“研磨浆”专利关键词查询_检索下载_查询列表_检索列表_行业专利分布_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果337556个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]研磨浆供应系统及无尘室-CN201910891240.8在审
发明人：李善雄 -专利权人：夏泰鑫半导体（青岛）有限公司
申请日： 2019-09-20 - 公布日： 2021-03-23 - 主分类号： B24B57/02 文献下载
摘要：本发明提供一种研磨浆供应系统，所述研磨浆供应系统包括供应装置和微波单元；所述供应装置包括接收研磨用研磨浆的研磨浆输入端、用于输出所述研磨浆至研磨机台的研磨浆输出端、设置在所述研磨浆输入端与所述研磨浆输出端之间的其他功能部件、及连接所述研磨浆输入端、所述其他功能部件及所述研磨浆输出端的传输管，所述微波单元至少向所述供应装置的所述其他功能部件及所述传输管中的研磨浆发射微波。本发明的研磨浆供应系统通过微波单元可以抑制研磨浆中的微生物生长。
研磨供应系统无尘室

[发明专利]用以化学机械研磨的多用途研磨浆施放臂-CN200510085447.4有效
发明人：吕芳林;钱文正;张家诚;罗勇往 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2005-07-20 - 公布日： 2006-09-06 - 主分类号： H01L21/304 文献下载
摘要：一种可调整的研磨浆供应设备，用于化学机械研磨工艺中。研磨浆供应臂以可转动的方式安装于研磨设备上，且含有研磨浆供应组件，其中研磨浆供应组件可沿着研磨浆供应臂的长边滑动。上述可调整结构的组合可以让使用者于研磨垫中需要的位置施放研磨浆，其中研磨垫位于研磨设备上。先前所述的研磨浆供应设备可使用马达驱动，如此一来研磨浆供应臂即可自动地旋转，且研磨浆供应组件亦可自动地沿着研磨浆供应臂滑动。而马达可使用计算机控制或靠使用者手动调整。一种使用可调整的研磨浆供应设备的方法亦同时披露。
用以化学机械研磨多用途施放

[实用新型]一种自动稳定研磨料浆浓度的装置-CN202122043306.3有效
发明人：许恒峰;冯礼强;崔行宇 -专利权人：聊城市昌润复合材料有限公司
申请日： 2021-08-27 - 公布日： 2022-02-01 - 主分类号： B02C7/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种自动稳定研磨料浆浓度的装置，包括PLC、研磨机构、料浆箱和研磨料箱，所述研磨机构包括研磨盘和设置于研磨盘下的料浆回收腔，所述研磨料箱底端通过漏斗型出料口与料浆箱相连通，所述漏斗型出料口上设有开关马达，所述料浆箱内设有料浆浓度传感器和料浆泵，所述料浆泵通过第一料浆管与研磨盘相连通，所述料浆回收腔通过第二料浆管与料浆箱相连通，所述开关马达、料浆浓度传感器和料浆泵均与PLC信号连接，通过在料浆箱内安装料浆浓度传感器，当料浆箱内料浆浓度不符合设定范围值时，将信号传递给PLC，控制研磨料箱给料到料浆箱内，保证料浆箱内研磨料浆浓度的自动稳定，同时研磨后的料浆还可二次回收至料浆箱，保证料浆不浪费。
一种自动稳定研磨浓度装置

[发明专利]研磨浆供应系统、化学机械研磨装置及研磨浆供应方法-CN201910899116.6在审
发明人：李善雄 -专利权人：夏泰鑫半导体（青岛）有限公司
申请日： 2019-09-23 - 公布日： 2021-03-23 - 主分类号： B24B57/02 文献下载
摘要：本发明提供一种研磨浆供应系统，其应用于制造半导体元件的化学机械研磨工艺，其包括:转动装置；研磨浆容器，所述研磨浆容器用于容纳研磨浆，所述研磨浆容器固定于所述转动装置，且能够在所述转动装置的带动下沿所述研磨浆容器在水平方向上的中心轴转动；所述研磨浆容器包括围绕所述中心轴的侧壁，所述侧壁设置有开口向下的出料口，所述研磨浆通过所述出料口至少在重力作用下输出所述研磨浆。本发明还提供一种化学机械研磨装置及一种研磨浆供应方法。本发明的研磨浆供应系统能够简化生产流程并节约成本。
研磨供应系统化学机械装置方法

