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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]一种检测设备和单晶炉-CN202110256410.2在审
发明人：王富龙 -专利权人：西安奕斯伟设备技术有限公司;西安奕斯伟材料技术有限公司
申请日： 2021-03-09 - 公布日： 2021-06-29 - 主分类号： G01D21/00 文献下载
摘要：本发明提供一种检测设备和单晶炉。检测设备应用于单晶炉，单晶炉包括炉体、密封炉体的密封件以及设置于炉体上的提拉软轴，提拉软轴的材料包括金属材料，提拉软轴与炉体之间密封且绝缘设置，且提拉软轴的一端延伸至炉体内部，另一端位于炉体的外侧；检测设备包括相互连接的执行模块、通信模块和电源模块，通信模块与提拉软轴电连接，且提拉软轴用于为通信模块传输信号。本发明实施例通过利用提拉软轴传输信号，通过有线传输的方式，克服了单晶炉的炉体对于信号的屏蔽，不需要多次开启和关闭单晶炉，此外，也不需要单独设置传输的信号线，不会对单晶炉的密闭效果造成影响，有利于提高测试效率和测试准确程度
一种检测设备单晶炉

[实用新型]单晶炉-CN202120379054.9有效
发明人：路宙山 -专利权人：西安奕斯伟设备技术有限公司;西安奕斯伟材料技术有限公司
申请日： 2021-02-18 - 公布日： 2021-12-28 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本公开提供一种单晶炉，包括炉体、软轴提拉装置、软轴、坩埚和籽晶轴，炉体内部设真空腔室，坩埚、软轴和籽晶轴设置于真空腔室内，软轴和籽晶轴位于坩埚的上方，软轴上端连接软轴提拉装置，软轴下端连接籽晶轴；软轴提拉装置包括：卷丝轮单元及传动机构，卷丝轮单元连接在软轴上端，并位于真空腔室内侧；传动机构位于真空腔室外侧，且传动机构与卷丝轮单元连接，驱动卷丝轮单元对软轴卷扬，以在竖直方向上升降籽晶轴。本公开的单晶炉对软轴提拉装置进行了改进，将提拉软轴的传动机构隔离到真空腔室外侧，实现籽晶提拉软轴的快慢速提拉的功能；减少了真空腔室内的洁净度污染，提升晶棒产品品质。
单晶炉

[发明专利]拉晶炉软轴清理装置、拉晶炉及其软轴清理方法-CN202111622581.9有效
发明人：屈强 -专利权人：西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟设备技术有限公司
申请日： 2021-12-28 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本公开提供一种拉晶炉软轴清理装置、拉晶炉及其软轴清理方法，所述拉晶炉软轴清理装置包括：设置于拉晶炉的副室内腔的支撑固定组件；及设置于所述副室内腔的吹扫组件，所述吹扫组件通过所述支撑固定组件固定于所述副室内腔；其中所述吹扫组件包括：吹风头，其吹风口朝向拉晶炉的籽晶提拉软轴的外表面，用于吹扫所述籽晶提拉软轴的外表面；送风管，与所述吹风头连通；及供风部件，与所述送风管连通。本公开实施例提供的拉晶炉软轴清理装置、拉晶炉及其软轴清理方法，可无需拆装软轴，对拉晶炉软轴进行自动吹扫，避免了软轴拆解产生的影响精度、寿命及二次污染的问题，且可提升生产效率。
拉晶炉软轴清理装置拉晶炉及其方法

[实用新型]一种晶体生长用提拉组件和晶体生长用提拉装置-CN202220208890.5有效
发明人：朱杰;闫树良;武少杰;倪志刚 -专利权人：苏州轻装工力机电有限公司
申请日： 2022-01-25 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： C30B15/30 文献下载
摘要：本申请涉及晶体生长设备领域，具体而言，涉及一种晶体生长用提拉组件和晶体生长用提拉装置。晶体生长用提拉组件包括软轴、副炉室以及进气管，软轴可自由地穿梭于副炉室内，副炉室用于容纳晶体棒；副炉室设置有进气孔，进气孔于副炉室内壁上开口的朝向为软轴的轴向；进气孔于副炉室内壁上的截面面积大于进气孔于副炉室外壁上的截面面积；进气管与副炉室通过进气孔连通。通过在副炉室内壁上设置开口朝向为软轴的轴向的进气孔，且进气孔于副炉室内壁上的截面面积大于进气孔于副炉室外壁上的截面面积；极大程度上降低进入副炉室后气体的湍流程度，降低气体对软轴的扰动，从而避免晶体棒在提拉过程中因晃动而影响品质
一种晶体生长用提拉组件装置

