[实用新型]一种软轴提拉型单晶炉有效
| 申请号： | 201320678696.4 | 申请日： | 2013-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN203639604U | 公开（公告）日： | 2014-06-11 |
| 发明（设计）人： | 周建达 | 申请（专利权）人： | 浙江欧宝能源有限公司 |
| 主分类号： | C30B27/02 | 分类号： | C30B27/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 312400 浙江省绍*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种软轴提拉型单晶炉，包括炉体、提拉装置、软轴、坩埚和籽晶轴，所述的软轴上端连接提拉装置，所述的提拉装置固定设置在籽晶轴上，所述的籽晶轴通过齿轮连接电机，所述的软轴下端连接有籽晶夹持器，所述的炉体上端分别设置有保护气进口和真空抽气口，所述的炉体下端设置有石墨托，所述的坩埚放置于石墨托上，所述的石墨托下端固定连接有坩埚轴，所述的炉体设置有加热器。本实用新型利用惰性气体（氩气）的保护环境，以石墨电阻加热器，将多晶硅材料熔化，用直拉法生长无错位单晶棒。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 软轴提拉型单晶炉 | ||
【主权项】：
一种软轴提拉型单晶炉,包括炉体（1）、提拉装置（2）、软轴（3）、坩埚（4）和籽晶轴（10），其特征在于：所述的软轴（3）上端连接提拉装置（2），所述的提拉装置（2）固定设置在籽晶轴（10）上，所述的籽晶轴（10）通过齿轮连接电机（11），所述的软轴（3）下端连接有籽晶夹持器（5），所述的炉体（1）上端分别设置有保护气进口（6）和真空抽气口（7），所述的炉体（1）下端设置有石墨托（8），所述的坩埚（4）放置于石墨托（8）上，所述的石墨托（8）下端固定连接有坩埚轴（12），所述的炉体（1）设置有加热器（9）。
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