[发明专利]一种化学机械研磨装置及化学机械研磨方法-CN201710014426.6有效
发明人：史超;赵雪峰;贾海卫 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司
申请日： 2017-01-09 - 公布日： 2021-02-26 - 主分类号： B24B37/10 文献下载
摘要：本发明提供一种化学机械研磨装置和化学机械研磨方法，所述装置包括：研磨浆供给臂，所述研磨浆供给臂设置有研磨浆喷嘴，用以喷洒研磨浆至研磨垫；所述研磨浆供给臂上还设置有高压空气喷嘴，用以向所述研磨垫喷洒高压空气采用本发明提供的化学机械研磨装置以及化学机械研磨方法在进行化学机械研磨中通过在研磨前采用高压空气对残留在研磨垫表面的去离子水的去除，可改善研磨浆在研磨垫表面的均匀分布，从而提高化学机械研磨的均匀性；同时，有效减少研磨初期研磨浆喷洒至研磨垫表面形成均匀分布的时间，减少研磨浆用量，提高研磨速率，增加研磨浆料利用率，减少生产成本。
一种化学机械研磨装置方法

[实用新型]溶浆研磨系统-CN202121268235.0有效
发明人：唐华祥;马建勇 -专利权人：广州百海工程机械有限公司
申请日： 2021-06-07 - 公布日： 2022-03-11 - 主分类号： B02C21/00 文献下载
摘要：本实用新型实施例提供了一种溶浆研磨系统，包括搅拌罐、溶浆研磨机、溶浆过滤器、研磨罐以及储存罐；所述搅拌罐的出口连通所述溶浆研磨机的进口；所述溶浆研磨机的出口连通所述溶浆过滤器的进口；所述溶浆研磨机的出口连通所述研磨罐的进口；所述溶浆过滤器的出口连通所述储存罐的进口；所述溶浆过滤器的出口连通所述研磨罐的进口；所述研磨罐的出口连通所述溶浆过滤器的进口。本实用新型实施例解决了物料研磨不彻底、研磨粗细度难控制、流动性差和自动化程度低等问题，大大提高了溶浆研磨的效率。
研磨系统

[实用新型]一种研磨抛光机自动添加研磨浆装置-CN201220075687.1有效
发明人：陈从贺 -专利权人：福州恒光光电有限公司
申请日： 2012-03-02 - 公布日： 2012-10-03 - 主分类号： B24B57/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种研磨抛光机自动添加研磨浆装置，其设有研磨浆容器，所述研磨浆容器的底部设有导管，导管中设有流量调节装置，导管的端头连接至研磨抛光机的研磨抛光位置，所述研磨浆容器的顶部设有密封盖，所述密封盖上设有可取下的透气塞本实用新型在研磨抛光机上增加一个自动添加研磨浆装置，利用重力将研磨浆送至研磨抛光位置，研磨浆的添加流量可以调节，本装置简单可靠，操作方便，制造成本低。
一种研磨抛光机自动添加装置

[发明专利]化学机械研磨系统及化学机械研磨方法-CN200710003961.8无效
发明人：余振华;黄见翎 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2007-01-19 - 公布日： 2008-01-30 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：一种化学机械研磨系统及化学机械研磨方法，其中该化学机械研磨系统包括研磨垫、上研浆分配系统及下研浆分配系统。上研浆分配系统用以分配研浆的至少一第一研浆成分至该研磨垫上，并且具有第一研浆储存器。下研浆分配系统用以从该研磨垫的底部及经由位于该研磨垫中的开口分配该研浆的至少一第二研浆成分，并且具有第二研浆储存器。本发明可以实现显著的灵活性以及可以满足对于不同研磨工艺的定做需求，其不仅能改善研磨质量，而且还可降低成本。
化学机械研磨系统方法