[实用新型]一种新型硅芯炉籽晶盘换位机构-CN201320346924.8有效
发明人：刘剑 -专利权人：刘剑
申请日： 2013-06-18 - 公布日： 2013-11-27 - 主分类号： C30B13/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种新型硅芯炉籽晶盘换位机构，包括硅芯提拉头、籽晶盘及炉体，所述炉体内部设有硅芯提拉头并且该硅芯提拉头上端连接提拉钢绳软轴，位于炉体上表面水平安装一个换位滑台并且此换位滑台与换位马达相接，同时，换位滑台相邻位置的炉体上表面垂直安装一个转位马达；所述硅芯提拉头侧面设置钢丝导轨，位于硅芯提拉头下端连接晶盘座，该晶盘座下方挂接籽晶盘，位于炉体上方封口处设置有密封仓。本实用新型有益效果为：由转位马达、换位滑台、换位马达、籽晶盘、提拉钢绳软轴之间的相互协调PLC控制来实现硅芯的提拉动作，整体结构可使硅芯区熔法拉制更加稳定，在炉体内径不改变的情况下最大限度的提高单机产能
一种新型硅芯炉籽晶换位机构

[实用新型]一种晶体生长炉提拉头软轴稳定定位装置-CN201320699178.0有效
发明人：蒋国庆 -专利权人：江苏华盛天龙光电设备股份有限公司
申请日： 2013-11-06 - 公布日： 2014-04-09 - 主分类号： C30B15/30 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种晶体生长炉提拉头软轴稳定定位装置，定位装置包括卡左定位块和右定位块，左弧形凹槽和右弧形凹槽相互拼合成用于穿置软轴的中心通孔，左槽口内穿置有左销轴，左销轴上套接有左导向轮，左导向轮上环形开设有左导向槽，左导向轮的右侧端面穿出左弧形凹槽的内侧面，右槽口内穿置有右销轴，右销轴上套接有右导向轮，右导向轮上环形开设有右导向槽，右导向轮的左侧端面穿出右弧形凹槽的内侧面，软轴穿过中心通孔并且分别与左导向轮和右导向轮端面相切所述的一种晶体生长炉提拉头软轴稳定定位装置，采用此种设计的定位装置，能够使提拉头转速提高到每分钟25转，满足N型单晶，电子级单晶要求，稳定性能好。
一种晶体生长炉提拉头软轴稳定定位装置

[发明专利]一种单晶炉可升降副炉室波纹管延伸机构-CN201710696557.7有效
发明人：傅林坚;曹建伟;孙明;倪军夫;沈兴潮 -专利权人：浙江晶盛机电股份有限公司
申请日： 2017-08-15 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本发明涉及单晶硅生产设备，旨在提供一种单晶炉可升降副炉室波纹管延伸机构。该种单晶炉可升降副炉室波纹管延伸机构包括水平调整框架、电机、波纹管、丝杆、丝杆螺母、光轴、直线轴承、提升上板、固定板和提升下板，用于安装在副炉室和提拉头中间。使用本发明替换原先的水平调整，拉晶位置保持不变，拉晶完成后才提升整个提拉头，从而不需要更改软轴钢丝绳长度。
一种单晶炉可升降副炉室波纹管延伸机构

