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- [发明专利]一种含氯硅烷废气的回收处理装置-CN201410166914.5有效
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张旭
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新特能源股份有限公司
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2014-04-23
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2018-02-09
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C01B33/107
- 本发明提供一种含氯硅烷废气的回收处理装置，包括氯硅烷回收单元、氯硅烷淋洗单元和尾气放空单元，所述氯硅烷回收单元与氯硅烷淋洗单元相连，用于将含氯硅烷废气中的部分氯硅烷气体回收，并将剩余废气输送至氯硅烷淋洗单元；所述氯硅烷淋洗单元还与尾气放空单元相连，用于将所述剩余废气中的余下氯硅烷气体和氯化氢气体淋洗下来，以清除所述剩余废气中的氯硅烷气体和氯化氢气体，并将清除了氯硅烷气体和氯化氢气体的剩余废气输送至尾气放空单元；所述尾气放空单元用于将所述清除了氯硅烷气体和氯化氢气体的剩余废气放空。本发明所述回收处理装置既能充分回收废气中的氯硅烷资源，又能对废气中无法回收的氯硅烷进行无污染处理。
- 一种硅烷废气回收处理装置
- [实用新型]一种检测硅烷气体的检测装置-CN202020852535.2有效
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徐俊瑞
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徐俊瑞
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2020-05-20
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2021-02-26
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G01N33/00
- 本实用新型属于硅烷气体检测设备技术领域，具体涉及一种检测硅烷气体的检测装置，包括装置主体，所述转换管的一侧安装有流量计，所述输气管的一侧安装有分流管，所述固定槽的上方安装有检测仪，所述装置主体的上方安装有碱液箱，所述出气管的一侧安装有收集桶，分流管用于将输气管内的硅烷气体进行气体分流，不仅可以避免气体堆积在同一管道而发生燃烧和爆炸，而且分流后的硅烷气体会流进相应的检测仪进行检测，增加检测数据的多样性和精准性，碱液箱用来盛放低浓度的碱液，进而完成对硅烷气体的第一步水解，收集桶通过去离子水与硅烷气体的水解反应，完成对硅烷气体的第二步水解，避免硅烷气体因水解反应不完全，而排放到空气中对环境造成危害。
- 一种检测硅烷气体装置
- [实用新型]气体管线防堵塞装置-CN201720053313.2有效
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江敏
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德山化工（浙江）有限公司
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2017-01-17
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2017-09-08
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F16L55/24
- 本实用新型公开乐了一种气体管线防堵塞装置，设置在排放含有氯硅烷气体和惰性气体的微量气体的气体管线出口的管线防堵塞装置，包括以下几个部分气体管线的出口向上设计的气体出口（Ａ）；惰性气体保有室（Ｂ），其上端和气体管线的出口（A）有间隙，其下端设置在气体管线的出口（A）的下方，其内部为在氯硅烷和惰性气体氛围；气体防扩散室（Ｃ），从外部完全包覆惰性气体保有室（Ｂ），其上部和气体吸引管线（E）连接。通过使用本实用新型中的装置，在将含有氯硅烷以及氮气的氯硅烷密封气体作为流体的管线出口，可以防止因氯硅烷水解生成二氧化硅，而导致的管线堵塞。
- 气体管线堵塞装置
- [实用新型]气体供给装置-CN201320615768.0有效
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张海华;高椋敦嗣
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德山化工（浙江）有限公司
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2013-09-30
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2014-05-14
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B01J19/14
- 本实用新型提供一种气体供给装置，该气体供给装置具有惰性气体配管、分支配管、硅烷传感器、第1阀门、第2阀门、第3阀门。上述惰性气体配管连接供液态氯硅烷流动的氯硅烷配管和惰性气体供给源。上述分支配管与上述惰性气体配管相连接。上述硅烷传感器设置在上述分支配管上。上述第1阀门设置在上述惰性气体配管上，且配置在上述氯硅烷配管和上述分支配管之间。上述第2阀门设置在上述惰性气体配管上，且配置在上述惰性气体供给源和上述分支配管之间。上述第3阀门设置在上述分支配管上，且配置在上述惰性气体配管和上述硅烷传感器之间。
- 气体供给装置
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