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[发明专利]光刻投影物镜热像差在线预测方法-CN201710440136.8有效
发明人：茅言杰;李思坤;王向朝 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2017-06-12 - 公布日： 2018-05-25 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种光刻投影物镜热像差在线预测方法。本方法在光刻照明参数和掩模配置以及工作时序确定的情况下，在曝光间隙通过热像差传感器测量热像差，基于双指数模型建立像质参数的状态转移方程，结合测量数据利用粒子滤波算法预测曝光期间投影物镜的热像差。相比于在先技术，本发明可以更为快速准确地预测投影物镜的热像差。
像差光刻投影物镜投影物镜在线预测粒子滤波算法状态转移方程传感器测量工作时序结合测量曝光间隙曝光期间数据利用照明参数指数模型预测光刻像质掩模配置

[发明专利]光刻投影物镜热像差的快速仿真方法-CN201810603730.9有效
发明人：诸波尔;李思坤;王向朝;步扬;杨朝兴;唐锋 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2018-06-12 - 公布日： 2019-12-03 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种光刻投影物镜热像差快速仿真方法，分为镜片表面光强仿真、镜片温度分布仿真和热像差仿真三个过程。镜片表面光强仿真过程先设定照明方式和掩模图形等参数，然后仿真光瞳面光强分布，通过光瞳映射的方式得到镜片表面光强分布；镜片温度分布仿真过程通过对投影物镜镜片进行平板近似，根据推导的温度分布公式快速仿真镜片温度分布；热像差仿真过程通过计算镜片热折边和热形变引起的光程差变化，拟合得到投影物镜热像差。本发明实现了光刻投影物镜热像差的快速仿真。
镜片像差快速仿真温度分布光刻投影物镜仿真过程投影物镜光强分布掩模图形照明方式光程差光瞳面热形变光瞳拟合推导映射折边近似

[发明专利]光盘设备-CN200580032297.9无效
发明人：近藤健二;山田真一;日野泰守 -专利权人：松下电器产业株式会社
申请日： 2005-07-21 - 公布日： 2007-08-29 - 主分类号： G11B7/095 文献下载
摘要：根据本发明的光盘装置包括倾斜检测器件、彗形像差校正器件和球面像差校正器件。根据倾斜检测结果，确定由彗形像差校正器件进行的校正的量，使得在整个光盘的圆周上该校正的量恒定，并且然后由球面像差校正器件校正所述球面像差。因此，在保证倾斜差额的同时，可以校正由彗形像差校正器件所引起的球面像差。由此改善了所述光盘装置的再现和记录的可靠性。此外，在该装置的启动过程中出现热冲击倾斜的情况下，根据本发明的光盘装置被构造为等待直到热冲击倾斜停止为止。因此，可以在避免了热冲击倾斜的影响的同时执行启动，由此改善了光盘装置的记录和再现操作的可靠性。
光盘设备

[发明专利]一种控制变形像差的光学设计方法-CN201811397611.9有效
发明人：刘岩;赵天承;王春喜;汪涛;姜云翔;王强;高秋娟 -专利权人：北京航天计量测试技术研究所;中国运载火箭技术研究院
申请日： 2018-11-22 - 公布日： 2021-05-18 - 主分类号： G02B26/00 文献下载
摘要：打破传统光学设计理念，提出一种考虑控制变形像差的光学设计新方法，对反射镜面形最优解的确定不仅考虑校正理想态下的固有几何像差，还考虑补偿反射镜热、重力、机械变形引起的附加像差。在不加入辅助设备的情况下，实现对变形像差的高效控制，提高光学系统在实际应用中的成像性能，降低系统的复杂度和成本。
一种控制变形光学设计方法

[发明专利]用于预测投影系统中的像差的方法和设备-CN202080020140.9在审
发明人： M·阿柯斯塞;L·J·A·凡鲍克霍文 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2020-02-10 - 公布日： 2021-10-26 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种对用于投影辐射束的投影系统的热引发式像差进行预测的方法，所述方法包括：使用动态线性函数，根据从所述投影系统输出的辐射束的功率来计算所述投影系统的温度的改变；以及使用静态非线性函数，根据所计算的温度的改变来计算所述热引发式像差
用于预测投影系统中的方法设备

