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[实用新型]一种靶材部件及平面靶-CN201721669899.1有效
发明人：桂丹 -专利权人：江西中科泰盛光电有限公司
申请日： 2017-12-05 - 公布日： 2018-06-29 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种靶材部件，包括靶材和底座，所述靶材包括多个靶材片，多个靶材片排列形成靶面，各个靶材片均与底座连接，各个靶材片与所述底座经铟焊接，各个靶材片均为条形，且相互平行或基本相互平行，各个靶材片均为长度一致或基本一致的矩形片，以靶面中心线为分割线，自靶面中心线向靶面两侧方向，各个靶材片的宽度逐渐变大，各矩形片形成的靶面为矩形面。本实用新型通过调整靶材片来保持靶面满足溅射工艺的要求，将较快速度消耗掉的靶材片，通过将其移至其它位置，并由仍然较厚的靶材片取而代之，实现保持靶面满足溅射工艺的要求，大大的提高了靶材的利用率。
靶材靶面本实用新型靶材部件矩形片底座溅射平行长度一致底座连接逐渐变大分割线矩形面平面靶焊接消耗

[实用新型]一种拼接型金属靶材-CN201922398725.1有效
发明人：周其刚;戴慧敏;李宪民 -专利权人：南京欧美达应用材料科技有限公司
申请日： 2019-12-27 - 公布日： 2020-08-25 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种拼接型金属靶材，包括若干金属靶材片，每个所述金属靶材片至少设有一个相同的L型边，两个相邻金属靶材片中的其中一个金属靶材片的L型边正放，另一金属靶材片的L型边倒扣在正放的金属靶材片的L优点：本实用新型的金属靶材采用L型拼接，与现有技术的拼接相比不存在贯穿的缝隙，而且通过凹槽和凸起的设置，能够将相邻的靶材片牢牢固定在一起，能够防止靶材片偏移或者位移，进一步避免产生缝隙。
一种拼接金属

[实用新型]一种多片拼接平面绑定靶材工装-CN202220723711.1有效
发明人：张凤戈;岳万祥;李航;孙建朋;缪磊 -专利权人：苏州六九新材料科技有限公司
申请日： 2022-03-30 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本申请涉及靶材绑定的技术领域，特别涉及一种多片拼接平面绑定靶材工装，一种多片拼接平面绑定靶材工装应用于将多片靶材固定在背板上，包括粘接盛放多片靶材的保护板，所述保护板上设置有多个均匀分布限位件，且所述限位件处于相邻靶材之间本申请提高了对靶材的绑定效果。
一种拼接平面绑定工装

[实用新型]一种拼接型陶瓷靶材-CN202023303456.5有效
发明人：周其刚;李宪民;侯金明 -专利权人：南京欧美达应用材料科技有限公司
申请日： 2020-12-30 - 公布日： 2021-10-22 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种拼接型陶瓷靶材，包括多个固定在背板上的陶瓷靶材片，两片相邻的陶瓷靶材片的接触面上设有形状相吻合从而能将两片相邻的陶瓷靶材片拼接在一起的拼接边；两个相邻陶瓷靶材片中的其中一个陶瓷靶材片的拼接边倒置，另一陶瓷靶材片的拼接边向上设置在向下设置的拼接边的下方，从而使所述两个相邻的陶瓷靶材片贴合在一起；所述拼接边包括第一拼接边，所述第一拼接边的形状为中心对称的倒S形，所述第一拼接边上设有相适应的凹槽和凸起本实用新型的陶瓷靶材片采用拼接边拼接，与现有技术的拼接相比不存在贯穿的缝隙，有利于提高产品质量。
一种拼接陶瓷

[实用新型]一种靶材背板-CN202222479331.0有效
发明人：白杨杨 -专利权人：北京贵金成科技有限公司
申请日： 2022-09-19 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本实用新型涉及溅射镀膜技术领域，具体为一种靶材背板，其靶材背板内部的结构简单，并且具有良好的散热性，包括靶材背板，靶材背板底部的中部设置有溅射靶材，靶材背板的内部设置有冷却槽，冷却槽的内部设置有数个导热块，靶材背板的顶端设置有散热片，散热片上设置有数个翅片，散热片顶部的一侧设置有进液接头，散热片顶部的另一侧设置有出液接头，靶材背板和导热块为一体成型，靶材背板和导热块的材质为同一种材质，散热片根据使用需求设置为可拆卸的或者不可拆卸的
一种背板

