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- [发明专利]多反应腔原子层沉积装置和方法-CN200810055628.6无效
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严利人;刘志弘;刘朋;窦维治;韩冰
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清华大学
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2008-01-04
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2008-07-09
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C23C16/44
- 本发明属于半导体制造装备和加工技术领域的一种多反应腔的原子层沉积装置和方法。该原子层沉积装置为A、B两相反应的反应腔通过一个过渡腔并联在一组真空泵组上,A、B两反应室各自通过通道阀门将反应腔和过渡腔连通,反应腔再通过真空阀、贮存室隔板和贮存室相通,在贮存室上部设置进气阀构成。所述沉积方法是在该装置内,集成电路的圆片在A、B反应腔之间经过通道阀门来回传送,传送至A反应腔时将发生A相反应,传送至B反应腔时将发生B相反应,A、B两相反应交替进行,将在圆片表面逐原子层地生长出集成电路所要求厚度的纳米薄层或复合结构材料对反应腔室的沾污小,提高淀积质量;节约反应源用量,降低工艺成本,使环境危害程度最低。
- 反应原子沉积装置方法
- [实用新型]用于液态均相反应的管式反应器-CN201320028183.9有效
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汪宝和;刘成;魏东炜;田红兵;殷金柱;朱璟
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天津大学
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2013-01-18
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2013-07-10
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B01J19/24
- 本实用新型提出一种用于液态均相反应的管式反应器,反应物的反应区是用多条等径直管段依次排列并由弯管段首尾相连而形成的曲折通道空间所构成。整个反应通道的各横截面均为空心圆形,无缩颈管段及或膨胀管段,亦无运动部件及或任何静态填充物。管段的直径为50~150mm,每段长度不小于直径的40倍。弯管段的直径应与直管段的直径相同,弯管段的角度可依反应器整体的空间布局的要求而变化。本实用新型的管式反应器结构简单组装便捷,减少维修,节省动力,便于控制,有利于反应过程运行稳定和产品质量稳定;由于本实用新型的管式反应器内物料流型更为接近于平推流,而远远优于搅拌釜内的全混流,使得反应器的操作效率和产品质量得以提高
- 用于液态均相反应反应器
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