144423.5在审
发明人：曹岩;牛景豪 -专利权人：西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司
申请日： 2022-02-17 - 公布日： 2022-03-15 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种改善外延片平坦度的硅片衬底传送装置和方法，该传送装置布置在外延沉积设备的工艺腔室中，该传送装置包括：加热模块，所述加热模块经配置为在硅片从所述工艺腔室的外部抵达所述工艺腔室内的加工位置的过程中，以不同的加热功率向所述所述硅片辐射热量；运送模块，所述运送模块经配置为在所述硅片进入所述工艺腔室之后，根据所述硅片的位置以不同的运动速度将所述硅片运送至所述加工位置。通过运送模块调节衬底硅片在各个位置的速率，并且通过加热模块在硅片进入工艺腔室的过程中调节各阶段加热灯组功率配比，降低衬底由于温差为外延片的品质带来的影响。
一种改善外延平坦硅片衬底传送装置方法

[发明专利]一种外延生长方法及外延生长设备-CN202310741870.3在审
发明人：孙毅;金柱炫;韩喜盈 -专利权人：西安奕斯伟材料科技股份有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司
申请日： 2023-06-21 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： C30B25/08 文献下载
摘要：本公开提供一种外延生长方法及外延生长设备，该方法包括：确定硅片运送阶段的反应腔室的第一温度、及硅片放置阶段的第二温度；在硅片运送阶段，将硅片从反应腔室外被运送至反应腔室内，且反应腔室的温度被设定为第一温度；在硅片放置阶段，硅片被放置于反应腔室内的基座上，且反应腔室的温度被设定为第二温度。
一种外延生长方法设备

[实用新型]一种硅片剔除机构-CN201820917957.6有效
发明人：潘加永;戴秋喜 -专利权人：苏州映真智能科技有限公司
申请日： 2018-06-14 - 公布日： 2018-12-11 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种硅片剔除机构，用于对硅片传送带上运送的不合格硅片进行剔除，该硅片剔除机构包括设置于硅片传送带下方的剔除组件和设置于所述剔除组件前端的硅片检测组件。所述硅片检测组件用于检测所述硅片传送带上的硅片是否合格；所述剔除组件包括机架、安装在所述机架上的传送部和设置于所述传送部一端的接料盒，所述传送部将所述硅片检测组件检测到的不合格硅片运送至所述接料盒内。该硅片剔除机构，可准确检测硅片送带上的不合格硅片，并根据不合格硅片的情况灵活启动剔除操作或不启动剔除操作，自动化程度高，便于控制；且适用范围广，可适用于剔除各种不同情况下的不合格硅片，提高了不合格硅片剔除率和硅片的运送效率
硅片剔除剔除机构检测组件传送带传送接料盒本实用新型运送硅片运送准确检测组件包括检测送带自动化灵活

[发明专利]一种硅片去BSG工艺智能防堵片装置-CN202310795562.9在审
发明人：陈杰;丁仪 -专利权人：中润新能源（滁州）有限公司
申请日： 2023-06-30 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅片去BSG工艺智能防堵片装置，关于硅片制备技术领域，包括外壳体、堵片检测机构、硅片运送组件、输送组件和硅片暂存柜，所述外壳体内设置有内壳体，所述内壳体上设置有多个密封盖，所述堵片检测机构设置在内壳体的内部，用于检测内壳体内硅片的状态，内壳体能够对堵片的硅片进行标记，所述硅片运送组件滑动连接在内壳体的内部，用于对堵片检测机构标记的硅片进行吸附，所述输送组件设置在外壳体的一侧，所述输送组件与硅片运送组件相匹配，所述硅片暂存柜设置在靠近输送组件的一侧，用于临时存储硅片。与现有技术相比，根据本发明的一种硅片去BSG工艺智能防堵片装置能够避免硅片与滚轮打滑后产生堵片造成撞片的情况。
一种硅片 bsg 工艺智能防堵片装置