[发明专利]周期双向脉冲控制单晶炉软轴提拉系统无序摆动方法-CN202011584097.7有效
发明人：任海鹏;周子璇;李洁 -专利权人：西安理工大学
申请日： 2020-12-28 - 公布日： 2021-11-16 - 主分类号： C30B15/22 文献下载
摘要：本发明公开了一种周期双向脉冲控制单晶炉软轴提拉系统无序摆动方法，步骤包括：步骤1、构建晶体生长软轴提拉系统的动力学模型；步骤2、设置针对软轴提拉系统的周期双向脉冲控制器，设计一个周期双向脉冲控制器，在一个旋转周期内等时间间隔对转速施加一个负脉冲和一个正脉冲，正负脉冲交替应用，使得软轴提拉系统的平均转速不变；步骤3、利用BF算法确定周期双向脉冲控制器的控制参数的选择范围。本发明的方法，可以抑制软轴系统在晶体生长中的无序摆动，使摆动处于周期一运动状态；无需状态反馈，控制器设置简单，控制间歇加入，不改变系统平均转速，对晶体生长工艺参数影响小。
周期双向脉冲控制单晶炉软轴提拉系统无序摆动方法

[发明专利]可自动调节放肩工艺参数的单晶炉及控制方法-CN202010865550.5在审
发明人：逯占文;邢治国;徐永胜;王学卫;王胜军;张靖 -专利权人：连城凯克斯科技有限公司
申请日： 2020-08-25 - 公布日： 2020-11-06 - 主分类号： C30B15/22 文献下载
摘要：本发明提供一种可自动调节放肩工艺参数的单晶炉，包括：晶体提拉模块、机器视觉直径测量模块和温度控制模块；所述提拉系统包括：转轴、连接在转轴上的绕线轮和一端连接在绕线轮上的软轴；所述软轴的另一端与晶体连接，在拉制单晶的工作过程中，转轴带动绕线轮旋转，使所述软轴与绕线轮相连的一端缠绕在绕线轮上，进而使软轴与晶体相连的一端对晶体进行提拉；所述提拉系统通过驱动电机穿过减速器，进而通过有齿轮齿条机构带动。本发明能使晶体放肩生长过程在整个生长过程中始终保持放肩形状一致，在不同单晶炉内部生长环境下，有效调整放肩生长的工艺参数。
自动调节工艺参数单晶炉控制方法

[实用新型]可自动调节放肩工艺参数的单晶炉-CN202021804973.8有效
发明人：逯占文;王学卫;邢治国;徐永胜;王胜军;张靖 -专利权人：连城凯克斯科技有限公司
申请日： 2020-08-25 - 公布日： 2021-03-16 - 主分类号： C30B15/22 文献下载
摘要：本发明提供一种可自动调节放肩工艺参数的单晶炉，包括：晶体提拉模块、机器视觉直径测量模块和温度控制模块；所述提拉系统包括：转轴、连接在转轴上的绕线轮和一端连接在绕线轮上的软轴；所述软轴的另一端与晶体连接，在拉制单晶的工作过程中，转轴带动绕线轮旋转，使所述软轴与绕线轮相连的一端缠绕在绕线轮上，进而使软轴与晶体相连的一端对晶体进行提拉；所述提拉系统通过驱动电机穿过减速器，进而通过有齿轮齿条机构带动。本发明能使晶体放肩生长过程在整个生长过程中始终保持放肩形状一致，在不同单晶炉内部生长环境下，有效调整放肩生长的工艺参数。
自动调节工艺参数单晶炉

[实用新型]一种软轴提拉型单晶炉-CN201320678696.4有效
发明人：周建达 -专利权人：浙江欧宝能源有限公司
申请日： 2013-10-30 - 公布日： 2014-06-11 - 主分类号： C30B27/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种软轴提拉型单晶炉，包括炉体、提拉装置、软轴、坩埚和籽晶轴，所述的软轴上端连接提拉装置，所述的提拉装置固定设置在籽晶轴上，所述的籽晶轴通过齿轮连接电机，所述的软轴下端连接有籽晶夹持器，
一种软轴提拉型单晶炉