[实用新型]一种磨浆机-CN201820887794.1有效
发明人：张远林;张晓超 -专利权人：天津超算科技有限公司
申请日： 2018-06-08 - 公布日： 2019-01-22 - 主分类号： D21D1/30 文献下载
摘要：本实用新型提出一种磨浆机，其特征在于，包括：送料筒、振动筛、粗研磨箱、细研磨箱，首先浆块由进料漏斗进入导料筒，在导料螺旋杆的推进下不断将浆块送入振动筛，在振动筛内进行振动筛分，将粗浆块通过第二导料管导入粗研磨箱内先进行粗研磨，将细浆块通过第四导料管导入细研磨箱进行研磨，通过振动筛将浆块筛分为粗浆块和细浆块，并分别送入粗研磨箱和细研磨箱进行分别研磨，采用这种结构磨浆效果大大提高。
研磨粗研磨振动筛导料管磨浆机粗浆细浆送入本实用新型导料螺旋杆进料漏斗磨浆效果导料筒送料筒

[实用新型]一种磨浆设备-CN202022935754.X有效
发明人：王一帆;王传彭;刘功明 -专利权人：山东亿尚同颜生物科技有限公司
申请日： 2020-12-09 - 公布日： 2021-12-10 - 主分类号： A23L11/45 文献下载
摘要：本申请公开了一种磨浆设备，属于食品加工技术领域。该磨浆设备包括：研磨组件和至少一个浆渣分离组件；浆渣分离组件设置有至少一个浆渣分离组件入口、至少一个出浆口、至少一个出渣口和至少一个浆渣分离单元；浆渣分离组件入口与研磨组件的设置以使得经研磨组件研磨后的浆渣混合物通过浆渣分离组件入口进入浆渣分离组件；浆渣分离单元分离浆渣混合物为浆液和渣料；出渣口用于排出经浆渣分离单元分离的渣料；出渣口与研磨组件如此设置以使得经出渣口排出的渣料进入研磨组件继续研磨。该磨浆设备产生的渣料容易进入磨浆机壳体内进行循环搅碎和研磨，且进入浆渣分离单元的渣容易排出和易清洗，实现了简单分离浆渣混合物中的渣料和浆渣料循环研磨。
一种设备

[发明专利]一种渣浆分离并能连续出浆的家用豆腐料理机-CN201810788327.8在审
发明人：蹇可宪 -专利权人：蹇可宪
申请日： 2018-07-18 - 公布日： 2018-09-28 - 主分类号： A47J43/046 文献下载
摘要：本发明公开了一种渣浆分离并能连续出浆的家用豆腐料理机，包括底座以及活动安装在底座上的研磨罐，研磨罐的顶部设有罐盖，罐盖上安装有进料漏斗，研磨罐底部设有下端与电机可拆卸连接且上端向上延伸的传动轴，传动轴上可拆卸连接有研磨轴，研磨轴外侧面开有螺旋型凹槽，研磨轴的下端设有甩浆盘，甩浆盘的底部固定有滤网，研磨轴的外侧套有一个内壁上设有磨齿的套筒，套筒底部设有控浆盘，套筒与螺旋型凹槽之间形成研磨孔。本发明将磨盘研磨改为研磨孔研磨，并通过甩浆盘进行甩浆，使得研磨过程中减少了对电机扭矩力的需求，将滤网安装在甩浆盘，使滤网随着甩浆盘一起转动，给渣浆分离提供更多动力，使得渣浆分离更充分，从而提高豆腐的产量
浆盘渣浆分离研磨轴研磨研磨罐滤网套筒豆腐可拆卸连接螺旋型凹槽传动轴料理机研磨孔罐盖下端底座电机扭矩活动安装进料漏斗向上延伸多动力外侧面上端磨盘磨齿内壁转动电机

[实用新型]一种渣浆分离并能连续出浆的家用豆腐料理机-CN201821142075.3有效
发明人：蹇可宪 -专利权人：蹇可宪
申请日： 2018-07-18 - 公布日： 2019-05-21 - 主分类号： A47J43/046 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种渣浆分离并能连续出浆的家用豆腐料理机，包括底座以及活动安装在底座上的研磨罐，研磨罐的顶部设有罐盖，罐盖上安装有进料漏斗，研磨罐底部设有下端与电机可拆卸连接且上端向上延伸的传动轴，传动轴上可拆卸连接有研磨轴，研磨轴外侧面开有螺旋型凹槽，研磨轴的下端设有甩浆盘，甩浆盘的底部固定有滤网，研磨轴的外侧套有内壁上设有磨齿的套筒，套筒底部设有控浆盘，套筒与螺旋型凹槽之间形成研磨孔。本实用新型将磨盘研磨改为研磨孔研磨，通过甩浆盘进行甩浆，使得研磨过程中减少了对电机扭矩力的需求，将滤网安装在甩浆盘，使滤网随着甩浆盘一起转动，给渣浆分离提供更多动力，使得渣浆分离更充分，从而提高豆腐的产量
浆盘渣浆分离研磨轴研磨研磨罐滤网套筒豆腐本实用新型可拆卸连接螺旋型凹槽传动轴料理机研磨孔罐盖下端底座电机扭矩活动安装进料漏斗向上延伸多动力外侧面上端磨盘磨齿内壁转动电机