[实用新型]一种新型旋转溅射靶枪结构-CN202220006169.8有效
发明人：周焱文 -专利权人：武汉普昊科技有限公司
申请日： 2022-01-04 - 公布日： 2022-07-12 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新型旋转溅射靶枪结构，包括靶材头罩，所述靶材头罩一端开设有靶材通孔，所述靶材头罩内部固定连接有弹性缓冲垫环，所述弹性缓冲垫环一端固定连接有靶材垫片，所述靶材头罩内壁侧方开设有连接内螺纹，所述靶材头罩一端螺合连接有永磁体基座，所述永磁体基座外侧开设有连接外螺纹，所述永磁体基座一端设置有靶材片。有益效果在于：本实用新型中转动靶材头罩将其通过连接内螺纹和连接外螺纹从永磁体基座上旋下，将靶材片放置于永磁体基座之上，接着将靶材头罩螺合连接于永磁体基座之上，使其内部的靶材垫片贴合靶材片将其固定，即可便捷快速的完成靶材的安装
一种新型旋转溅射结构

[发明专利]靶材组件的焊接方法-CN201310754923.1在审
发明人：姚力军;赵凯;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;李超 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2013-12-31 - 公布日： 2015-07-01 - 主分类号： B23K20/26 文献下载
摘要：一种靶材组件的焊接方法，包括以下步骤提供至少两个靶材组件坯料，每个所述靶材组件坯料包括背板和设置于背板凹槽内的靶材；将所述至少两个靶材组件坯料叠放至真空包套内，相邻的靶材组件坯料之间具有隔离片；将所述真空包套放入热等静压炉，利用热等静压工艺将每个靶材组件坯料中的靶材与背板进行焊接，形成至少两个靶材组件；所述焊接完成后，对真空包套进行冷却，去除包套和隔离片，取出至少两个靶材组件。采用本发明的方法能够实现在一个包套内实现两个靶材组件坯料中的各自的靶材与背板之间的焊接，从而形成至少两个靶材组件。进而提高了靶材组件的焊接效率。
组件焊接方法

[发明专利]一种可承受高功率溅射的旋转靶材及其制备方法-CN201810818156.9有效
发明人：孔伟华 -专利权人：江苏迪丞光电材料有限公司
申请日： 2018-07-24 - 公布日： 2019-04-12 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明涉及溅射靶材技术领域，具体提供一种可承受高功率溅射的旋转靶材，包括背管以及固定套接在背管外壁的一节靶材，背管与靶材通过填充在二者间隙内的邦定材料和金属网片组成的三明治结构连接。该靶材制备过程主要包括四步：(1)清洗背管和靶材；(2)金属网片缠绕在背管上，靶材的内表面衬一层金属网片；(3)邦定材料涂刷在背管表面和靶材内孔表面，然后把靶材从一端套在背管上，固定；(4)套装好的靶材和背管固化本发明的靶材可承受高功率的溅射，满足目前大功率镀膜工艺的需求，极大地提高了镀膜的效率。
靶材背管金属网片高功率溅射旋转靶材三明治结构镀膜工艺溅射靶材内孔表面制备过程固定套内表面镀膜套在涂刷外壁制备固化填充缠绕清洗

[实用新型]一种金属靶材-CN201922398724.7有效
发明人：周其刚;李宪民 -专利权人：南京欧美达应用材料科技有限公司
申请日： 2019-12-27 - 公布日： 2020-08-07 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种金属靶材，包括若干金属靶材片，每个所述金属靶材片至少设有一个45度斜边，两个相邻金属靶材片中的其中一个金属靶材片的45度斜边向下设置，另一金属靶材片的45度斜边向上设置在所述向下设置的优点采用45度角的斜边拼接，与现有技术的拼接相比不存在贯穿的缝隙，而且通过限位条和限位槽的设置，能够将相邻的靶材片牢牢固定在一起，能够防止靶材片偏移或者位移，进一步避免产生缝隙。
一种金属

[发明专利]一种光学滤光片镀膜方法-CN202110851765.6有效
发明人：王鹏涛;崔户丹 -专利权人：华天慧创科技（西安）有限公司
申请日： 2021-07-27 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明提供一种光学滤光片镀膜方法，采用双面磁控溅射镀膜设备，在镀膜支架上沿周向安装多个基片，在镀膜支架上方和下方分别设置上靶材和下靶材，在上靶材与镀膜支架之间和下靶材与镀膜支架之间均设置膜厚补偿结构以对上靶材和下靶材部分遮挡，旋转镀膜支架，利用上靶材和下靶材在基片两面同时进行镀膜，得到光学滤光片。
一种光学滤光镀膜方法

[实用新型]防止周围未打靶材被烧毁的用于重频激光打靶的靶片-CN202123151808.4有效
发明人：王泽崧;谢岷轩;俞志成;马玲 -专利权人：北京锐德康科技有限公司
申请日： 2021-12-15 - 公布日： 2022-08-09 - 主分类号： A61N5/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种防止周围未打靶材被烧毁的用于重频激光打靶的靶片，所述靶片包括两片金属片和夹持于其间的绝缘片。靶片上以点阵方式排布靶孔，依次贯穿金属片、绝缘片和金属片，其中，靶孔在金属片上的部分为由圆柱和圆台构成，打靶产生的能量在圆台面处反射，防止能量被传递至邻近的靶孔，保护周围未打靶材，从而提高靶材的存活率或利用率；而且金属片和绝缘片之间通过可拆卸螺母连接，便于靶片安装和靶孔的加工，在实践中具有极其重要的意义。
防止周围打靶烧毁用于激光

