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- [实用新型]一种均匀扩散的光伏硅片石英扩散炉-CN201720902507.5有效
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周文华
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上海强华实业股份有限公司
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2017-07-24
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2018-03-30
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H01L21/673
- 一种均匀扩散的光伏硅片石英扩散炉，石英舟用于承载光伏硅片，石英炉门安装在石英扩散炉的头部，对于石英扩散炉起到密封作用，保温桶位于石英扩散炉内靠近石英炉门一侧，起到隔热作用，喷淋管位于石英扩散炉内上部，用于通入喷淋保护气体三氯氧磷，挡板用挂钩的方式设置在喷淋管和保温桶之间，用于阻挡石英扩散炉内部气流，石英扩散炉的进气口设置在石英扩散炉的尾部，用于通入氧气，排废管和TC管安装在石英扩散炉内的底部，排废管用于排出废液，TC管用于放置热电偶，石英扩散炉还包括匀流板，匀流板设置在靠近石英扩散炉尾部的进气口，匀流板上设有多个过孔。
- 一种均匀扩散硅片石英
- [实用新型]一种硼扩散设备-CN202023307016.7有效
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林佳继;庞爱锁;刘群;林依婷
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深圳市拉普拉斯能源技术有限公司
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2020-12-31
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2021-09-21
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H01L31/18
- 本实用新型公开了一种硼扩散设备,包括供源装置和扩散炉，所述供源装置包括供源组件、主管道以及多组分管道，扩散炉包括石英管组件，石英管组件包括石英管、尾部匀流组件、炉口匀流组件、进气管和气路管，进气管、分管道与输气管连通，形成工艺气体流通通道，气路管与气管连通形成气路通道，尾部匀流组件和炉口匀流组件分别位于石英管内，尾部匀流组件、炉口匀流组件控制工艺气体的分布状态，本实用新型的尾排管抽气口延伸至炉口匀流板下方或超过炉口匀流板并伸至靠近炉口的位置，有效解决因尾排管在石英炉管底部抽气，导致气流偏下的问题，进一步提高了位于炉口位置硅片的均匀性，从而保证扩散方阻的一致性。
- 一种扩散设备
- [发明专利]匀流均温模组、匀流均温加热模组及炉设备-CN202211130883.9在审
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陈远明;许泽华;柯城;姜昌洞
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上海轩田工业设备有限公司
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2022-09-16
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2023-04-04
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B23K3/00
- 本申请涉及回流焊炉技术领域，特别涉及匀流均温模组、匀流均温加热模组及炉设备。匀流均温模组，吸风管竖向固定在内腔中；匀流板固定在外壳组件中，匀流板均匀开设有通孔；匀流板的上方形成高压区，高压区用于加压风力形成高压气流；吹风板固定在外壳组件中，且吹风板均匀布置有气流出口。匀流均温加热模组，在匀流均温模组上设置用于加热风力的加热组件。炉设备，包括如上的匀流均温模组或者如上的匀流均温加热模组。风力被吸风管吸入到内腔中，在高压区被加压形成高压气流；高压气流穿过匀流板上的通孔均匀分散后，从吹风板的气流出口喷出。由于气流出口均匀布置，高压气流可以在吹风板的两端及中部均匀喷出，起到均匀热流均匀温度的作用。
- 匀流均温模组加热设备
- [实用新型]一种均匀的进气结构-CN202022666888.6有效
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江顺钦
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江苏龙恒新能源有限公司
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2020-11-18
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2021-08-17
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F23L99/00
- 本实用新型公开的属于锅炉技术领域，具体为一种均匀的进气结构，其技术方案是：包括匀流板，所述匀流板螺栓固定在石英石管的前端，所述匀流板前端表面设有通气孔，所述匀流板前端表面四周设有螺纹孔，所述匀流板通过所述螺纹孔固定安装在所述石英石管的前端，所述石英石管左端设有尾端进气管道，所述石英石管右端下侧设有炉口，所述尾端进气管道右端设有尾端端面法兰，所述尾端端面法兰内部设有尾端水冷法兰，所述尾端水冷法兰右端设有尾端密封法兰，所述尾端密封法兰右端设有尾端固定方法兰，本实用新型的有益效果是：起到改变进气方式的作用，达到改善炉内气流分布，使得炉内各区域的气体分布均匀的效果。
- 一种均匀结构
- [实用新型]一种均流挡片-CN201220315167.3有效
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刘海涛;勾宪芳;曹华斌;宋爱珍;姜利凯;王鹏
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中节能太阳能科技有限公司
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2012-07-02
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2013-01-23
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H01L31/18
- 本实用新型公开一种均流挡片，包括两片石英片，石英片之间用石英柱连接，石英片相互平行且相互之间向某一方向错开一定的角度，靠近石英舟外侧的石英片上开有排列规则的匀流气孔且设置有将该挡片挂附在石英舟一侧的石英挂钩；本实用新型和现有匀流板相比，其放置于石英舟两端内部，具有耐用性；此匀流挡片设有石英挂钩，具有牢固性；此匀流挡片取代硅片，降低了成本；放置在石英舟炉尾处的石英片可以阻挡磷掺杂源气流直接对硅片的吹扫，造成炉尾处的方阻过低；有匀流气孔的石英片可以促进磷源气氛在硅片与硅片之间的均匀分布,从而提高方块电阻的均匀性；此匀流挡片的面积较大，使工艺气体尽可能通过带有匀流小孔的挡片，使炉管内气体均匀。
- 一种均流挡片
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