[实用新型]一种色浆研磨系统-CN202020505298.2有效
发明人：朱艳涛 -专利权人：珠海奥维数码科技有限公司
申请日： 2020-04-08 - 公布日： 2020-11-20 - 主分类号： B02C23/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种色浆研磨系统，初时第二料桶中加入有待研磨的色浆，工作时控制器通过动力泵来控制第二料桶向色浆研磨机构送料的过程；第一料桶的设置，便于色浆研磨机构研磨过的色浆的输出存储，以便于第二料桶向色浆研磨机构送料时，未研磨的色浆不会与研磨过的全部色浆混合在一起继续进行研磨而影响研磨质量和研磨效率；传感器的设置，便于当第一料桶液面到达一定高度时，触发控制器控制受控阀门打开而使第一料桶通过落料管向第二料桶落料，实现对第一料桶的防溢控制，实用性好；另，本色浆研磨系统实现了色浆传送的循环线路，从第一料桶落入第二料桶中的色浆可以再次进入色浆研磨机构中，根据实际要求进行再一次或多次的循环研磨。
一种研磨系统

[发明专利]研磨材料淤浆的再生方法-CN201680071266.2有效
发明人：乾智惠;前泽明弘;永井佑树;平山奈津实 -专利权人：柯尼卡美能达株式会社
申请日： 2016-12-01 - 公布日： 2019-11-01 - 主分类号： B24B57/02 文献下载
摘要：本发明的课题是提供一种能够有效地再生研磨速度高的研磨材料淤浆的研磨材料淤浆的再生方法。该研磨材料淤浆的再生方法是用含有研磨材料粒子和多种添加剂的研磨材料淤浆研磨以氧化硅为主要成分的被研磨物后，将回收的回收研磨材料淤浆进行再生的研磨材料淤浆的再生方法，其特征在于，具有如下的再生工序：一边相对于用于被研磨物的研磨时的未使用的研磨材料淤浆的以单位质量％表示的研磨材料浓度，将以单位质量％表示的研磨材料浓度维持在0.2～3000％的范围内，一边在回收研磨材料淤浆所含有的添加剂中，将分子量为500以上的添加剂和吸附于研磨材料粒子的添加剂与研磨材料粒子一起进行回收
研磨材料淤浆再生研磨材料粒子添加剂研磨回收被研磨物研磨材料再生工序未使用氧化硅有效地吸附

[发明专利]一种硅片研磨料浆循环装置-CN202210630676.3在审
发明人：文东辉;徐浩哲;黄笑容;吴晓峰;程美娇 -专利权人：浙江工业大学;浙江中晶科技股份有限公司
申请日： 2022-06-06 - 公布日： 2022-08-19 - 主分类号： B01F27/90 文献下载
摘要：本发明属于硅片磨削加工技术领域，具体涉及一种硅片研磨料浆循环装置，包括：粗过滤器，用于对硅片研磨料浆进行粗过滤；料浆收集桶，用于收集经过粗过滤的硅片研磨料浆；皮带式过滤机构，用于对料浆收集桶内的硅片研磨料浆进行精过滤；料浆输出桶，用于收集经过精过滤的硅片研磨料浆；其中，料浆输出桶具有料浆输出口，用于输出硅片研磨料浆以对硅片进行研磨加工。本发明的硅片研磨料浆循环装置，将过滤环节分解为粗过滤与精过滤两道工序，其中，精过滤环节设计的皮带式过滤机构，使得过滤网通过皮带式的转动进行循环，不停更新进行过滤的滤孔，减少堵塞的问题发生。
一种硅片研磨循环装置

1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
下一页»
尾页
共 100000 条