[实用新型]硅片翻转机构及应用该翻转机构的硅片翻转装置-CN201820873204.X有效
发明人：潘加永;戴秋喜 -专利权人：苏州映真智能科技有限公司
申请日： 2018-06-07 - 公布日： 2018-12-11 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种硅片翻转机构，所述翻转机构包括依次设置的进料组件、翻转组件和出料组件。其中，所述进料组件用于运送待翻转硅片，所述待翻转硅片的第一表面朝上；所述翻转组件用于将所述进料组件运送的所述待翻转硅片表面翻转，使所述硅片的与所述第一表面相对的第二表面朝上；所述出料组件用于运送完成表面翻转后的硅片该硅片翻转机构，实现了硅片翻转的自动化，提高了硅片翻转的效率；且结构简单，其进料组件、翻转组件、出料组件分段设置，各组件的运作互不干扰，提高了硅片翻转的稳定性和可靠性，降低了生产成本。本实用新型还公开了一种应用所述硅片翻转机构的硅片翻转装置。
硅片翻转进料组件翻转硅片出料组件翻转组件硅片翻转装置本实用新型第一表面翻转机构运送朝上表面翻转第二表面分段设置硅片表面互不干扰依次设置生产成本应用自动化运作

[实用新型]离子注入跑片装置-CN201820639703.2有效
发明人：钱锋;宋银海;贾银海;姚飞;宋经纬;廖运华 -专利权人：东莞帕萨电子装备有限公司
申请日： 2018-04-28 - 公布日： 2018-11-27 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：该离子注入跑片装置包括水平进出传送区，用于水平运送装载硅片的托盘；垂直输送缓冲区，连通水平进出传送区，用于垂直向上或向下运送托盘；单个水平传送区，用于先后运送多个托盘，单个水平传送区依次具有第一离子注入工位、切换硅片位置工位及第二离子注入工位，第一离子注入工位用于在硅片的第一位置注入第一离子，切换硅片位置工位用于对应硅片的第二位置，第二离子注入工位用于在硅片的第二位置注入第二离子；及垂直输送储存区，用于垂直向上或向下运送托盘本实用新型所述离子注入跑片装置，离子注入方便、快速、成本低、制作的硅片质量好。
离子工位硅片托盘本实用新型垂直输送垂直向上第二位置硅片位置水平传送向下运送传送区第一位置水平运送缓冲区储存区连通装载运送制作

[实用新型]硅片花篮自动输送机构-CN201820984109.7有效
发明人：潘加永;戴秋喜 -专利权人：苏州映真智能科技有限公司
申请日： 2018-06-26 - 公布日： 2019-01-15 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种硅片花篮自动输送机构，用于太阳能电池硅片生产中的空花篮上料、满载花篮下料以及在各加工工序之间运送花篮，该输送机构包括花篮取放机构和架空输送机构，所述花篮取放机构可与硅片加工设备的硅片上料机、硅片下料机及所述架空输送机构对接。所述硅片花篮自动输送机构可自动传送空花篮至硅片上料机，同时自动接收硅片下料机的满载花篮，可往返于同种硅片加工设备的不同生产线之间，传送空花篮及收取满载花篮；并可根据工艺需要将满载花篮运送至下道加工工序使用，同时接收下道加工工序的空花篮，实现了硅片花篮在太阳能电池硅片各加工工序之间的自动运送，整个过程无需人工操作，提高了太阳能电池硅片的生产效率。
花篮硅片花篮加工工序硅片太阳能电池硅片自动输送满载硅片加工设备架空输送取放机构上料机下料机运送过程无需人工本实用新型生产效率输送机构自动传送自动接收上料下料传送往返生产