[发明专利]用于校正脂肪引起的像差的方法和系统-CN201680032155.0有效
发明人：迈克尔·M·桑顿;凯·托梅纽斯;阿加皮·莫多瓦纳吉斯 -专利权人：安德拉生命科学公司;迈克尔·M·桑顿
申请日： 2016-07-29 - 公布日： 2020-05-15 - 主分类号： A61B8/13 文献下载
摘要：一种用于校正超声成像中的脂肪引起的像差的方法，包括：将感兴趣区域的热声吸收图像分割成至少一个脂肪区域和至少一个非脂肪区域，通过基于该区域的组织类型向每个区域分配声速来创建声速图，使用所分配的声速来校正分割的热声吸收图像中的像差由此生成校正的热声图像，以及使用校正的热声图像和声速图来校正感兴趣区域的超声图像。
用于校正脂肪引起方法系统

[发明专利]用于减少经颅超声治疗程序期间的颅骨诱发热像差的系统和方法-CN202080039960.2在审
发明人：库莱沃·许尼宁;阿莱克·休斯;邓露露 -专利权人：新宁研究院
申请日： 2020-05-28 - 公布日： 2022-01-28 - 主分类号： A61N7/00 文献下载
摘要：本公开的各种示例实施方案提供了聚焦超声治疗程序中颅骨诱发像差的热变化的动态校正和减少的系统和方法。不同于涉及颅骨诱发像差的静校正的常规方法，本公开的各种示例实施方案采用超声检测和从体积图像数据的颅骨厚度估计来间歇地且动态地确定颅骨诱发像差的校正，使得尽管由于术中颅内加热引起了局部颅骨区的局部热诱发的音速变化，但是像差校正减少在术中被更新并维持。
用于减少超声治疗程序期间颅骨诱发热像差系统方法

[发明专利]透射式非制冷被动消热差长波红外光学系统-CN201410255839.X有效
发明人：邓键;郭立新;李华;秦忠洋;吴晔 -专利权人：西南技术物理研究所
申请日： 2014-06-10 - 公布日： 2014-08-20 - 主分类号： G02B13/14 文献下载
摘要：本发明提出的一种透射式非制冷被动消热差长波红外光学系统，旨在提供一种硫系玻璃口径较小，能够在8μm～12μm长波红外波段，用于非制冷长波红外探测器的具有光学被动消热差性能的光学系统。本发明通过以下述技术方案予以实现：无穷远平行光从物面经球罩进入口径最大的一片弯月正透镜(3)形成汇聚光，汇聚光进入弯月负透镜(4)降低汇聚角度并校正部分色差、热差和单色像差，通过纯球面的第二弯月正透镜(5)增加汇聚角，由其后凹面负透镜(6)平衡热差和减小像差并减小光线汇聚角，进入匹兹万结构的后组即双凸正透镜(7)进一步平衡系统残余的热差、色差和单色像差，并成像在探测器焦面(8)，完成成像的全过程。
透射制冷被动消热差长波红外光学系统

[发明专利]一种基于热光学像质最优的光学遥感器精密控温方法-CN201310526831.8有效
发明人：于波;李春林;王兵;程少园;王小勇;赵振明;赵宇;杨涛 -专利权人：北京空间机电研究所
申请日： 2013-10-30 - 公布日： 2014-02-19 - 主分类号： G05D23/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于热光学像质最优的光学遥感器精密控温方法，通过适用于扩展目标的位相差法波前探测器完成对地观测模式下光学遥感器的波前探测，获得波前像差；根据所述探测到的波前像差和热光学灵敏度分析表确定关键温度点的控温目标值，所述热光学灵敏度分析表中存储了关键温度点对波前像差的灵敏度系数dQ/dTi；根据温度测量值和所述控温目标值计算温度偏差，根据所述温度偏差对温度进行控制，直至达到控温目标值。
一种基于光学最优遥感精密方法

[发明专利]高分辨率振幅反差成像-CN201480008838.3在审
发明人： D·范德克;U·洛肯;H·施塔克;S·巴尔斯 -专利权人：安特卫普大学;FEI公司
申请日： 2014-02-14 - 公布日： 2015-12-09 - 主分类号： G01N23/04 文献下载
摘要：所述方法包括利用具有球面像差校正(10)的电子显微镜(1)照射柔软物质目标，所述球面像差校正在散射在柔软物质目标上的热漫散射电子的频带内具有基本上恒定的传递函数。所述方法包括检测在所述柔软物质上散射的热漫散射(TDS)电子，然后利用所检测的热漫散射电子获得所述柔软物质目标的图像。
高分辨率振幅反差成像