[实用新型]一种抑制软轴提拉型单晶炉软轴摆动的阻尼套支撑装置-CN201020234240.5无效
发明人：原大宁;世家伟;刘宏昭 -专利权人：西安理工大学
申请日： 2010-06-23 - 公布日： 2011-02-02 - 主分类号： C30B15/30 文献下载
摘要：本实用新型公开的一种抑制软轴提拉型单晶炉软轴摆动的阻尼器，包括内部为空腔的旋转空心轴，旋转空心轴内空腔的顶端设置有内部为空腔的上阻尼套，旋转空心轴内空腔的底端设置有内部为空腔的下阻尼套，上阻尼套和下阻尼套之间设置有包容在旋转空心轴空腔内的弹簧，轴向穿过上阻尼套内空腔、旋转空心轴内空腔和下阻尼套内空腔设置有软轴，软轴的顶端设置有钢球，软轴的底端设置有联结端子。本实用新型抑制软轴提拉型单晶炉软轴摆动的阻尼器，结构简单、装配及拆卸方便、软轴更换容易，且可使软轴与上、下阻尼套及下阻尼套与旋转空心轴之间产生碰撞而消耗摆动能量，起到阻尼器作用，使软轴—单晶系统的摆动量达到最小
一种抑制软轴提拉型单晶炉软轴摆动阻尼支撑装置

[实用新型]一种抑制软轴提拉型单晶炉软轴摆动的阻尼器-CN200920306101.6无效
发明人：原大宁;世家伟;杨润 -专利权人：西安理工大学
申请日： 2009-07-13 - 公布日： 2010-05-19 - 主分类号： C30B15/30 文献下载
摘要：本实用新型公开的一种抑制软轴提拉型单晶炉软轴摆动的阻尼器，包括内部为空腔的旋转空心轴，旋转空心轴内空腔的顶端设置有内部为空腔的上阻尼套，旋转空心轴内空腔的底端设置有内部为空腔的下阻尼套，上阻尼套和下阻尼套之间设置有包容在旋转空心轴空腔内的弹簧，轴向穿过上阻尼套内空腔、旋转空心轴内空腔和下阻尼套内空腔设置有软轴，软轴的顶端设置有钢球，软轴的底端设置有联结端子。本实用新型抑制软轴提拉型单晶炉软轴摆动的阻尼器，结构简单、装配及拆卸方便、软轴更换容易，且可使软轴与上、下阻尼套及下阻尼套与旋转空心轴之间产生碰撞而消耗摆动能量，起到阻尼器作用，使软轴-单晶系统的摆动量达到最小
一种抑制软轴提拉型单晶炉软轴摆动阻尼

[发明专利]一种单晶炉的提拉轴、提拉装置、单晶炉以及拉晶方法-CN202211105332.7在审
发明人：曹建伟;朱亮;傅林坚;叶钢飞;阮文星;梁晋辉 -专利权人：浙江晶盛机电股份有限公司
申请日： 2022-09-09 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： C30B27/02 文献下载
摘要：本申请涉及半导体生长领域，尤其是涉及一种单晶炉的提拉轴，应用于单晶炉中，包括：硬轴，所述硬轴呈长直状态且为竖直布置；软轴，所述软轴的第一端连接于所述硬轴的底部，所述软轴与所述硬轴共轴设置；夹具组件，所述夹具组件连接于所述软轴的第二端上解决了拉晶质量不高的技术问题，达到提高晶体质量的技术效果。
一种单晶炉提拉轴装置以及方法

[实用新型]一种提拉装置及软轴单晶炉-CN201820034503.4有效
发明人：陈辉;袁静;陈广顺 -专利权人：北京京运通科技股份有限公司
申请日： 2018-01-09 - 公布日： 2018-11-23 - 主分类号： C30B15/30 文献下载
摘要：本实用新型涉及单晶硅生产技术领域，特别涉及一种提拉装置及软轴单晶炉。包括转轴、绕线轮、软轴和平衡机构，绕线轮与转轴传动连接，软轴的一端与绕线轮连接，另一端设有晶体连接部；绕线轮可在转轴的带动下转动，以带动软轴在绕线轮上缠绕或释放，且绕线轮还可沿转轴的轴线方向相对于转轴滑动解决现有技术中的提拉装置在绕线轮与转轴的相对位置产生变化导致软轴单晶炉的生产良率和生产效率降低的问题。
绕线轮转轴软轴提拉装置滑动单晶炉平衡机构配重块转轴活动连接本实用新型单晶硅生产方向相对生产效率轴线方向转轴传动转轴运动良率下沿相背缠绕转动释放平衡生产

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