[实用新型]磁控溅射设备及其靶台-CN201320161814.4有效
发明人：陈昊;罗海林;贺凡;肖旭东;顾光一 -专利权人：深圳先进技术研究院;香港中文大学
申请日： 2013-04-02 - 公布日： 2013-09-04 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：一种靶台，用于在衬底上通过磁控溅射法形成薄膜，包括靶材、金属支板、阳极板、阴极板及挡片；所述靶材固定于与所述衬底相对的位置；所述支板围绕于所述靶材周围并与所述靶材相对于所述衬底的面相垂直，同时与靶材的侧面形成间隙；所述阳极板垂直固定于所述支板上，所述阳极板位于所述靶材和衬底之间，且位于衬底上接收溅射粒子的面积之外；阴极板固定于所述靶材之下；所述挡片设置于所述靶材的周缘，并遮盖所述支板与所述靶材的侧面之间的间隙。上述磁控溅射设备中，挡片能够阻挡并承接下落的碎屑，延长了短路维护周期，降低了维护成本。同时还提供了一种使用上述靶台的磁控溅射设备。
磁控溅射设备及其靶台

[发明专利]一种靶材钎焊方法-CN202111539561.5在审
发明人：黄宇彬;童培云;朱刘;周俊驹 -专利权人：先导薄膜材料（广东）有限公司
申请日： 2021-12-15 - 公布日： 2022-03-01 - 主分类号： B23K1/00 文献下载
摘要：本发明属于靶材绑定焊接技术领域，具体涉及一种靶材钎焊方法，包括将靶坯与背板的绑定面进行粗糙度处理以及喷涂镍合金处理，随后将背板放平，并于其上依次放置铟片、靶坯，再将稳压电源的正极、负极分别与靶坯、背板连接，通电加热使铟片熔化为铟熔液，铟熔液流动填充靶坯、背板绑定面的镍合金层；随后撤去电压、自然冷却，完成背板与靶坯的绑定。由于整个过程不受加热平台尺寸的限制，并且铟片可采用拼接的铟片，进一步扩展了可绑定的靶材的尺寸；与传统靶材铟绑定的方法相比，本申请提供的方法更加安全、节能、易于操作，且靶材绑定率不低于97％。
一种钎焊方法

[发明专利]一种稀土靶材、背板及稀土靶材焊接方法-CN202211090269.4在审
发明人：钟嘉珉;陈德宏;王爽;程军;王志强;庞思明;李宗安;杨秉政;吴道高;张小伟;刘德忠;韩立国 -专利权人：有研稀土新材料股份有限公司;有研稀土高技术有限公司
申请日： 2022-09-07 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： B23K33/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种稀土靶材、背板及稀土靶材焊接方法，涂覆有焊料的无凹槽背板和涂覆有焊料的有台阶的稀土靶材，焊接方法具体为：常温下将稀土靶材和背板的焊接面扣合在一起，并在稀土靶材与背板之间放置至少一层焊料片；在第一预设温度的预设比例范围内向稀土靶材和背板施加预设压力值，使稀土靶材和背板焊接在一起，第一预设温度小于焊料片的熔点温度；在稀土靶材和背板冷却至常温后，对二者进行焊接后处理。通过将涂覆有铟、锡焊料的无凹槽背板和涂覆有相同焊料的有台阶的稀土靶材焊接在一起，并在二者之间设置相同材质的焊料片，在低于铟等焊料熔点下施加压力控制焊层厚度，实现了稀土靶材高质量焊接，减缓了稀土靶材和焊料的氧化过程
一种稀土背板焊接方法

[发明专利]除氧化物的旋转靶材绑定方法、计算机可读存储介质及绑定装置-CN202110605671.0有效
发明人：雷雨;周志宏;肖世洪;周昭宇;汪政军;刘芳 -专利权人：广州市尤特新材料有限公司
申请日： 2021-05-31 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明涉及磁控溅射靶材制备技术领域，特别涉及一种除氧化物的旋转靶材绑定方法、靶材绑定装置以及计算机可读存储介质。除氧化物的旋转靶材绑定方法将硬质波纹片伸入背管与靶管之间的间隙，提拉硬质波纹片以刮擦背管外表面和/或靶管内表面，并且从背管与最底层靶管之间的间隙底部向上地往所述间隙内注入铟液，控制所述注入铟液的速度以使间隙内铟液的最高点低于硬质波纹片的最低点该除氧化物的旋转靶材绑定方法自下而上地注入铟液，且在注入铟液前先将硬质波纹片伸入背管与靶管之间的间隙，利用硬质波纹片的边角刮擦背管外表面和靶管内表面，除去两者上的氧化铟层或其他氧化物，提升铟与靶材/背管的贴合率
氧化物旋转绑定方法计算机可读存储介质装置

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