[发明专利]镜面波像差计算方法及激光系统-CN202311115843.1在审
发明人：罗先刚;刘洋;蒲明博;王茂宇;雷健 -专利权人：天府兴隆湖实验室
申请日： 2023-08-31 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本申请提供一种镜面波像差计算方法及激光系统，涉及激光技术领域。所述镜面波像差计算方法包括：获取入射激光的参数及光学元件的参数；基于入射激光的参数及光学元件的参数，计算入射激光的光子点集数据及反射镜镜面热变形数据；基于光子点集数据，计算入射激光与反射镜镜面的虚拟交点；基于虚拟交点，计算入射激光的入射角；根据反射镜镜面热变形数据及入射角，计算镜面波像差数据；通过镜面波像差数据，计算全激光系统输出端的光强、光程差和相位分布，并根据计算得到的远场光束质量因子、斯特列尔比以及桶中功率比确定光束质量的评价结果
镜面波像差计算方法激光系统

[发明专利]低温真空环境下光学窗口的热光学特性表征与优化方法-CN201810946493.6有效
发明人：高志山;倪瑞沪;袁群;姚艳霞;王若言;陈铭 -专利权人：南京理工大学
申请日： 2018-08-20 - 公布日： 2021-03-26 - 主分类号： G02B27/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种低温真空环境下光学窗口的热光学特性表征与优化方法，运用有限元法仿真低温真空环境下的大口径平行光管系统中的熔石英窗口。使用偏置无焦透镜组对大口径平行光管系统的轴外视场波像差进行优化，加入温度变化引起的面形变化后，采用变焦设计补偿温度引起的系统波像差及焦距变化，将波像差优化至衍射极限以下，符合使用要求。本发明具有光学窗口热光学特性表征全面、利用小口径元件优化大口径元件像差、适应多种温度变化、结构简单等优点。
低温真空环境光学窗口特性表征优化方法

[发明专利]信息记录装置和记录头-CN200580051419.9无效
发明人：长谷川信也;有贺敬治;田和文博 -专利权人：富士通株式会社
申请日： 2005-08-26 - 公布日： 2008-08-20 - 主分类号： G11B5/02 文献下载
摘要：本发明提供一种信息记录装置，被配置在从摇臂(20)离开预定间隔的位置的LD(100)输出激光，从LD(100)输出的激光经由光束转换器(90)和反射镜(80)，照射到产生球面像差的球面像差透镜(70)上并且，信息记录装置使透射球面像差透镜的激光以一定角度(垂直)射入滑动器(60)的光射入口，并照射到记录介质的记录信息的位置，由此进行信息记录时的热辅助。
信息记录装置

[发明专利]精密加工激光切割机-CN200510086252.1无效
发明人：胡诗杰;许冰;王海英 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2005-08-19 - 公布日： 2006-02-08 - 主分类号： B23K26/06 文献下载
摘要：精密加工激光切割机，利用待切割物与聚焦激光相互作用产生的弧光作为波前探测器的信标波前，或者同时利用少部分激光经后向反射器的反射回光作为激光自身像差信标，并由波前控制器把波前探测器得到的信号经过控制算法形成控制信号或者经数据融合形成控制信号，驱动电控系统使变形反射镜产生相应形变，补偿聚焦光斑与待切割物相互作用产生的热量引起的热致扰动，或者同时补偿激光自身的波前像差和分光镜的热变形像差，最终使到达待切割物的高能激光具有良好的聚焦光斑质量。这种精密加工激光切割机避免了直接使用会聚透镜导致的吸热变形，并避免了激光自身像差产生的焦斑质量恶化和位置漂移，可以将焦点精确定位，从而提高激光切割机的加工精度。
精密加工激光切割机

[发明专利]基于电压解耦控制多波前校正器的自适应光学系统-CN201310231058.2有效
发明人：沈锋;叶红卫;周睿;甘永东 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2013-06-12 - 公布日： 2013-09-11 - 主分类号： G02B26/06 文献下载
摘要：一种基于电压解耦控制多波前校正器的自适应光学系统，包括多个波前校正器、分光镜、一个波前传感器和一个波前处理机；多个波前校正器在光路中随意串联排布，波前传感器在空间上与最高精度波前校正器满足共轭关系，最高精度波前校正器对波像差进行高精度直接斜率法校正，其他各波前校正器根据高精度波前校正器的校正电压解耦算法对低阶波前像差进行电压解耦分离，对特定像差进行模式法校正，也可以对全部像差进行直接斜率法校正，最终各个波前校正器校正像差叠加，完成对总体像差的高精度校正本发明用于强激光领域的光束净化自适应光学系统，大气湍流校正、热晕校正等相差变化剧烈，需要多套自适应光学系统联合校正的光学领域。
基于电压控制多波前校正自适应光学系统

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