[发明专利]一种自动化单晶硅片倒角装置-CN202110536120.3在审
发明人：代刚;傅昭林;张超 -专利权人：成都青洋电子材料有限公司
申请日： 2021-05-17 - 公布日： 2021-07-09 - 主分类号： B24B9/06 文献下载
摘要：本发明提供一种自动化单晶硅片倒角装置，涉及单晶硅制造技术领域。该自动化单晶硅片倒角装置包括调心倒角装置（1）、多个硅片存放盒一（2）、运送装置（3）和硅片存放盒二（4），调心倒角装置（1）包括调心装置（101）、旋转丝杆（106）、倒角装置（108）和激光测量器（111）；调心装置（101）上开设有多个直径不等的同心梯形圆槽，靠近运送装置（3）的一侧还开设有避让槽，激光测量器（111）通过激光测量支座（110）安装在固定台（104）上，运送装置（3）包括运送丝杆本发明解决了单晶硅片生产质量不稳定的技术问题。
一种自动化单晶硅倒角装置

[发明专利]双硅片加工系统及方法-CN202110872375.7在审
发明人：陆瑜 -专利权人：苏州迈为科技股份有限公司
申请日： 2021-07-30 - 公布日： 2021-10-22 - 主分类号： B41F17/24 文献下载
摘要：本申请实施例提供一种双硅片加工系统及方法，其中系统包括：送片机构、旋转运送机构、定位机构、定位平台、印刷机构、印刷平台和出片机构；定位平台上设置有定位机构，印刷平台上设置有印刷机构；运送板的两个第二端在传送带和定位平台之间移动；运送板用于将送片机构的传送带上的双硅片同步移动至定位平台进行定位，定位平台用于将定位后的双硅片同步运送至印刷平台进行印刷后送回至定位平台，运送板还用于将定位平台的双硅片同步移动至出片机构的传送带上。采用旋转式、交替式结构并用，两排传送结构并行，两片硅片同时传送，不影响进片速度，两套视觉定位系统、两套印刷结构同时印刷，可有效提升产能，且方便维护。
硅片加工系统方法

[实用新型]双硅片加工系统-CN202121763587.3有效
发明人：陆瑜 -专利权人：苏州迈为科技股份有限公司
申请日： 2021-07-30 - 公布日： 2022-02-01 - 主分类号： B41F17/24 文献下载
摘要：本申请实施例提供一种双硅片加工系统，其中系统包括：送片机构、旋转运送机构、定位机构、定位平台、印刷机构、印刷平台和出片机构；定位平台上设置有定位机构，印刷平台上设置有印刷机构；运送板的两个第二端在传送带和定位平台之间移动；运送板用于将送片机构的传送带上的双硅片同步移动至定位平台进行定位，定位平台用于将定位后的双硅片同步运送至印刷平台进行印刷后送回至定位平台，运送板还用于将定位平台的双硅片同步移动至出片机构的传送带上。采用旋转式、交替式结构并用，两排传送结构并行，两片硅片同时传送，不影响进片速度，两套视觉定位系统、两套印刷结构同时印刷，可有效提升产能，且方便维护。
硅片加工系统

[发明专利]一种料盒式硅片转移机构-CN202011340405.1在审
发明人：周军;戴秋喜;潘加永;刘光照 -专利权人：苏州映真智能科技有限公司
申请日： 2020-11-25 - 公布日： 2021-01-15 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明公开了一种料盒式硅片转移机构，包括硅片分离模块、硅片移载模块和硅片输送模块，其中，所述硅片分离模块将料盒内的层叠硅片逐片转移至所述硅片移载模块上，由第一超声波悬浮输送带悬浮运送所述硅片至所述硅片输送模块上，由第二超声波悬浮输送带悬浮运送所述硅片至下段工位，该料盒式硅片转移机构，实现了料盒式太阳能电池硅片的无接触式输送，提高了转移料盒式硅片的转移效率，可有效避免硅片出现裂开、破损、划伤及污染等问题，提高了硅片质量，减少了资源浪费，且该料盒式硅片转移机构结构紧凑，占用空间小。
一种盒式硅片转移机构

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